实现器件微型化的微机电系统(MEMS)技术

MEMS 2018-06-13 14:19 次阅读

围绕国家重大需求,自主创新,创造性地发展了电场传感器及其实际应用,系统地解决了从设计、工艺到应用的关键技术,填补了国内外空白。

电场就在我们周围,看不见,摸不着,需要感测电场的传感器来实现。尽管电场探测长期以来受到人们的关注,但是电场探测仪器设备的发展相对缓慢。传统电场探测仪体积大、结构复杂、价格昂贵,工作时空间分辨率低、使用不便、故障率较高。

为满足我国火箭、航天卫星发射的安全条件保障、电网和石油石化等多个领域应用的迫切需求,自从2000年开始,在国家自然科学基金、“863”计划等项目资助下,历时15年,开始了研究空间电场探测器件自主创新的过程,取得了一系列重大突破,研制出只有小拇指甲盖大小的微型电场传感器核心芯片,开发出适合于地面、空中、电网等领域的系列化产品。

实现器件微型化的微机电系统(MEMS)技术

微机电系统技术是一种新型多学科交叉的技术,涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。早在1959年就有科学家提出微型机械的设想,但直到1962年才出现属于微机械范畴的产品—硅微型压力传感器。其后尺寸为50~500微米的齿轮、齿轮泵、气动蜗轮及连接件等微型机构相继问世。

微电子机械系统(以下简称MEMS)的制造,是从专用集成电路(ASIC)技术发展过来的,如同ASIC技术那样,可以用微电子工艺技术的方法批量制造。但比ASIC制造更加复杂,这是由于 MEMS 的制造涉及三维立体加工出微小结构,需要采用敏感生物、化学和物理特性的一些特殊材料。

由于MEMS器件和系统具有体积小、重量轻、功耗小、成本低、可靠性高、性能优异、功能强大、可以批量生产等传统传感器无法比拟的优点,因此在航空、航天、汽车、生物医学、环境监测、军事以及人们接触到的几乎所有领域中都有着十分广阔的应用前景。该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。

开启空间电场侦测的“心脏”微型化征途

采用基于MEMS技术实现电场敏感器件很早就成为了项目组探索空间电场探测器件微型化的最主要的方案之一。

在2000年,项目负责人带队到我国西昌卫星发射基地考察调研,发现当时我国使用的空间电场探测设备陈旧落后,为了更好保障航天发射的安全,需要大量微小型、高性能、低成本的电场传感器,否则难于满足空间电场探测和日常业务应用的需求。项目组负责人那时就下决心一定要研制出满足我国空间电场探测的新一代器件。

为了实现核心电场敏感器件“心脏”的微型化,中国科学院电子学研究所项目组基于MEMS技术,发明了新型的微结构电场传感器,创造性地发展了微型电场传感器及其实际应用,系统地解决了从设计、工艺到应用的关键技术。

基于微电子机械系统(MEMS)技术的敏感结构具有体积小、重量轻、功耗低、易于集成、可批量制造等优点。 微型敏感芯片基于微加工技术制备,敏感结构特征尺寸只有微米量级,大约有人类头发丝的1/3,加工难度大,敏感芯片典型尺寸为33平方毫米。

比较传统的电场敏感器件,结构尺寸大(一般在2020平方毫米以上),而这种微型敏感单元尺寸小、感应信号微弱,静态感应电荷至少小于传统机电器件1个量级,只有pA量级,耦合干扰大,信噪比低,甚至仅有-60dB,有效信号只有本底噪声的1/1000。在如此微小的结构上实现高灵敏探测非常困难。

为此,一方面提高感应效率,增强响应信号,提高分辨力 ;另一方面降低激励电压,提高信噪比。为此,中国科学院电子学研究所发明了高性能共面电极和热激励微型敏感结构。

其中,谐振式共面电极式电场敏感结构采用激励电极和感应电极在同一平面,其工作原理就是通过屏蔽电极在水平方向来回往复振动,侧面屏蔽感应电极,引起感应电荷周期变化,从而产生感应电流。采用梳齿式共面感应电极结构设计,感应效率显著高,提高了灵敏度。为降低激励电压,在国际上首次提出热激励电场敏感微结构,驱动电压低,2V驱动电压即可实现大位移振动。

