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浅谈Mems传感器,它的七大分类是哪些

2020年06月11日 11:07 次阅读

Mems传感器的七大分类是哪些?

MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。它具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高、技术附加值高,适于批量化生产、易于集成和实现智能化等特点。

下面是MEMS传感器七大分类:

1、压力传感器:绝对压力传感器和计量压力的传感器。

2、热学传感器:温度和热量传感器。

3、力学传感器:力、压强、速度和加速度传感器。

4、化学传感器:化学浓度、化学成分和反应率传感器。

5、磁学传感器:磁场强度、磁通密度和磁化强度传感器。

6、辐射传感器:电磁波强度传感器。

7、电学传感器:电压、电流和电荷传感器。

除了上面介绍的几种典型MEMS传感器外,还有许许多多的MEMS传感器,如用于微观判断的MEMS触觉传感器、MEMS生物传感器、MEMS图像传感器等在不同环境中,MEMS传感器的技术应用也是不同的。

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