【四旋翼飞行器】76小时吃透四轴算法!史上最强软硬结合实战项目,👉戳此立抢👈

高性能MEMS加速度计低成本解决方案

电子设计 2018-06-12 09:40 次阅读

导航和AHRS系统、机器健康状况检测的振动监控、基础设施的结构健康状况监控和平台稳定、井下定向钻探的倾斜监控、施工行业平路机和勘测设备的调平、吊车稳定系统吊杆倾角测量的高精度倾角计……

它们,都需要高性能 MEMS 加速度计来提供低成本解决方案!

一般,加速度计会经受不同幅度的振动,但上述这些应用的另一个不同方面是振动的频率成分。振动与传感器和系统误差源相结合可能导致振动校正,这是高性能加速度计的一个重要指标。

本文将告诉你们——

✍ MEMS 加速度计中的振动校正是如何发生的?

✍ 测量振动校正需要知道的参数以及使用的技术。

作为案例研究,文中会讨论低噪声、低功耗加速度计 ADXL355 的振动校正。ps.低振动校正误差以及所有其他特性,使这款器件成为上述精密应用的理想之选。

振动校正的来源

振动校正误差 (VRE) 是加速度计对交流振动(被整流为直流)的响应,表现为加速度计失调的异常偏移。在倾角计等应用中,这是一个重大误差源,因为加速度计的直流输出是目标信号,失调的任何改变都可能被错误地解读为倾角变化,导致误差一路向下传递,从而引起安全系统误触发、平台稳定或钻桅对准机制过度补偿等。

VRE 高度依赖于加速度计所经受的振动特性曲线,不同应用施加于加速度计的振动模式会不同,因而 VRE 可能不同。振动校正有多种发生机制,本文讨论其中的两种。

非对称轨  

重力产生一个静态 1 g (9.8 m/s2) 加速度场,当加速度计敏感轴竖直对齐时,其测量范围会有一个偏移。2 g 满量程范围的传感器与重力加速度对齐时,将只能测量 1 g 峰值振动,否则响应会被削波。超过 1 g 的对称激励信号的平均值将不为零,原因是在经受额外 1 g 加速度的方向上,电平会被削波。

图 1 中,一个激励振动信号施加于 2 g 满量程传感器上。当振动为 0.3 g rms(300到600样本之间)时,失调没有可观测的偏移。然而,当振动为 1 g rms(600到1000样本之间)时,VRE约为 –100 mg。

“图1.图1. ±2 g满量程范围的加速度计因为非对称削波而产生的振动校正图解

VRE 可建模为一个截断分布的平均偏移,受加速度计满量程范围的限制。当传感器在 1 g 场中经受随机振动时,输入激励信号可建模为一个平均值 μ= 1 g 且标准差 σ= X 的正态分布,其中X表示输入振动幅度均方根值。传感器输出建模为双截断正态分布,输出值下界和上界分别为–R和+R,其中R为传感器的最大范围。此双截断正态分布的平均值计算如下:

“”

其中,

“”

为概率密度函数,

“”

为其累积分布函数。

α 和 β 被定义为

“” “”

这样 VRE 即为:

“”

比例因子非线性误差  

非线性误差是指工作范围内加速度计输出与最佳拟合直线的偏差。此偏差常常用满量程输出范围的百分比表示。加速度计的非线性误差可能引起 VRE。

描述加速度计非线性的常见模型是n次多项式。输出ao (LSB)可表示为输入ai (g)的函数:

“”

其中:

K0:失调 (LSB)

K1:比例因子 (LSB/g)

Kn:非线性的n次项系数,n = 2,3, … (LSB/gn)

考虑一个简单的正弦输入加速度:

“”

此输入的时间平均值为零。加速度计的输出可表示为:

“”

时间平均输出等于上式右侧所有分量的时间平均值之和。奇数次项的平均值为零。带入偶数次项的平均值

“” “”

