PCMR体声波谐振器多物理场仿真及芯片制作

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上传日期: 2018-02-04

上 传 者: 程林他上传的所有资料

资料介绍

标签:谐振器(42)

  近年来,随着微电子机械系统(MEMS)技术的迅速发展,MEMS三维加工手段结合压电、铁电材料的研究,最终产生了BAW (Bulk AcousTIc Wave,体声波)谐振器件,2001年,Agilent成为第一个在业界成功推出FBAR双工器的企业。FBAR由于其工作原理限制,无法实现单芯片多频段的功能,随着BAW概念和MEMS技术的进一步发展,另一种谐振器模式也引起了人们的关注,那就是压电轮廓模式谐振器PCMR (Piezoelectric Contour-Mode Resonator)。这种谐振器同样是利用体声波进行工作,其制作工艺也仍然采用MEMS工艺,但与FBAR利用厚度控制谐振频率不同,PCMR利用轮廓结构来控制谐振频率。此谐振器的出现,为无线通信系统前端模块的一体化,甚至单片多频段的实现提供了新的思路和途径。

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