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电子发烧友网>电子资料下载>电子论文>纳米材料论文>P掺杂类金刚石薄膜的制备及生物学行为研究

P掺杂类金刚石薄膜的制备及生物学行为研究

2009-05-16 | rar | 444 | 次下载 | 免费

资料介绍

摘要:应用等离子体浸没离子注入与沉积方法合成了磷掺杂的类金刚石(diamond like carbon,DLC)薄膜。结构分析表明磷以微米级岛状结构分散于DLC薄膜表层,P 的掺杂增加了DLC 薄膜的无序性,俄歇能谱表明岛型区域是由P、C、O 三种元素形成的化合物。掺杂表面表现出强烈的亲水性(水接触角为16.9°),体外血小板粘附实验结果显示,P 掺杂DLC薄膜表面粘附的血小板少且变形小,表现出的血液相容性优于热解碳和未改性DLC。
关键词:类金刚石;磷掺杂;等离子体浸没离子注入
与沉积;血液相容性

类金刚石薄膜是一类具有良好力学、摩擦学和生物学性能的无机薄膜材料。在生物医学领域,DLC薄膜被应用于人工关节及心血管植入器械的表面改性,以获得高硬度、低摩擦系数和优良血液相容性的材料表面。不同元素掺杂DLC薄膜的合成,可以在更宽的范围调节DLC的材料学性质,拓展薄膜的功能性应用。我们在以前的研究中,制备了氢、氮元素掺杂的DLC薄膜[1],其表现出良好的血液相容性。等离子体浸没离子注入与沉积(plasma immersion ionimplantation,PIII-D)技术综合了等离子沉积和高能离子注入两个过程,对样品实现全方位、非视线性的表面处理,能够改变材料表面一定深度(几埃到几千埃)范围的化学成分、结构和性质。本文通PIII-D方法合成了磷(P)元素掺杂的DLC膜,并探讨了P掺杂对碳薄膜结构、性质和血液相容性的影响。

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