射频电源的工作原理是什么样的?

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上传日期: 2018-09-27

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资料介绍

标签:发生器(272)功率放大器(791)射频(1161)半导体(4190)

  CX系列射频电源是一款应用在半导体领域的高频功率放大器,他是一款等离子体发生器。其主要功能为半导体的等离子刻蚀,PECVD,PVD,溅射镀膜等提供高频等离子体激励.

  射频电源内部工作原理如下:

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