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中微等离子体刻蚀设备Primo AD-RIE(TM)运抵中芯国际

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2023-06-14 17:30:02

使用负偏压萃取电极的方法

使用负偏压的萃取电极将离子离子源内的等离子体中抽出,并将其加速到大约50keV的能量。
2023-05-29 09:37:59381

金属银镀PTFE涂层等离子处理原理 提高PTFE粘附性

金属银镀PTFE涂层等离子处理是指在金属镀银进行PTFE涂层,并在PTFE涂层上进行等离子处理的一种表面处理技术。该技术可以使金属表面具有一定的耐腐蚀性、耐磨性和耐高温性,同时还可以提高金属表面的润滑性和粘附性。
2023-05-25 15:54:14513

半导体绝缘介质的填充-HDPOX

为了形成高密度等离子体,需要有激发混合气体的射频(RF)源,并直接使高密度等离子体到达硅片表面。在HDP-CVD反应腔中,主要是由电感耦合等离子体反应器(ICP)来产生并维持高密度的等离子体。当射频电流通过线圈(coil)时会产生一个交流磁场
2023-05-22 15:47:373153

强磁场中等离子体湍流的性质和机制

在天体物理学中,有许多天体都具有强大的磁场,例如恒星、行星和黑洞。这些天体周围通常有大量的等离子体,例如恒星风、行星际介质和吸积盘。
2023-05-17 09:24:16452

陶瓷基板常用的几种陶瓷材料

DPC(DirectPlatingCopper)薄膜工艺是一种利用磁控溅射技术制备铜薄膜的方法。该工艺是将目标材料为铜的铜靶放置在真空腔室中,通过磁控溅射技术使得铜靶表面产生等离子体,利用等离子体中的离子轰击靶表面,将其溅射成细小颗粒并沉积在基底上形成铜薄膜的过程。
2023-05-11 17:38:18843

射频等离子体源,射频离子

因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准射频等离子体源 RF2100ICP Plasma Source上海伯东代理美国 KRi 考夫
2023-05-11 14:57:22

射频离子源,真空镀膜离子

源 RFICP 140 是一款紧凑的有栅极离子源, 非常适用于离子束溅射沉积, 离子辅助沉积和离子刻蚀. 在离子束溅射工艺,射频离子源 RFICP 140 配有离子光学元
2023-05-11 14:14:53

芯片等离子活化原理 提高化学惰性、抗腐蚀性、耐磨性

芯片等离子活化技术是一种物理处理技术,通过改变材料表面的化学性质、物理性质和机械性能,实现对材料的表面处理和改性。芯片等离子活化技术具有处理效率高、处理精度高、无需添加剂、处理后材料性能稳定和应用范围广泛等优势。
2023-05-06 10:44:50650

铝箔等离子表面处理设备原理 增加铝箔表面的粘附力

通过金徕等离子体处理,可以提高金属表面的活性,改善金属表面的结合力、增强涂层附着力等性质,使得金属制品的质量和性能得到明显的改善和提升。此外,等离子体处理还可以改善金属表面的光洁度,使得金属表面更加平整光滑。
2023-05-05 10:51:23525

半导体图案化工艺流程之刻蚀简析

图案化工艺包括曝光(Exposure)、显影(Develope)、刻蚀(Etching)和离子注入等流程。
2023-04-28 11:24:271073

如何发现AI+Science中的下一个AlphaFold和ChatGPT?

帮助科学家探索科学框架的设计。我们可以让AI去更大的设计空间搜索设计策略和控制优化策略。比如近期发表在Nature 上的工作,使用深度强化学习控制核聚变反应中的等离子体,第一次发现了全新的等离子体结构[3]。
2023-04-21 09:56:59406

半导体刻蚀工艺简述

等离子体均匀性和等离子体位置的控制在未来更加重要。对于成熟的技术节点,高的产量、低的成本是与现有生产系统竞争的关键因素。如果可以制造低成本的可靠的刻蚀系统,从长远来看,可以为客户节省大量费用,有可能
2023-04-21 09:20:221347

射频功率放大器在等离子体压力传感器中的应用

(6~10mm)、温度漂移等问题,无法满足发动机复杂机械内部非定常测量的需要。而在对新技术的探索中,等离子体技术由于其有着许多先天优势而引起了研究者们的关注,如其理论上有着高频率响应的特性、不受热惯性的限制、基于等离子体原理的探针结构尺寸小,可达毫米尺度。因此认为其具有十分优秀的发展潜力,有望突破高温高
2023-04-19 15:29:42260

中国科学院大学在近场光学邻近效应研究中获得进展

为满足集成电路中对纳米结构器件的尺寸及质量的高性能要求,有效地解决表面等离子体光刻技术中存在的near-field OPE问题,中国科学院大学集成电路学院教授韦亚一课题组通过对表面等离子体光刻特有的近场增强效应进行定量表征
2023-04-18 10:49:03473

半导体行业之刻蚀工艺介绍

压力主要控制刻蚀均匀性和刻蚀轮廓,同时也能影响刻蚀速率和选择性。改变压力会改变电子和离子的平均自由程(MFP),进而影响等离子体刻蚀速率的均匀性。
2023-04-17 10:36:431922

利用等离子体色散效应来增强硅基电光调制器的性能

全硅等离子体色散效应环形谐振器调制器具有诱人的发展前景。然而,其性能目前受限于调制深度和开关速度之间的权衡。
2023-04-12 09:12:121594

2023国(青岛)国际太阳能光伏及储能展览会

2023国(青岛)国际太阳能光伏及储能展览会2023China(Qingdao) International Solar Photovoltaic and Photovoltaic Energy
2023-04-08 10:36:29

等离子光谱仪需要进行哪种维修保养

大家目前对于等离子光谱仪的普遍使用早已见怪不怪了,这种相对来说较为细致的设备是一定要尽早的实施维修保养的,否则很容易就没办法运用或者机械设备产生情况,下面大家一起来看看等离子光谱仪需要进行哪种
2023-04-07 07:37:42124

等离子电视关键技术探秘

​ 导读: 屏(也叫面板),是等离子电视最重要的部件,占整机成本的六、七成。屏的好坏,直接决定着平板电视的优劣。目前世界上只有韩国LG、三星和日本的松下等少数厂商具备等离子屏的生产能力,其中LG的A3生产线被公认为最先进的等离子生产线。很大程度上,等离子电视的选择就是等离子屏的选择。 ​
2023-03-30 15:56:10452

VESD离子风嘴应用的领域和优势

尤为重要了。 1:工业除静电离子风嘴的原理 工业除静电离子风嘴是一种高科技产品,它通过高压电场作用于材料表面,使其电离从而达到除尘的目的。常见的等离子体有CFO、PLAM-SINK及VESD等几种。高压电击产生巨大能量,能够将不良电荷中
2023-03-29 09:35:52367

气体放电管- GDT /气体等离子体避雷器3600V

2RM3600A6L2 气体放电管- GDT /气体等离子体避雷器3600Discharge 2-Electrode Arrester  5.5*6 直流击穿电压3600V气体
2023-03-27 17:04:09

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