输出的时间平均值即为:

“”

其中Grms为输入加速度的均方根值。上式说明,在一个正弦振动的情况下,二次非线性转换为直流失调的偏移 (K2Grms2)。

“”代表振动校正系数 (VRC),单位为 µg/g2-rms。

振动校正的幅度和频率相关性

振动幅度很小时,VRE 以传感器非线性为主,可用 VRC 来表示: VRE = VRC × vib2rms。然而,当振动幅度大于满量程范围时,VRE 往往以上一部分所述的非对称削波为主。另外,正如之前提到的,加速度计输出的任何非零失调也会引起非对称削波。大多数针对工业应用而设计的MEMS 加速度计都会内置故障安全电路,在有很大振动时,它会关闭传感器偏置电路,防止检测元件受损。振动幅度很大时,此特性可能会在失调中进一步引起异常偏移,使 VR E恶化。

由于各种谐振和器件中的滤波器,VRE 常常具有很强的频率相关性。由于谐振器的两极响应,在传感器的谐振频率下,MEMS 传感器谐振会放大振动,放大比率等于谐振品质因数,而在频率较高时则会抑制振动。谐振品质因数较高的传感器,振动幅度越大,其VRE也越大。由于高频带内振动的积分效应,较大的测量带宽也会引起较高的VRE。信号处理电路中实现的模拟和数字滤波器可抑制输出端的带外振动峰值和谐波,但对 VRE 没有明显作用,原因是振动输入被偶数次非线性整流为直流信号。

测量振动校正

一旦将加速度计部署于现场,便无法实时补偿 VRE。在有些应用中,振动引起失调中出现较小直流偏移是可以容忍的,对此可以测量 VRE 以估计加速度计输出中的误差,从而确定 VRE 是否在允许限度内。在任何振动测量中,振动台和试验夹具必须平齐,并且必须使用精密振动台以抑制振动台跨轴振动、偏移和结构谐振引起的误差。另外,试验夹具必须具有适当的刚度,确保夹具谐振频率离加速度计带宽和振动曲线频段很远。最优夹具设计的最低谐振频率应当比最高振动频率高出大约 50%。

正弦振动特性曲线

正弦振动方法是最常用且现有文献讨论最多的方法,已被纳入 IEEE标准 1293-1998。一般程序是将一个正弦振动输入施加于加速度计,然后测量失调偏移与均方根振动幅度(vibrms)的关系。VRC 可以通过对此数据应用最小二乘法来估算:

“”

由于可以很好地控制幅度,并且可以确保加速度计不会削波,因此通过这种方法能够精确测量 VRC。这种测试还能用来识别并量化器件谐振对 VRE 的影响。然而,它一次只能测试一个频率,而要充分衡量传感器性能,必须分别测试加速度计带宽范围内的多个频率。

随机振动特性曲线

VRE 也可以利用随机振动输入来测量。通常,实际的振动不像正弦振动特性曲线那样呈周期性或可预测,因此通过这种方法可以衡量加速度计在大部分应用中的性能。通过量化宽频率范围内宽带激励的失调偏移,这种方法更适合于同时纳入所有扰频并激励所有器件谐振。然而,它不保证峰峰值振动幅度,故而获得的VRE为频率范围上的平均值。

图 2 比较了配置为 ±2 g 范围的 ADXL355 Z 轴传感器的截断平均值模型与实测VRE。测量中,Z 轴与重力(1 g场)对齐,利用 Unholtz-Dickie 振动台施加一个随机振动特性曲线(50 Hz至2 kHz频段)。利用一个参考加速度计(PCB Piezotronics 352C23型)测量振动幅度;当振动幅度提高到满量程范围以上时,测量失调偏移。截断平均值模型(拟合到2.5 g截断)与测量结果拟合得很好。由于机械传感器开销和输出带宽限制(测量数据中的加速度计带宽为1kHz,但模型不考虑带宽),截断相对于设置的满量程范围预计会有偏差。当振动水平达到8 g时,±2 g范围的超范围保护电路就会激活。高斯分布振动的波峰因数约为3,因此超过2.5 g rms后,实测性能开始明显偏离模型。

