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电子发烧友网>电子资料下载>电源技术>微波电源控制器的研制

微波电源控制器的研制

2018-01-18 | rar | 0.48 MB | 次下载 | 2积分

资料介绍

  微波等离子体技术具有极其广阔的应用领域,如等离子体增强化学气相沉积、等离子体表面处理以及等离子体刻蚀等。微波电源作为微波等离子体设备的核心,是激发与维持微波等离子体的动力。它的输出功率直接决定了等离子体的各项参数,影响到工艺效果。所以,为了取得良好的工艺效果与稳定性,需要设计控制器保证微波电源稳定可靠的工作。鉴于此,本文基于嵌入式技术,以C805IF500为控制核心,引入数字化与光信号化的测控电路设计微波电源控制器陆-,该控制器包括供电电源部分与测控部分,通过优化的硬件电路,辅以合适的抗干扰措施,保证了微波电源在控制器作用下可靠工作。

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