HEPA和ULPA过滤器效率测试及检漏方法的相关内容概述

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关键字: 过滤器 DoS 计数器

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  1 、 HEPA / ULPA 过滤器效率测试方法

  1.1 测试方法及其特点

  当前对 HEPA 过滤器测试方法主要有:

  (1)DOP 法: 此法是以光度计作检测,测试用气溶胶必须是单分散 (0.31μm) 的 DOP 或其替代的 DOS 等液态物质所发生的。

  此法灵敏度不如粒子计数法,只能用于效率 99.99 % (0.3μm) 及 99.999 % (0.3 μm) 的 HEPA 过滤器的测试。

  (2) 粒子计数法

  此法是以离散粒子计数器 (DPC) 作为检测仪器,测试用气溶胶可以是单分散或多分散液体或固体物质,选择范围较宽,常用多分散气溶胶,如 DOP 或其替代的 DOS 等液态物质所发生的,亦常用 SPL( 聚苯乙烯乳胶球 ) 固体物质所发生的 0.1-0.2p,m 粒径的气溶胶。 此法灵敏度较高,目前主要用于 ULPA 过滤器其 η≥99.999 % (0.1-0.2μm) 的测试,当然亦可用于 HEPA 过滤器的测试。替代 DOP 法当已是趋势。

  (3)MPPS 法

  此法是欧盟 ENl822 标准所规定的,亦是以 DPC 作为检测仪器,测试用气溶胶要求同 (2) 。

  其与粒子计数法的区别主要在于: 以过滤器最易穿透的粒径作为测试用粒径, HEPA / ULPA 纤维过滤器在某一粒径下其过滤效率会出现最低,这是因为在此粒径下扩散机理与惯性机理对过滤器所起的过滤作用,两者都达到最低,此粒径与过滤器的滤料、给结构及滤速有关,一般在 0.1-0.3μm 间,对 ULPA 过滤器常为 0.1-0.2μm ;过滤器测试时,需先测定滤料的 MPPS :另外,其对过滤器效率的测试不是采用整体测试,而是扫描测试每一处的局部穿透率然后统计处理 ( 按 95 %置信度 ) 得出 《 整体 ) 穿透率及 ( 整体 ) 效率。最大允许局部穿透率比整体的高 5 倍或更多,见表 1 。

  此法用于 HEPA / ULPA 过滤器的测试,其灵敏度比一般粒子计数法还高,更接近实际,在测效率的同时亦解决了扫描检漏。

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