新颖的一体化集成三维探测技术发挥大作用

经过大量调研和深入的模拟仿真计算,中国科学院电子学研究所项目组发明了国内外首创的高性能旋转电极式三维空中电场传感器,一个敏感探头可实现轴向和径向三维电场探测,首次实现单探头空中三维电场探测。

结合对称电极差分检测技术,以及3/4周期积分信号处理方法,消除了电场耦合、带电粒子、积累偏置电压等噪声信号,有效解决了X、Y、Z三维电场的耦合干扰、空间离子流和空间电荷干扰等关键技术难点,提高了电场探测分辨力。

与美国(航空航天总局 NASA)机载三维电场探测系统相比,传感器数量由5~8个减为1个,精度提高1个数量级,重量仅为NASA每个探头的1/20、体积仅为每个探头的1/10。

从2006年设计定型以来很长一段时间,本单位研制的新型三维空间电场传感器一直是我国西昌、太原等卫星发射基地等单位使用的唯一电场探空产品,已成功应用于风云系列、遥感系列、资源系列、北斗系列、嫦娥探月系列等各类卫星发射和重大航天发射任务中,发挥了关键作用。

累累科研硕果多个领域尽显神通

历经十多年载的长期艰苦努力,中国科学院电子学研究所的“电场探测先进传感器关键技术及应用”项目获发明专利24项、软件著作权6项 ;发表论文84篇,其中SCI/EI收录45篇,国际会议大会特邀主题报告3篇 ;制定国家军用/行业标准6项 ;获得2014年度中国(国际)传感器创新大赛特等奖。中国电子学会组织的科学技术成果鉴定会上,由8名院士和多名权威专家组成的鉴定委员会认为,本项目“在国际上首次实现了微型电场传感器实际应用,空中三维电场传感器为国际首创,显著提升了电场探测传感器技术和应用水平。微型电场传感器和空中三维电场传感器的整体技术达到国际领先水平”。

项目成果已经成功应用于航天发射、国防、电网、石化、静电测量、气象和科学研究等多个领域40余家单位,已被美国、韩国用户采购,产生了显著的社会和经济效益。

原文标题:电场传感器:侦测电场的“利眼”

文章出处:【微信号:MEMSensor,微信公众号:MEMS】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

收藏 人收藏
分享:

评论

相关推荐

使用Tanner实现物联网所用的CMOS IC与MEMS的集成设计

实际上,许多IoT边缘器件会在单个封装中集成多个芯片,将电子器件与MEMS设计分开。Tanner A....

的头像 WShare市场投资芯片传感IoT硬件 发表于 08-17 14:15 308次 阅读
使用Tanner实现物联网所用的CMOS IC与MEMS的集成设计

通过MEMS麦克风发展与专利诉讼浅析潜在的专利侵权风险

一个小小的MEMS麦克风,引起歌尔股份和楼氏电子中美两大巨头长达近两年的专利纠纷。本文通过对专利的权....

的头像 MEMS 发表于 08-16 16:58 391次 阅读
通过MEMS麦克风发展与专利诉讼浅析潜在的专利侵权风险

请问MEMS加速度传感器ADIS16240 L8管脚的作用是什么?

在ADIS16240芯片中,数据手册(REV.C page 6)提到K8,L8管脚是Analog Input Channel,这个管教的作用是什么呢?数据...

发表于 08-16 06:05 19次 阅读
请问MEMS加速度传感器ADIS16240 L8管脚的作用是什么?

MEMS加速传感器在医疗电子中的应用详细资料免费下载

通过基于微电子机械系统(MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM, MEMS)....

发表于 08-14 19:33 35次 阅读
MEMS加速传感器在医疗电子中的应用详细资料免费下载

USound携手伟创力,制造各种MEMS扬声器应用

据麦姆斯咨询报道,基于MEMS技术的个人应用先进音频解决方案开发商USound,近日宣布与全球领先的....

的头像 MEMS 发表于 08-13 15:59 423次 阅读
USound携手伟创力,制造各种MEMS扬声器应用

为何说MEMS传感器在结构健康监测中决定性作用

可用于测量倾斜度变化、振动分析以及线性或圆周运动——即使在极端条件下也能测量。通过此类传感器可以执行....

的头像 亚德诺半导体 发表于 08-13 10:03 679次 阅读
为何说MEMS传感器在结构健康监测中决定性作用

德州仪器DLP®技术具有哪些优势?

