中微自研5纳米等离子体刻蚀机经台积电验证

不鸣则已，一鸣必惊人！

当全世界都将目光投向华为，关注孟晚舟的时候，上海突然传来大消息，让国人为之振奋，让世界为之震撼：

中微半导体设备（上海）有限公司自主研制的5纳米等离子体刻蚀机经台积电验证，性能优良，将用于全球首条5纳米制程生产线。

这意味着中微突破了“卡脖子”技术，让“上海制造”跻身刻蚀机国际第一梯队。

刻蚀机，是芯片制造的核心装备。

现代信息技术和人工智能，都是以芯片为基础的。而刻蚀机作为制造芯片的工具，和光刻机一样，就相当于农业时代的人手，工业时代的机床。

芯片要成为产品，需要设计和制造。

光刻机和刻蚀机都用于芯片制造，光刻机相当于把设计的电路图复制到硅片上，刻蚀机再按照这个图进行施工，他们同样都是集成电路生产过程中必不可少的一环。

▲中国早期等离子刻蚀机

下面我们来划一下这条信息的重点：全球！首条！5纳米芯片制程生产线！

是的，你没看错，不负众望！低调的中微半导体设备公司，终于在2018年的收官时刻，正式敲定了5nm刻蚀机！

5 纳米，什么概念？

同样大小的芯片，谁能装的二极管越多，谁爆发的功能就越强大。因此，芯片对纳米雕刻工艺，有着极致的追求。

一个16nm微观原件，至少有60层微观结构，需要攻克的技术细节高达上万个。

在实际雕刻过程中，需要经过1000多个工艺步骤。他它的加工尺度，为普通人头发丝的五千分之一。

中微半导体CEO尹志尧形容说：“在米粒上刻字的微雕技艺上，一般能刻200个字已经是极限，而我们的等离子刻蚀机在芯片上的加工工艺，相当于可以在米粒上刻10亿个字的水平。”

于方寸间近乎神一样的操作，要求刻蚀机的精度必须达到极致。

打个比方，在高倍的电子扫描镜下，将芯片放大一万倍，它的结构就像是密密麻麻的立交桥和高速公路，而这些高速公路，只有头发丝的万分之一那么宽。刻蚀机就是在指甲盖大小的芯片上建这些“立交桥和高速公路”。

在2018年的收官时刻、在中国高端制造最艰难的时刻，中微半导体的消息无异于平地惊雷，炸响了西方那肮脏的垄断世界！

这是中国半导胜利的辉煌一刻、更是中国科技的里程碑时刻！

自豪的同时，我们要感谢一个人！

是他，让中国半导体技术弯道超车，赶超美日！是他，让“中国芯”实现中国制造，突破外企独霸！

他是谁？

他曾在美国硅谷从事半导体行业20多年；个人拥有60多项专利；曾被美国誉为“硅谷最有成就的华人之一”。

他就是尹志尧！

在没回中国前，尹志尧一直在美国硅谷从事半导体行业，在世界最大的百亿美元的半导体设备企业——美国应用材料公司担任总公司副总裁。

曾被誉为“硅谷最有成就的华人之一”，参与了美国几代等离子体刻蚀机的研发，在半导体行业20多年，拥有60多项技术专利。

然而在2004年，60岁的尹志尧毅然放弃了美国的百万美元的年薪，冲破美国政府的层层审查，带领着三十多人的团队回到中国。

临行前，美国把他所有的工艺配方、设计图纸都没收了，60岁的他，顶个脑袋回来，创办了中微半导体。

他为什么要回国？

如果说在工业化时代，钢铁是工业的“粮食”，那么在如今的信息化时代，“芯片”则就是现代工业的“粮食”。

在他没回国前，中国的芯片行业曾流传这样一句话：除了水和空气以外，其它全是从国外进口的。

华为当时虽然能够设计出顶级的“麒麟芯片”，但并不能生产，只能找***的台积电代工生产。

但按***方面的要求，台积电大陆工厂的技术必须落后***三代。

毫无疑问，一直以来，中国的半导体技术在市场上是完全没有竞争力的！

但是不攻占这一领域，中国永远谈不上制造强国。

核心技术上一旦长期受制于人，那么大量的利润，以及市场的话语权都会给别人占据！

这口闷气一直压在心头，但却又不得不接受这个残酷的现实！

落后就要挨打，强者生存，这便是现实！

他说：在国外做得再好，也是给外国人做嫁衣，学成只为他日归来，报效祖国，让中国芯片在国际上取得一席之地！

他回国后做了些什么？

刚回来时，公司一穷二白，一切从零开始。

他和他的团队一直保持着年轻人的活力，一天工作超过16个小时，只为了能尽快做成世界第一。

中微半导体从65nm等离子介质蚀刻机开始，45nm、32nm、28nm、16nm、10nm一路走下来，7nm蚀刻机也已经运行在客户的生产线上，再到如今的5nm。

经过几年卧薪尝胆，不鸣则已，一鸣必惊人！

万万没想到，一直在这一领域没有任何话语权的中国内地半导体企业能够弯道超车！走在了半导体技术的最前沿，要知道以前中国90%的芯片都需要靠进口，怎么可能？

就如同当初没人相信中国高铁技术能自主研发并成为世界第一那样！

但他们殊不知早在五年前，中国中微就已经开始卧薪尝胆，尹志尧更是说道，要做就做世界第一，做中国第一也会让别人替代！

在我看来，中微能做到一点不奇怪。中微就像一个隐形的巨人一般一直潜伏着，而尹志尧更是点燃星火的人。

最后，尽管这项核心技术被攻破，不过还是要理性的分析一下。

要特别注意，中微半导体搞定5nm蚀刻机，完全不等于就可以生产5nm芯片了，因为蚀刻只是众多工艺环节中的一个而已。

整体而言，我国半导体制造技术还差距非常大，尤其是光刻机，最好的上海微电子也只是做到了90nm的国产化。

当然在另一个方面，我国的半导体技术也在不同层面奋起直追，不断缩小差距，比如依然很先进的14nm工艺，在14nm 领域，北方华创的硅/金属蚀刻机、北方华创的薄膜沉积设备、北方华创的单片退火设备、上海盛美的清洗设备，都已经开发成功，正在进行验证。

“一个人一辈子能做成一件事已经很不简单了，为什么？中国13亿人民，我们这几个把豆腐磨好，磨成好豆腐，你那几个企业好好去发豆芽，把豆芽做好，我们13亿人每个人做好一件事，拼起来我们就是伟大祖国。”

这是任正非在全国科技创新大会上说的一句话。

是的，建设科技强国时不我待！只有每个领域的人专心致志的做好每个领域的事，才能实现弯道超车！

我们相信华为之后，中微同样会成为其领域最闪耀的星星！而这一切，正在发生！！！

假以时日，中国芯片必将屹立世界之巅。