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液相外延（L PE） 和金属有机化合物气相淀积（M OCVD ） 方法是制作太阳电池材料的两种主要方法。 国内使用L PE 方法时间较长，M OCVD 方法才刚起步， 工艺不很完善， 但目前制作的M OCVD 电池的效率已很接近L PE 电池的效率。 增大M OCVD 电池外延层的厚度可以提高电池的效率， 同时还发现增大 n 型外延层的厚度能提高电池承受大电流的反向冲击的能力。 为此， 本文探讨了增大 n 型外延层的厚度对提高电池的效率所起的作用， 同时说明了电池承受大电流的反向冲击的能力随 n 型层厚度的增大而增大的原因。 2 实验方法 2. 1 样品制备 2. 1. 1 材料本 实验所用的器件样品的材料均为 n + 2GaA s （衬底）ön2GaA s （缓冲层）ön2GaA s （掺 Si）öp 2GaA s（掺 Zn）öp 2GaA lA s（掺 Zn）。 多层外延生长采用L PE 和M OCVD 两种方法。 衬底的浓度为 2×1018 cm - 3 ， 晶向为（100） ， 厚度为 400Λm. 缓冲层浓度为 2×1017 cm - 3 。 n2GaA s 层浓度为 2×1017 cm - 3 。 p 2GaA s 层浓度为 2×1018 cm - 3 ， 厚度为 017Λm. p 2Ga0. 2A l0. 8 A s 层浓度约为 2×1018 cm - 3 。 n2GaA s 层（包括缓冲层） 及 GaA lA s 的厚度见表 1. 其中样品 M OCVD 1 和M OCVD 2 无缓冲层.
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