德州仪器DLP® 产品 - 发动显示技术创新

的头像 TI视频 发表于 08-13 02:30 41次 观看
德州仪器DLP®技术具有哪些优势?

深度解析压电传感器原理及应用

压电材料是指受到压力作用在其两端面会出现电荷的一大类单晶或多晶的固体材料,它是进行能量转换和信号传递....

的头像 传感器与物联网 发表于 08-10 09:57 867次 阅读
深度解析压电传感器原理及应用

请问型号为ADXRS624 的MEMS 陀螺仪其量程能否改为10°/s.

型号为ADXRS624 的MEMS 陀螺仪其量程能否改为10°/s....

发表于 08-10 06:53 99次 阅读
请问型号为ADXRS624 的MEMS 陀螺仪其量程能否改为10°/s.

一种基于多种MEMS传感器的嵌入式姿态测量系统设计详解

传统的姿态测量因为采用高精度陀螺仪和加速度计等姿态传感器,体积庞大并且价格昂贵。当前MEMS产品因其....

发表于 08-09 16:46 117次 阅读
一种基于多种MEMS传感器的嵌入式姿态测量系统设计详解

浅析MEMS传感器在汽车上的应用

。在汽车领域,MEMS压力传感器营业收入2013年预计达到12.6亿美元,占当年总体产业营业收入的7....

的头像 MEMS技术 发表于 08-09 08:39 1011次 阅读
浅析MEMS传感器在汽车上的应用

MEMS元件封装介绍!

MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的,目前MEMS加工技术....

的头像 满天芯 发表于 08-08 10:57 338次 阅读
MEMS元件封装介绍!

如何消除非隔离式电源的共模电流中的EMI

电源设计小贴士 40:非隔离式电源的共模电流

的头像 TI视频 发表于 08-08 01:38 151次 观看
如何消除非隔离式电源的共模电流中的EMI

关于TI DLP®技术的特点及应用介绍(2)

德州仪器DLP® 产品 - 沉浸式显示应用 (2)

的头像 TI视频 发表于 08-08 01:20 108次 观看
关于TI DLP®技术的特点及应用介绍(2)

西人马与航天测控达成战略合作,推动民用航空与PHM的延伸发展

近日,位于福建泉州市洛江区的西人马科技有限公司举行战略合作签约仪式,携手北京航天测控技术有限公司助推....

的头像 MEMS 发表于 08-07 16:59 390次 阅读
西人马与航天测控达成战略合作,推动民用航空与PHM的延伸发展

MEMS元器件是如何进行封装的?

MEMS是一种全新的必须同时考虑多种物理场混合作用的研发领域,相对于传统的机械,它们的尺寸更小,最大....

发表于 08-07 11:02 137次 阅读
MEMS元器件是如何进行封装的?

如何将3D加速计和陀螺仪组合使用

加速计和陀螺仪是获取无人机、蜂窝电话、汽车、接收机和移动物联网设备中加速和旋转信息的传感器选择。但加....

的头像 电子设计 发表于 08-07 09:49 852次 阅读
如何将3D加速计和陀螺仪组合使用

请问偏压稳定度和零偏稳定性是同一个概念吗?

在网上看到Harvey Weinberg(ADI MEMS感测器技术部门应用工程事业群主管) 的一篇文章,里面提到了偏压稳定度,而在MEM...

发表于 08-07 07:02 111次 阅读
请问偏压稳定度和零偏稳定性是同一个概念吗?

台湾工研院开发出MEMS传感器酒测手表,可检测酒精浓度让你行车更安全

台湾工研院开发的酒测手表可让驾驶在开车前自行检测,协助驾驶了解自身状况,提升行车安全,目前此项技术已....

发表于 08-06 15:50 74次 阅读
台湾工研院开发出MEMS传感器酒测手表,可检测酒精浓度让你行车更安全

深南电路产品价格稳定,积极开发5G无线通信基站用PCB产品

据消息,早前潍坊一家专门生产电动车的企业因为使用雷军电动的商标被小米公司告到了海淀法院,小米声称,该....

的头像 电子发烧友网 发表于 08-03 10:14 958次 阅读
深南电路产品价格稳定,积极开发5G无线通信基站用PCB产品

如何将CMOS IC与MEMS融合到物联网边缘智能器件设计中?