“图2.图2. 截断平均值拟合与 ADXL355 实测振动校正的比较

影响VRE的其他因素

MEMS 传感器谐振会影响加速度计的振动校正。高质量因数会导致频率接近传感器谐振频率的振动信号被放大,引起较大 VRE。这可以通过比较 ADXL355(±8 g范围、1 kHz带宽)的 Z 轴传感器与X轴和Y轴传感器的VRE性能得知;图 3 显示X轴和Y轴传感器的 VRE在 3 g rms 左右达到峰值,因为其 Q 高于 Z 轴传感器。

“图3.图3. 在 ADXL355 的两个 DUT 中,高 Q(X轴、Y轴)和低 Q(Z轴)传感器的 VRE 比较

使用不必要的较大带宽时,也会导致加速度计对较高频率成分求均值,从而对 VRE 产生不利影响。图4反映了这一点,其比较了 ADXL355 DUT(±2 g范围)的 Y 轴传感器在两种不同带宽设置下的 VRE。125 Hz 带宽设置的 VRE 显著低于1 kHz带宽设置的VRE。

“图4.图4. 1 g 场中 ADXL355 的 Y 轴传感器(±2 g范围)在两种不同带宽设置(125 Hz和1 kHz)下的VRE

结语

为加速度计选择合适的带宽以抑制高频振动,可以避免很多振动相关问题。通过放大谐振时的振动耦合,包装因素(如封装和安装谐振)也会影响 VRE。确保封装有适当的刚度,让封装和安装谐振频率位于加速度计带宽之外,是实现良好振动校正性能的关键。

总之,振动校正误差是 MEMS 加速度计的一个重要指标,设计利用 MEMS 加速度计在高振动环境中进行直流测量时,应当考虑这种效应。

收藏 人收藏
分享:

评论

相关推荐

IMU为嵌入式应用提供更精细的定位分辨率

全球导航卫星系统 (GNSS) 非常有用,能够定位全球任意位置已正确启用此功能的系统,但仅仅使用 G....
的头像 电子设计 发表于 01-17 08:40 90次 阅读
IMU为嵌入式应用提供更精细的定位分辨率

MEMS传感器在工业自动化中的设计

工业4.0和工业物联网(IIoT)等计划正在帮助制造企业提高生产流程的效率。基于云的分析应用程序负责....
的头像 电子设计 发表于 01-16 08:24 496次 阅读
MEMS传感器在工业自动化中的设计

STM32F107通过I2C读加速度计LIS3DSH数据y,z轴没有数据

只有x轴有数据且一直为正数,而y,z轴始终没有数据...
发表于 01-15 07:18 133次 阅读
STM32F107通过I2C读加速度计LIS3DSH数据y,z轴没有数据

固态激光雷达的研发及生产解决方案

最近几年,自动驾驶成为人们关注的焦点,许多诸如谷歌、百度等企业家都不遗余力地发展自动驾驶,以期能够实....
的头像 MEMS 发表于 01-14 13:58 178次 阅读
固态激光雷达的研发及生产解决方案

传感器领域的国内外企业汇总

感知层主要由传感器、微处理器和无线通信收发器等组成。传感器处于整个物联网的最底层,是数据采集的入口,....
的头像 OFweek工控 发表于 01-14 08:47 1400次 阅读
传感器领域的国内外企业汇总

Analog Devices ADIS1647x微型工业IMU可改善物联网设备的导航功能

Analog Devices的ADIS1647x 精密工业级惯性测量单元 (IMU)。ADIS1647x IMU是Analog Devices MEMS IMU系...
发表于 01-13 12:29 93次 阅读
Analog Devices ADIS1647x微型工业IMU可改善物联网设备的导航功能

