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介绍了非晶硅薄膜太阳能电池和支撑设备的技术发展现状和市场情况，针对我国薄膜太阳能电池产业的需求情况，探讨了发展薄膜太阳能电池产业的途径。太阳能光伏发电技术作为太阳能利用中最具意义的技术，成为世界各国竞相研究应用的热点。最近 10 年以每年平均 30％的速度递增。目前，光伏电池仍然是以晶体硅光伏电池为主，市场份额达 90％，其次是非晶硅薄膜太阳能电池发展迅速，市场份额占到 6％～7％。
非晶硅薄膜光伏电池的特点
一是材料和制造工艺成本低。这是因为衬底材料（如玻璃、不锈钢、塑料等）价格低廉。硅薄膜厚度不到 1 μm，昂贵的纯硅材料用量很少。制作工艺为低温工艺（100 ℃～300 ℃），生产过程中耗电量小，能量回收时间短。
二是易于形成大规模生产能力。这是因为核心工艺适合制作特大面积无结构缺陷的 a－Si 合金薄膜；只需改变气相成分或者气体流量便可实现 pn 结以及相应的迭层结构；生产过程可实现全流程自动化。
三是品种多，用途广。薄膜的 a－Si 太阳电池易于实现集成化，器件功率、输出电压、输出电流都可自由设计，可以较方便地制作出适合不同需求的品种较多的产品。
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