创建基于传感器的物联网(IoT)边缘器件会涉及多个设计领域,因此极具挑战性(图1)。但是,在同一硅片....

的头像 MEMS 发表于 08-02 18:55 1117次 阅读
如何将CMOS IC与MEMS融合到物联网边缘智能器件设计中?

NextInput完成B轮融资,推出MEMS力度感测解决方案

据麦姆斯咨询报道,MEMS力度感测解决方案全球领导者NextInput近日宣布,公司已经成功实现了力....

的头像 MEMS 发表于 08-02 14:30 494次 阅读
NextInput完成B轮融资,推出MEMS力度感测解决方案

适用于工业基础设施应用的MEMS传感器

平板电脑、智能电话、视频游戏机、摄录机和相机彻底改变了传感器世界,其中包括MEMS加速度计和陀螺仪。....

的头像 电机控制设计加油站 发表于 07-31 11:05 481次 阅读
适用于工业基础设施应用的MEMS传感器

英特尔联合SiTime,开发MEMS时钟解决方案,可靠性和性能提升20倍

SiTime公司的MEMS产品具备增强的高可靠性和对环境刺激的高耐受度,已应用于消费级电子产品、网络....

发表于 07-30 16:53 58次 阅读
英特尔联合SiTime,开发MEMS时钟解决方案,可靠性和性能提升20倍

MEMS加速度计和MEMS陀螺仪区别 常见MEMS加速度传感器介绍

最大的区别就是:工作原理和应用的区别(具体概念看下百科),前者是利用加速度,后者是利用惯性;前者是用....

发表于 07-30 11:26 181次 阅读
MEMS加速度计和MEMS陀螺仪区别 常见MEMS加速度传感器介绍

浅谈MEMS陀螺仪技术 MEMS是否取代光纤陀螺仪技术

MEMS陀螺仪也称电子式陀螺仪,就是一块芯片。 Iphone 4上的陀螺仪就是这种,主要作用是在GP....

发表于 07-30 11:21 171次 阅读
浅谈MEMS陀螺仪技术 MEMS是否取代光纤陀螺仪技术

可用于高温恶劣环境下的MEMS气体检测模块介绍

通常情况,气体检测模块工作在室温(最大温度为60℃)。而Micro-Hybrid气体检测模块的最高工....

发表于 07-29 10:55 96次 阅读
可用于高温恶劣环境下的MEMS气体检测模块介绍

英飞凌与Aaware达成战略合作,开发下一代语音开发平台

据消息报道,致力于使人们生活更方便、更安全、更绿色的半导体解决方案全球领导者Infineon Tec....

的头像 MEMS 发表于 07-27 16:55 640次 阅读
英飞凌与Aaware达成战略合作,开发下一代语音开发平台

请问采用mems数字麦克风采集音频信号,通过ADAU1761将音频信号存储在spi-flash,ADAU1761能边录音边从耳机放音?

嗨,想设计一款产品,采用mems数字麦克风采集音频信号,在通过ADAU1761将音频信号存储在spi-flash里面,通过无线蓝牙上传至手...

发表于 07-27 09:36 56次 阅读
请问采用mems数字麦克风采集音频信号,通过ADAU1761将音频信号存储在spi-flash,ADAU1761能边录音边从耳机放音?

请问为什么三轴MEMS加速度计中X轴和Y轴的一致性更好?

ADI的工程师,早上好:      我之前有使用过ADXL355这款三轴加速度计,那时给我留下很大印象是,X...

发表于 07-27 07:17 78次 阅读
请问为什么三轴MEMS加速度计中X轴和Y轴的一致性更好?

请问MEMS传感器ADXL354断电后又上电出现死机情况是什么原因?

ADXL354断电后马上上电,会出现死机情况,但是断电后过一会再上电,有时会好,有时还是处于死机状态。...

发表于 07-27 07:05 62次 阅读
请问MEMS传感器ADXL354断电后又上电出现死机情况是什么原因?

第九届中国纳博会:CHINA MEMS2018成亮点

2018第十届中国国际MEMS技术及应用展(CHINA MEMS2018)将在苏州工业园区与第九届中....

的头像 半导体行业联盟 发表于 07-26 11:34 913次 阅读
第九届中国纳博会:CHINA MEMS2018成亮点

MEMS应用市场高景气度,耐威科技利润暴增

智能手机是MEMS在消费类产品中最大的应用领域,未来MEMS传感器使用量有望达到20颗。全球平均每辆....

