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蚀刻的工艺流程及注意事项

牵手一起梦 来源:郭婷 2019-04-24 15:52 次阅读

蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wet etching)和干蚀刻(dry etching)两类。它可通过曝光制版、显影后,将要蚀刻区域的保护膜去除,在蚀刻时接触化学溶液,达到溶解腐蚀的作用,形成凹凸或者镂空成型的效果。

最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版,也广泛地被使用于减轻重量(Weight Reduction)仪器镶板,铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工;经过不断改良和工艺设备发展,亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工,特别在半导体制程上,蚀刻更是不可或缺的技术。

工艺流程:

1、来料检验当接到客户需要加工的工件时,首先我们要经过检查,也就是我们目前IQC工序所要做的工作,把接到客户的加工工件抹干净,然后进行仔细检验,把来料中存在的不良品剔除出来,保证投入的产品是良品。

2、静电除尘、喷感光油、检查当来料加工的工件经过IQC检验合格后,就交给下一道工序:喷感光油,但在喷感光油前一定要进行静电除尘,因为产品在生产过程和我们抹试的过程中,不同程度上会存在静电,而静电是可以吸付灰尘的,所以必须经过静电除尘,把静电去除后灰尘才不会吸付在产品上面,完成静电除后就进行下一步工作:喷感光油,喷感受光油的作用主要是为下一道工序感光(爆光)做好准备,将产品前后都喷上感光油,完成喷油工作后,必须对产品进行仔细检查,检查的目的是产品在喷油过程中有没有喷到油、有没有存留油渣等不良现象出现,当产品检查OK后就要流入下一个工序:感光(爆光)。

3、感光、显影 感光(爆光)是将菲林放在已经喷了感光油的产品上面,主要的目的是通过爆光让菲林上的图案在产品上形成,感光(爆光)过程中要特别注意夹具一定要放好,菲林不能歪斜,否则产品图案就会出现歪斜现象,从而产生不良品,而菲林也要定期检查,不能出现折叠现象,否则也会出现不良品。感光(爆光)完成后就要进行下一步工作:显影;显影的目的是通过显影药水将未爆光的地方冲走,经过爆光的地方固化,形成蚀刻图案,经过显影后质检员对产品进行检查,把显影不到的地方或图案不良的产品挑选出来,良品则进入下一道工序:封油。

4、封油 所谓封油就是将产品在喷油过程中产品边缘的位置、喷不到油的地方进行人工补油,补油过程中产品的金属部位不可有外露现象,否则经过蚀刻后将会产生不良品,补油完成后再对产品进行烘干,烘干完成后对产品进行检查,检查OK后才可以放入下一道工序:蚀刻。

5、蚀刻、清洗 蚀刻是整个生产流程的关键工序,主要是将产品通过化学溶液的化学作用将产品经过爆光显影后外露的不锈钢部位进行腐蚀,从而形成我们想要的图案,蚀刻工作完成后对产品进行清洗,将多余的油漆清洗掉,然后经过慢拉机等的清洗设备完成产品的加工过程。

6、出货检验 经过蚀刻清洗工序完成后的产品即是我们想要的产品,但还要进行FQC最终检验,将生产过程中的不良品剔除出来后才可以交成品仓库安排出货。

问题注意:

减少侧蚀和突沿,提高蚀刻系数

侧蚀产生突沿。通常印制板在蚀刻液中的时间越长,(或者使用老式的左右摇摆蚀刻机)侧蚀越严重。侧蚀严重影响印制导线的精度,严重侧蚀将使制作精细导线成为不可能。当侧蚀和突沿降低时,蚀刻系数就升高,高的蚀刻系数表示有保持细导线的能力,使蚀刻后的导线接近原图尺寸。电镀蚀刻抗蚀剂无论是锡-铅合金,锡,锡-镍合金或镍,突沿过度都会造成导线短路。因为突沿容易断裂下来,在导线的两点之间形成电的桥接。

提高板子与板子之间蚀刻速率的一致性

在连续的板子蚀刻中,蚀刻速率越一致,越能获得均匀蚀刻的板子。要达到这一要求,必须保证蚀刻液在蚀刻的全过程始终保持在最佳的蚀刻状态。这就要求选择容易再生和补偿,蚀刻速率容易控制的蚀刻液。选用能提供恒定的操作条件和对各种溶液参数能自动控制的工艺和设备。通过控制溶铜量,PH值,溶液的浓度,温度,溶液流量的均匀性(喷淋系统或喷嘴以及喷嘴的摆动)等来实现。

提高整个板子表面蚀刻速率的均匀性

板子上下两面以及板面上各个部位的蚀刻均匀性是由板子表面受到蚀刻剂流量的均匀性决定的。

蚀刻过程中,上下板面的蚀刻速率往往不一致。一般来说,下板面的蚀刻速率高于上板面。因为上板面有溶液的堆积,减弱了蚀刻反应的进行。可以通过调整上下喷嘴的喷啉压力来解决上下板面蚀刻不均的现象。蚀刻印制板的一个普遍问题是在相同时间里使全部板面都蚀刻干净是很难做到的,板子边缘比板子中心部位蚀刻的快。采用喷淋系统并使喷嘴摆动是一个有效的措施。更进一步的改善可以通过使板中心和板边缘处的喷淋压力不同,板前沿和板后端间歇蚀刻的办法,达到整个板面的蚀刻均匀性。

提高安全处理和蚀刻薄铜箔及薄层压板的能力

在蚀刻多层板内层这样的薄层压板时,板子容易卷绕在滚轮和传送轮上而造成废品。所以,蚀刻内层板的设备必须保证能平稳的,可靠地处理薄的层压板。许多设备制造商在蚀刻机上附加齿轮或滚轮来防止这类现象的发生。更好的方法是采用附加的左右摇摆的聚四氟乙烯涂包线作为薄层压板传送的支撑物。对于薄铜箔(例如1/2或1/4盎司)的蚀刻,必须保证不被擦伤或划伤。薄铜箔经不住像蚀刻1盎司铜箔时的机械上的弊端,有时较剧烈的振颤都有可能划伤铜箔。

减少污染的问题

铜对水的污染是印制电路生产中普遍存在的问题,氨碱蚀刻液的使用更加重了这个问题。因为铜与氨络合,不容易用离子交换法或碱沉淀法除去。所以,采用第二次喷淋操作的方法,用无铜的添加液来漂洗板子,大大地减少铜的排出量。然后,再用空气刀在水漂洗之前将板面上多余的溶液除去,从而减轻了水对铜和蚀刻的盐类的漂洗负担。

推荐阅读:http://m.elecfans.com/article/607536.html

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