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电子发烧友网>今日头条>晶片表面沉积氮化硅颗粒的沉积技术

晶片表面沉积氮化硅颗粒的沉积技术

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华林科纳的半导体晶圆干燥的研究

通过测量晶片上的残留物得知,晶片上已经分配并干燥了含有金属盐作为示踪元素的溶液。假设有两种不同的沉积机制:吸附和蒸发沉积
2023-06-08 10:57:43220

晶片湿法刻蚀方法

硅的碱性刻蚀液:氢氧化钾、氢氧化氨或四甲基羟胺(TMAH)溶液,晶片加工中,会用到强碱作表面腐蚀或减薄,器件生产中,则倾向于弱碱,如SC1清洗晶片或多晶硅表面颗粒,一部分机理是SC1中的NH4OH
2023-06-05 15:10:011597

化硅晶片的超精密抛光工艺

使用化学机械抛光(CMP)方法对碳化硅晶片进行了超精密抛光试验,探究了滴液速率、抛光头转 速、抛光压力、抛光时长及晶片吸附方式等工艺参数对晶片表面粗糙度的影响,并对工艺参数进行了优化,最终 得到了表面粗糙度低于0.1 nm的原子级光滑碳化硅晶片
2023-05-31 10:30:062215

一文看懂金属表面改性技术

电镀是一种利用电化学性质,在镀件表面沉积所需形态的金属覆层的表面处理工艺。 电镀原理:在含有欲镀金属的盐类溶液中,以被镀基体金属为阴极,通过电解作用,使镀液中欲镀金属的阳离子在基体金属表面沉积,形成镀层。如图13所示。
2023-05-29 12:07:23644

基于PVD 薄膜沉积工艺

PVD篇 PVD是通过溅射或蒸发靶材材料来产生金属蒸汽,然后将金属蒸汽冷凝在晶圆表面上的过程。应用材料公司在 PVD 技术开发方面拥有 25 年以上的丰富经验,是这一领域无可争议的市场领导者
2023-05-26 16:36:511749

KRi 射频离子源 IBSD 离子束溅射沉积应用

上海伯东美国 KRi 考夫曼品牌 RF 射频离子源, 无需灯丝提供高能量, 低浓度的宽束离子束, 离子束轰击溅射目标, 溅射的原子(分子)沉积在衬底上形成薄膜, IBSD 离子束溅射沉积 和 IBD 离子束沉积是其典型的应用.
2023-05-25 10:18:34501

KRi 考夫曼离子源表面预清洁 Pre-clean 应用

上海伯东代理美国 KRi 考夫曼离子源适用于安装在 MBE 分子束外延, 溅射和蒸发系统, PLD 脉冲激光系统等, 在沉积前用离子轰击表面, 进行预清洁 Pre-clean 的工艺, 对基材表面有机物清洗, 金属氧化物的去除等, 提高沉积薄膜附着力, 纯度, 应力, 工艺效率等!
2023-05-25 10:10:31378

带你了解什么是覆铜陶瓷基板DPC工艺

工艺进行基板表面金属化,先是在真空条件下溅射钛,然后再是铜颗粒,最后电镀增厚,接着以普通pcb工艺完成线路制作,最后再以电镀/化学镀沉积方式增加线路的厚度。
2023-05-23 16:53:511333

中微公司推出12英寸薄膜沉积设备Preforma Uniflex™ CW

近日,中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”,上交所股票代码:688012)推出自主研发的12英寸低压化学气相沉积(LPCVD)设备Preforma Uniflex CW。这是中微公司深耕高端微观加工设备多年、在半导体薄膜沉积领域取得的新突破,也是实现公司业务多元化增长的新动能。
2023-05-17 17:08:41831

基于银纳米颗粒/铜纳米线复合材料的电化学无酶葡萄糖传感器

研究人员首先对银纳米颗粒/铜纳米线进行了合成,并对制备的铜纳米线和化学沉积后负载不同尺寸银纳米颗粒的铜纳米线进行了形貌和结构表征(图1)。随后,利用制备的银纳米颗粒/铜纳米线材料制备获得银纳米颗粒/铜纳米线电极,用于后续无酶葡萄糖传感性能的研究。
2023-05-12 15:19:28631

陶瓷基板常用的几种陶瓷材料

DPC(DirectPlatingCopper)薄膜工艺是一种利用磁控溅射技术制备铜薄膜的方法。该工艺是将目标材料为铜的铜靶放置在真空腔室中,通过磁控溅射技术使得铜靶表面产生等离子体,利用等离子体中的离子轰击靶表面,将其溅射成细小颗粒沉积在基底上形成铜薄膜的过程。
2023-05-11 17:38:18843