的头像 半导体投资联盟 发表于 07-23 17:07 1183次 阅读
MEMS应用市场高景气度,耐威科技利润暴增

森谱科技正式推出基于MEMS技术的微型气相色谱系统

强大的在线智能软件允许您快速设置初始分析方法和验证应用程序。机载数据处理系统接管Micro GC 的....

发表于 07-23 09:04 63次 阅读
森谱科技正式推出基于MEMS技术的微型气相色谱系统

自动驾驶的铁三角是什么?

雷达、激光雷达和高性能MEMS IMU的演进,这些变革性技术将是未来高级安全与自动驾驶应用快速推进的....

的头像 MEMS 发表于 07-21 08:46 554次 阅读
自动驾驶的铁三角是什么?

盘点MEMS传感器在汽车上的应用

在汽车电子控制系统快速增长的市场需求下,汽车传感器技术不断发展。未来汽车传感器的发展总体趋势是智能化....

的头像 物联网技术 发表于 07-19 15:52 464次 阅读
盘点MEMS传感器在汽车上的应用

基于MEMS的 FIS1100惯性测量装置IC 及融合软件

对于片载外设,设备包含一个 20 通道可编程外设互连器件 (PPI) 子系统,无需 CPU 干预即可支持外设操作。 开发人员通过 P...

发表于 07-18 16:03 473次 阅读
基于MEMS的 FIS1100惯性测量装置IC 及融合软件

深迪联手格芯大规模量产6轴IMU芯片 填补国内市场空白

据麦姆斯咨询报道,深迪半导体6轴IMU芯片SH200Q及支持光学防抖(OIS)功能的SH200L,于....

的头像 MEMS 发表于 07-17 17:36 1143次 阅读
深迪联手格芯大规模量产6轴IMU芯片 填补国内市场空白

意法半导体推出支持汽车精确定位控制的新款高精度MEMS传感器

横跨多重电子应用领域、全球领先的半导体供应商(STMicroelectronics,简称;纽约证券交易所代码:STM) 推出汽车级六轴惯...

发表于 07-17 16:46 281次 阅读
意法半导体推出支持汽车精确定位控制的新款高精度MEMS传感器

MEMS麦克风电路介绍

ECM和MEMS这两种麦克风的功能相同,但各自和系统其余部分之间的连接却不一样。本

发表于 07-17 14:55 169次 阅读
MEMS麦克风电路介绍

对于ATE测试仪器仪表,典型测试设备系统设计

由于待测器件(DUT)的复杂性提高,通道/引脚数量和功能增加,因而测试类型和所需测试数量也随之增加。....

的头像 亚德诺半导体 发表于 07-16 09:21 1082次 阅读
对于ATE测试仪器仪表,典型测试设备系统设计

谈论MEMS技术原理及优势

可能大部分对MEMS还是比较陌生,但其实MEMS在生活中早已无处不在了,智能手机、手环、汽车、无人机....

的头像 MEMS技术 发表于 07-15 08:40 731次 阅读
谈论MEMS技术原理及优势

我国传感器发展状况以及与国外的差距

传感器作为现代科技的前沿技术,被认为是现代信息技术的三大支柱之一,也是国内外公认的最具有发展前途的高....

的头像 传感器技术 发表于 07-13 16:16 983次 阅读
我国传感器发展状况以及与国外的差距

全球MEMS代工厂将重新排名!Silex超越台积电索尼荣登第三

2017年,全球MEMS代工收入排名中,该公司的全资子公司Silex超越TSMC(台积电)和SONY....

的头像 芯片街icstreet.com 发表于 07-11 11:53 1309次 阅读
全球MEMS代工厂将重新排名!Silex超越台积电索尼荣登第三

怎么样执行本地校准的MEMS?

Atmel小贴士 如何执行本地校准的MEMS

的头像 Microchip视频 发表于 07-11 00:34 194次 观看
怎么样执行本地校准的MEMS?

移动互联网时代 MEMS的前世今生

无论是博世(Bosch)还是意法半导体(ST),都没能在2017年MEMS市场排名中拔得头筹。当今世....