高性能MEMS传感器助力无人机飞行性能提高

无人机能够保持方向稳定、被用户精准操控,或者自动飞行,都依赖于惯性MEMS传感器。然而,无人机面临的....
发表于 01-12 11:20 254次 阅读
高性能MEMS传感器助力无人机飞行性能提高

高性能MEMS传感器在无人机中的应用

据麦姆斯咨询报道,无人机的市场规模和应用范围正在蓬勃发展,似乎每隔一天就会出现新的应用。无论是邮件或....
发表于 01-12 09:17 222次 阅读
高性能MEMS传感器在无人机中的应用

MEMS和传感器正扮演着越来越重要的角色未来大有可为

在即将到来的物联网时代中将起到的核心作用,为新科技产品提供更智能、更敏锐的感观能力。国内外各大初创企....
发表于 01-11 14:29 105次 阅读
MEMS和传感器正扮演着越来越重要的角色未来大有可为

我国传感器产业与同国际先进水平相比传感器新品研制落后5年至10年

在传感器制造工艺以及技术方面,美国、日本以及德国等发达国家长期处于国际市场领先地位,三国几乎垄断了全....
发表于 01-10 15:55 113次 阅读
我国传感器产业与同国际先进水平相比传感器新品研制落后5年至10年

虽然平衡小车快做烂,但不知道现在的平衡小车的水平到底怎样?

好像很久以前吧,大家都在一窝蜂的搞自平衡小车,好像是什么电赛题目吧。 但是以前偶尔看YOUTUBE时也会时不时的看到平衡...
发表于 01-10 10:00 47次 阅读
虽然平衡小车快做烂,但不知道现在的平衡小车的水平到底怎样?

RoboSense携MEMS固态激光雷达M1亮相CES

2019年1月4日,CES 2019创新奖得主自动驾驶激光雷达感知系统提供商 RoboSense 宣....
的头像 MEMS 发表于 01-09 16:15 405次 阅读
RoboSense携MEMS固态激光雷达M1亮相CES

Garmin的运动设备中有哪些传感器呢?

隐藏于其中的玄机就是——传感器。首先,什么是传感器?传感器(Sensor)是一种物理装置或生物器官,....
的头像 MEMS 发表于 01-09 10:49 518次 阅读
Garmin的运动设备中有哪些传感器呢?

MEMS扫描芯片的研发进展以及对MEMS激光雷达技术和未来的深刻理解

MEMS激光雷达具有角分辨率与帧率方面的优势,可提供自驾车较远的物体/行人辨识距离。那么,Opus为....
的头像 MEMS 发表于 01-09 10:39 596次 阅读
MEMS扫描芯片的研发进展以及对MEMS激光雷达技术和未来的深刻理解

想开发一个智能坐垫,获取坐姿的传感器选什么加速度计或者陀螺仪合适?

想开发一个智能坐垫,获取坐姿的传感器选什么加速度计或者陀螺仪合适? ...
发表于 01-07 19:47 95次 阅读
想开发一个智能坐垫,获取坐姿的传感器选什么加速度计或者陀螺仪合适?

用静电悬浮技术设计耐久的MEMS开关

据麦姆斯咨询报道,研究人员开发了一款新型MEMS开关,利用静电悬浮技术提供了更耐久的系统。
的头像 MEMS 发表于 01-07 14:34 336次 阅读
用静电悬浮技术设计耐久的MEMS开关

详解高性能MEMS IMU解决方案

对于复杂且高动态惯性配置的MEMS IMU应用,评估功能时需要考虑许多属性。在设计周期早期评估这些属性优于追逐开放性成果,...
发表于 01-04 10:23 58次 阅读
详解高性能MEMS IMU解决方案

探析MEMS气体传感器的分类和优势

目前,气体传感器的应用日趋广泛,在物联网等泛在应用的推动下,其技术发展方向开始向小型化、集成化、模块....
的头像 MEMS技术 发表于 01-03 17:14 421次 阅读
探析MEMS气体传感器的分类和优势

