6.3.5.2 氧化后退火∈《碳化硅技术基本原理——生长、表征、器件和应用》
6.3.5.2 氧化后退火
6.3.5 氧化硅/SiC 界面特性及其改进方法
6.3 氧化及氧化硅/SiC 界面特性
第６章碳化硅器件工艺
《碳化硅技术基本原理——生长、表征、器件和应用》
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