电子发烧友App
创作
发文章
发帖 
提问 
发资料
发视频资料介绍
超平滑无损伤铜表面的超精密加工技术在微电子器件和微机电系统制造中具有广泛的需求。目前，化学机械抛光作为常见的超精密加工技术，在超光滑超平整表面加工中得到广泛应用，但由于其加工过程中的机械作用而难以获得无损伤铜表面。现有的化学抛光和电化学抛光等无应力抛光方法由于没有机械作用的影响，可获得高完整性无损伤的铜表面，但化学抛光仅能达到亚微米级表面粗糙度且无法改善工件表面的平面度，电化学抛光虽可达到纳米级表面粗糙度，但也无法实现高精度平坦化加工。所以，目前的化学机械抛光和无应力抛光技术均无法满足超平滑无损伤铜表面的加工需求。本文针对超平滑无损伤铜表面加工的难题，基于电化学氧化和扩散控制反应的基本原理，提出了一种新的无应力抛光方法——电致化学抛光，通过抛光机理研究，确定了实现电致化学抛光的基本条件，开发了相对应的抛光加工试验系统和抛光液体系，利用数值模型分析了电致化学抛光的抛光性能并进行了试验验证，且最终针对具有粗糙表面及微图案表面的铜工件，进行了电致化学抛光工艺试验，实现了无应力高精度表面抛光。
下载该资料的人也在下载
下载该资料的人还在阅读
更多 >
- 中图共聚焦显微镜在化学机械抛光课题研究中的应用
- 氮化镓晶片的化学机械抛光工艺综述 44次下载
- 化学机械抛光(CMP)技术的发展、应用及存在问题 12次下载
- 现代永磁电机理论与设计 48次下载
- 化学机械抛光CMP技术的发展应用及存在问题 9次下载
- 硅抛光片(CMP)市场和技术现状 35次下载
- 基于二维纳米材料的电致敏化学传感器详细资料 6次下载
- 化学机械抛光技术的研究进展 14次下载
- 适用于介电泳抛光专用高压可调电源 0次下载
- 锂硫电池电化学循环过程及其正极反应机理的研究进展介绍 15次下载
- 基于步进电机的表带抛光研究 1次下载
- 硅晶片抛光加工工艺的实验研究 0次下载
- 超精密双面抛光机控制系统的研究 22次下载
- 铜金属锈蚀机理及其电磁线的生产 22次下载
- 气囊式抛光机数控系统的研究与开发 12次下载
- 碳化硅晶片的化学机械抛光技术研究 440次阅读
- 半导体行业中的化学机械抛光技术 361次阅读
- CMP抛光垫有哪些重要指标？ 422次阅读
- 半导体行业中的化学机械抛光(CMP)技术详解 7559次阅读
- 蓝宝石在化学机械抛光过程中的材料去除机理 349次阅读
- 碳化硅晶片的超精密抛光工艺 2218次阅读
- 锂离子电池负极衰减机理研究进展 540次阅读
- 基于电化学石英晶体微天平的超级电容器充放电研究 696次阅读
- 电化学阻抗谱的设计基础 1590次阅读
- 硅晶片的化学刻蚀和动力学效应 663次阅读
- 连接器退化机理是什么？哪些因数会导致连接器失效？ 1323次阅读
- 化学镀的特点优势及应用介绍 7129次阅读
- CMP抛光材料的介绍和应用领域及市场分析 1.8w次阅读
- 关于英威腾DA200系列交流伺服在磨床的应用详解 3080次阅读
- 锂离子电池辅材:粘结剂的种类、粘结机理、合成方法、发展趋势 5.1w次阅读
上传资料赚积分下载排行
本周
- 1电子电路原理第七版PDF电子教材免费下载
- 0.00 MB | 1491次下载 | 免费
- 2单片机典型实例介绍
- 18.19 MB | 93次下载 | 1 积分
- 3S7-200PLC编程实例详细资料
- 1.17 MB | 27次下载 | 1 积分
- 4笔记本电脑主板的元件识别和讲解说明
- 4.28 MB | 18次下载 | 4 积分
- 5开关电源原理及各功能电路详解
- 0.38 MB | 11次下载 | 免费
- 6100W短波放大电路图
- 0.05 MB | 4次下载 | 3 积分
- 7基于AT89C2051/4051单片机编程器的实验
- 0.11 MB | 4次下载 | 免费
- 8基于单片机的红外风扇遥控
- 0.23 MB | 3次下载 | 免费
本月
- 1OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
- 0.00 MB | 234313次下载 | 免费
- 2PADS 9.0 2009最新版 -下载
- 0.00 MB | 66304次下载 | 免费
- 3protel99下载protel99软件下载(中文版)
- 0.00 MB | 51209次下载 | 免费
- 4LabView 8.0 专业版下载 (3CD完整版)
- 0.00 MB | 51043次下载 | 免费
- 5555集成电路应用800例(新编版)
- 0.00 MB | 33562次下载 | 免费
- 6接口电路图大全
- 未知 | 30320次下载 | 免费
- 7Multisim 10下载Multisim 10 中文版
- 0.00 MB | 28588次下载 | 免费
- 8开关电源设计实例指南
- 未知 | 21539次下载 | 免费
总榜
- 1matlab软件下载入口
- 未知 | 935053次下载 | 免费
- 2protel99se软件下载(可英文版转中文版)
- 78.1 MB | 537791次下载 | 免费
- 3MATLAB 7.1 下载 (含软件介绍)
- 未知 | 420026次下载 | 免费
- 4OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
- 0.00 MB | 234313次下载 | 免费
- 5Altium DXP2002下载入口
- 未知 | 233046次下载 | 免费
- 6电路仿真软件multisim 10.0免费下载
- 340992 | 191183次下载 | 免费
- 7十天学会AVR单片机与C语言视频教程 下载
- 158M | 183277次下载 | 免费
- 8proe5.0野火版下载(中文版免费下载)
- 未知 | 138039次下载 | 免费
工商网监
评论