化硅晶片的磨抛工艺详解

薄膜的质量以及器件的性能,所以碳化硅衬底材料的加工要求晶片表面超光滑,无缺陷,无损伤,表面粗糙度在纳米以下。‍‍
2023-05-05 07:15:001154

国产氮化硅陶瓷基板邂逅碳化硅功率模块,国产新能源汽车开启性能狂飙模式

新能源电动汽车爆发式增长的势头不可阻挡,氮化硅陶瓷基板升级SiC功率模块,对提升新能源汽车加速度、续航里程、充电速度、轻量化、电池成本等各项性能尤为重要。
2023-05-02 09:28:451169

晶圆制造的三大核心之薄膜沉积的原子层沉积(ALD)技术

ALD技术是一种将物质以单原子膜的形式逐层镀在基底表面的方法,能够实现纳米量级超薄膜的沉积
2023-04-25 16:01:052439

PCB表面成型的介绍和比较

在下面的图3中找到。   化学镍步骤是一种自动催化过程,包括在钯催化的铜表面沉积镍。必须补充含有镍离子的还原剂,以提供产生均匀涂层所需的适当浓度,温度和酸度。在浸金步骤中,金通过分子交换粘附在镀镍
2023-04-24 16:07:02

布勒莱宝光学HELIOS磁控溅射镀膜设备迎接半导体光学的挑战

有人曾这样形容磁控溅射技术——就像往平静的湖水里投入了石子溅起水花。磁控溅射真空镀膜技术是物理气相沉积(Physical Vapor Deposition)的一种,其原理是:用带电粒子加速轰击靶材表面,发生表面原子碰撞并产生能量和动量的转移,使靶材原子从表面逸出并沉积在衬底材料上的过程。
2023-04-18 10:30:071766

多孔氮化硅陶瓷天线罩材料制备及性能研究

近日,上海玻璃钢研究院有限公司的高级工程师赵中坚沿着该思路,以纯纤维状α-Si3N4粉为主要原料,通过添加一定比例氧化物烧结助剂,经冷等静压成型和气氛保护无压烧结工艺烧结制备出了能充分满足高性能导弹天线罩使用要求的多孔氮化硅陶瓷。
2023-04-16 10:30:461274

谁才是最有发展前途的封装材料呢?

目前,常用电子封装陶瓷基片材料包括氧化铝(Al2O3)、氮化铝(AlN)、氮化硅(Si3N4)、氧化铍(BeO)、碳化硅(SiC)等。那么,谁才是最有发展前途的封装材料呢?
2023-04-13 10:44:04801

氮化硅陶瓷基板的市场优势和未来前景

氮化硅基板是一种新型的材料,具有高功率密度、高转换效率、高温性能和高速度等特点。这使得氮化硅线路板有着广泛的应用前景和市场需求,正因为如此斯利通现正全力研发氮化硅作为基材的线路板。
2023-04-11 12:02:401364

芯片级氮化硅无源光隔离器

光隔离器是一种只允许单向光通过的无源光器件,其主要特点是:正向插入损耗低,反向隔离度高,回波损耗高。目前已经有多种片上光隔离方案,但这些方案大多依赖于磁光材料的集成或声光或电光调制器的高频调制。
2023-04-03 16:19:041633

高效率低能耗干法超细研磨与分散压电陶瓷等硬质矿物材料技术升级

氮化硅研磨环由于研磨环存在内外气压差,可以在密闭的真空或者很浓密的场景中快速的上下运动,氮化硅磨介圈在大的球磨机里不仅起到研磨粉碎的作用,更重要的是众多的氮化硅磨介圈环会发生共振现象,氮化硅
2023-03-31 11:40:35597

氮化铝单晶的湿法化学蚀刻

清洗过程在半导体制造过程中,在技术上和经济上都起着重要的作用。超薄晶片表面必须实现无颗粒、无金属杂质、无有机、无水分、无天然氧化物、无表面微粗糙度、无充电、无氢。硅片表面的主要容器可分为颗粒、金属杂质和有机物三类。
2023-03-31 10:56:19314

湿清洗过程中硅晶片表面颗粒去除

在整个晶圆加工过程中,仔细维护清洁的晶圆表面对于在半导体器件制造中获得高产量至关重要。因此,湿式化学清洗以去除晶片表面的污染物是任何LSI制造序列中应用最重复的处理步骤。
2023-03-30 10:00:091940

绝缘高导热粘接剂导热填料应用领域及特点

导热填料其主要成份为纳米氮化硅镁、纳米碳化硅、纳米氮化铝、纳米氮化硼、高球形度氧化铝、纳米氮化硅(有规则取向结构)等多种超高导热填料的组合而成,根据每种材料的粒径、形态,表面易润湿性,掺杂分数,自身
2023-03-29 10:11:55531

线路板的表面是什么?处理是做什么呢?

是ENIG。都是通过化学的方法在铜面上沉积一层镍,然后在镍层上再沉积一层金,所以表面看上去是金黄色。沉金的厚度一般是1u”和2u“。沉金的流程也是三个主要步骤:前处理—沉金—后处理。当然沉金里面又分有水洗、除
2023-03-24 16:59:21

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