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灰尘传感器在半导体集成电路生产洁净室中的应用

2020年06月30日 14:54 次阅读

对于许多生产车间来说,车间环境和洁净度都有严格的要求,比如半导体集成电路生产就需要在一个超级洁净的环境中进行,不同的制造流程对车间洁净度的要求也不同。为了更直观准确地体现生产车间的洁净度,灰尘传感器不可或缺。

半导体集成电路在生产过程中会接触到很多污染物,比如无机离子、有机物质、微生物、气体杂质等等。另外,广义而言,不适当的温度、湿度、光照、静电超标、电磁噪声、空气噪声和微振动也是特殊的污染物。其中,当颗粒杂质、无机离子、有机物质、微生物和气体杂质的含量超过一定限度时,集成电路产品会出现表面划伤、图形断裂、短路、针孔、脱皮等现象。导致电路泄漏和异常电气特性,轻则影响电路性能和使用寿命,重则导致电路报废。通常,污染导致的电路产品故障率可能高达60%。

简言之,集成电路芯片的成品率与芯片的缺陷密度有关,而缺陷密度与空气中的粒子数有关。因此,随着集成电路的迅速发展,不仅对控制空气中颗粒的大小要求极高,而且对控制颗粒的数量也要求极高。同时,对超大规模集成电路生产环境中无尘车间项目的化学污染控制也有相关要求。

鉴于这种情况,就需要使用灰尘传感器来对半导体集成电路生产车间的环境进行监测,保证产品生产环境达到洁净标准。

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◆ 实时响应并支持连续采集

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◆ 电控器件寿命≥8年,平均工作无故障时间≥5年

◆ 六面全方位屏蔽结合软件抗干扰算法,抗干扰性能更强

◆ 适用范围广,无需再进行风道设计,兼容多协议输出

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