的头像 面包板社区 发表于 07-10 17:08 471次 阅读
移动互联网时代 MEMS的前世今生

Atmel本地校准的MEMS

爱特梅尔本地校准的MEMS

的头像 Microchip视频 发表于 07-09 03:02 322次 观看
Atmel本地校准的MEMS

介绍MEMS时钟发生器的特点及应用介绍

Microchip基于MEMS的时钟发生器

的头像 Microchip视频 发表于 07-08 01:23 342次 观看
介绍MEMS时钟发生器的特点及应用介绍

MEMS压力传感器的两种校准方法该如何选择?

客户自己做校准的缺点是在线校准很难执行,并且它可能是高度破坏性的。购买已经校准过的传感器要比在线校准....

发表于 07-07 09:52 133次 阅读
MEMS压力传感器的两种校准方法该如何选择?

楼氏电子智能麦克风用于OPPO Find X,助力OPPO实现定制化新功能

据麦姆斯咨询报道,先进微型声学、音频处理和高精度器件解决方案全球供应商及市场领导者Knowles(楼....

发表于 07-07 09:51 392次 阅读
楼氏电子智能麦克风用于OPPO Find X,助力OPPO实现定制化新功能

新开发出复合立体微结构,实现制造尺寸极其微小的传感器和电子器件

该项目利用了合作双方的技术优势,基于创新的MEMS技术开发而成。其中,小野田制作所提供了具有优良机械....

发表于 07-07 09:50 68次 阅读
新开发出复合立体微结构,实现制造尺寸极其微小的传感器和电子器件

车用MEMS传感器的应用和传感器TOP10厂商盘点

汽车市场已经成为传感器的重要应用市场,MEMS汽车传感器作为汽车电子控制系统电子控制系统的重要信息源....

发表于 07-06 13:59 811次 阅读
车用MEMS传感器的应用和传感器TOP10厂商盘点

博世or意法半导体,谁是MEMS领域排名第一的厂商?

根据法国市场市调公司Yole Développement发布的MEMS最新报告,去年,博通的排名首次....

的头像 章鹰 发表于 07-05 09:12 2312次 阅读
博世or意法半导体,谁是MEMS领域排名第一的厂商?

耐威科技:北京MEMS产线达产后,MEMS产能有望位居全球第一

此前,耐威科技还透露,对于公司目前的MEMS工艺开发及晶圆制造业务而言,BOM(Bill of Ma....

发表于 07-04 14:12 722次 阅读
耐威科技:北京MEMS产线达产后,MEMS产能有望位居全球第一

一款紧凑型精密6轴MEMS惯性传感器-ADIS16460

本报告对ADI精密6轴MEMS惯性传感器ADIS16460进行详细的拆解与逆向分析,包括工艺流程、制....

发表于 07-02 15:47 214次 阅读
一款紧凑型精密6轴MEMS惯性传感器-ADIS16460

ACEINNA发布新款传感器模块MTLT305D

据麦姆斯咨询报道,ACEINNA在6月26日发布了其最新款基于MEMS的动态倾角传感器模块MTLT3....

发表于 07-02 15:27 127次 阅读
ACEINNA发布新款传感器模块MTLT305D

微软最近有一份专利公开,表示可以在很大程度上扩大视场角

来看看它的具体结构,下面的图片中即是主要部分的结构透视图。其中标记为140的是激光发射装置,一般情况....

的头像 AR酱 发表于 07-02 15:11 698次 阅读
微软最近有一份专利公开,表示可以在很大程度上扩大视场角

First Sensor携手英飞凌展示MEMS激光雷达技术

传感器专家First Sensor利用英飞凌(Infineon)MEMS微镜扫描LiDAR演示系统展....

的头像 MEMS 发表于 07-02 10:04 721次 阅读
First Sensor携手英飞凌展示MEMS激光雷达技术

MEMS振动监控:从加速度到速度

简介MEMS加速度计终于达到了能够测量广泛机器平台振动的阶段。其最近的能力进步,加上MEMS加速度计已有的相对于传统振动...

发表于 08-16 09:06 1634次 阅读
MEMS振动监控:从加速度到速度

利用MEMS陀螺仪实现低噪声反馈控制设计

MEMS陀螺仪提供了测量旋转角速度的一种简单方法,其封装很容易连接印刷电路板,因此被广泛用于许多不同类型的运动控制系统中...

发表于 08-12 15:38 1365次 阅读
利用MEMS陀螺仪实现低噪声反馈控制设计