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突破日本封锁,韩企试用中国进口氟化氢原料

半导体前沿 2019-07-19 09:48 次阅读

韩国突破日本封的问题上,三星、SK海力士已经开始测试验证从中国进口的氟化氢材料了。

在日本管制供应韩国的三种材料,氟聚酰亚胺(Fluorine Polyimide)主要用于OLED面板生产、光刻胶则是半导体制造中的核心材料,高纯度氟化氢(Eatching Gas)同样也是半导体工艺生产中的常用材料,用于蚀刻、清洗,700多道半导体工艺中约有50道工艺涉及氟化氢。

前两种材料中日本公司近乎垄断,特别是EUV级别的光刻机还没多少日本之外的公司染指,而从日本进口的氟化氢占了韩国的43.9%,而且半导体制造用的高纯度氟化氢几乎也是100%进口自日本。

不过氟化氢依然可能是个突破口,韩国媒体报道称SK海力士已经开始测试韩国Soulbrain公司供应的高纯度氟化氢材料,而后者又是从中国进口的氟化氢原材料。

除了SK海力士之外,三星据悉也已经在旗下的半导体制造工厂中应用了SoulBrain公司的氟化氢材料。

此外,消息称,三星最近在中国西安、不过正如之前所说,半导体工艺是极其复杂的,选用任何材料都需要很长时间的验证,更换材料更是要重新测试整套流程,费时费力,不是短时间内可以完成的。

原文标题:三星SK海力士试用中国进口氟化氢,减少对日本依赖

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