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5.3.2.1 寿命控制∈《碳化硅技术基本原理——生长、表征、器件和应用》

深圳市致知行科技有限公司 2022-01-06 09:38 次阅读

5.3.2.1 寿命控制

5.3.1 SiC中的主要深能级缺陷

5.3 SiC中的点缺陷

第5章碳化硅的缺陷及表征技术

《碳化硅技术基本原理——生长、表征、器件和应用》

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