全球MEMS传感器产业链大盘点

MEMS 按产品线划分占主导低位的依然是惯性传感器和微流量传感器,占比都为24%左右,其次是压力传感....
的头像 MEMS技术 发表于 01-03 17:03 1049次 阅读
全球MEMS传感器产业链大盘点

希景科技助力激光雷达固态化

据麦姆斯咨询报道,希景科技自主开发的二维MEMS扫描微镜实现成功量产。
的头像 MEMS 发表于 01-02 08:58 459次 阅读
希景科技助力激光雷达固态化

国内和国际MEMS晶圆级测试技术对比分析

晶圆级测试技术应用于MEMS产品开发全周期的3个阶段:(1)产品研发(R&D)阶段:用以验证器件工作....
的头像 人间烟火123 发表于 01-01 15:52 1003次 阅读
国内和国际MEMS晶圆级测试技术对比分析

车用MEMS传感器的具体应用及全球MEMS汽车传感器十大厂商

车用MEMS传感器的应用方向和市场需求包括车辆的防抱死系统(ABS)、电子车身稳定程序(ESP)、电....
的头像 电子发烧友网工程师 发表于 01-01 14:14 637次 阅读
车用MEMS传感器的具体应用及全球MEMS汽车传感器十大厂商

全球MEMS的发展及产商排名状况

根据研究机构Yole的最新数据,2017年全球MEMS销售额高达118亿美元,而受智能汽车、行动性、....
的头像 皇华电子元器件IC供应商 发表于 01-01 10:55 722次 阅读
全球MEMS的发展及产商排名状况

论SMI SM95D/G在充油芯体领域应用

SM95系列是一款硅型微压电阻式压力传感芯片,其满量程为0.15 到1.5PSI(1到 10 kPa....
的头像 人间烟火123 发表于 12-29 09:15 1489次 阅读
论SMI SM95D/G在充油芯体领域应用

2018年声学MEMS和传感器培训圆满收官!

深耕产业、博文多识的讲师团队,令人叹服!12月13日上午,本次培训由来自Mentor Graphic....
的头像 MEMS 发表于 12-26 16:06 849次 阅读
2018年声学MEMS和传感器培训圆满收官!

MEMS传感器广泛普及 加速物联网时代的到来

传感器是建构物联网不可或缺的关键元件;随着各产业领域业者纷纷投入物联网应用开发,已刺激动作、影像、温....
发表于 12-26 14:02 744次 阅读
MEMS传感器广泛普及 加速物联网时代的到来

如何设计压电MEMS超声波换能器产品

本文介绍了压电MEMS超声波换能器产品的设计过程,包括传感器的仿真、设计以及它与整个系统的集成。
的头像 MEMS 发表于 12-26 11:22 578次 阅读
如何设计压电MEMS超声波换能器产品

I2C不工作是MCC问题吗?

试图编写一个I2C驱动程序,我在另一个文件中工作,我刚刚移植了这些函数。PIC12LF1840的后端代码是使用MCC创建的。我试...
发表于 12-20 16:17 42次 阅读
I2C不工作是MCC问题吗?

提高ADXRS646的抗振性能否采用在一个轴向上用两片陀螺的输出信号进行差分的方式进行改善?

请教一下,为了进一步提高MEMS陀螺ADXRS646的抗振性,能否采用在一个轴向上用两片陀螺的输出信号进行差分的方式进行改善...
发表于 12-19 13:54 54次 阅读
提高ADXRS646的抗振性能否采用在一个轴向上用两片陀螺的输出信号进行差分的方式进行改善?

MEMS惯性传感器投资策略解析

中国半导体产业中存在着巨大发展空间的领域除了CPU、GPU、FLASH、DSP和FPGA之外,MEM....
的头像 智车科技 发表于 12-19 10:46 1564次 阅读
MEMS惯性传感器投资策略解析

ADIS16209的数据输出出现毛刺

各位大神:     我在使用ADIS16209进行静态测试的时候,输出的双轴加速度计输出会出现毛刺,具体现象如图所示,请...
发表于 12-19 09:27 61次 阅读
ADIS16209的数据输出出现毛刺

通过单个加速度计增强计步器的性能 含代码

发表于 12-18 14:54 50次 阅读
通过单个加速度计增强计步器的性能 含代码

MEMS智能传感器普及 ADI从三大领域出击

     到2020年,世界上将安装有300亿个无线传感器节点,未来十年,传感器数量可能达到万亿级。在国内,随着...
发表于 12-18 14:35 57次 阅读
MEMS智能传感器普及 ADI从三大领域出击

我国传感器发展状况我国传感器技术离世界顶级还有多大的差别

传感器作为现代科技的前沿技术,被认为是现代信息技术的三大支柱之一,也是国内外公认的最具有发展前途的高....
的头像 传感器技术 发表于 12-15 10:00 2078次 阅读
我国传感器发展状况我国传感器技术离世界顶级还有多大的差别

常见MEMS气体传感器有哪些类型

固体电解质气敏传感器有电流型和电压型两种,电流型的灵敏度高,测量范围大,温漂小。但它的输出电流和敏感....
发表于 12-11 15:03 397次 阅读
常见MEMS气体传感器有哪些类型

InSense有望颠覆惯性MEMS产业格局

InSense将推出10轴单芯片惯性传感器,包括3轴加速度计+3轴陀螺仪+3轴地磁+压力传感器。
的头像 MEMS 发表于 12-10 16:45 733次 阅读
InSense有望颠覆惯性MEMS产业格局

高速成长的MEMS麦克风成近年的蓝海市场

受惠于两岸MEMS麦克风厂商销售火热,并大力度扩充产能,四方自动化今年营收站在高点,还有再成长的空间....
的头像 MEMS 发表于 12-10 14:42 1006次 阅读
高速成长的MEMS麦克风成近年的蓝海市场

MEMS气体传感器有哪些类型优势又是什么

具有代表性的基于金属氧化物半导体敏感材料(MOS)气体传感器已广泛应用于安全、环境、楼宇控制等领域的....
发表于 12-09 10:25 307次 阅读
MEMS气体传感器有哪些类型优势又是什么

介绍村田MEMS谐振器的3大特征

村田通过MEMS技术使该产品达到了小型化,并实现了与晶体谐振器相同的初始频率精度(±20ppm)以上....
的头像 村田中文技术社区 发表于 12-07 16:36 612次 阅读
介绍村田MEMS谐振器的3大特征

盘点全球MEMS传感器产业链

MEMS 按产品线划分占主导低位的依然是惯性传感器和微流量传感器,占比都为24%左右,其次是压力传感....
的头像 WPR 发表于 12-07 15:35 889次 阅读
盘点全球MEMS传感器产业链

昊量MEMS的MR-15-30系列反射镜的详细数据和资料说明

紧凑的MR-15-30系列结合了具有特别大的倾斜角的大镜面的优点。该反射镜适用于汽车(激光雷达,大灯....
发表于 12-05 08:00 180次 阅读
昊量MEMS的MR-15-30系列反射镜的详细数据和资料说明

浅析MEMS电导型气敏传感器的设计与工艺

目前,气体传感器的应用日趋广泛,在物联网等泛在应用的推动下,其技术发展方向开始向小型化、集成化、模块....
的头像 传感器技术 发表于 12-04 16:39 808次 阅读
浅析MEMS电导型气敏传感器的设计与工艺

BMC150六轴电子通道传感器数据手册免费下载

BMC150是用于消费市场应用的集成电子罗盘解决方案。它包括12位前缘三轴、低加速度传感器和超低功率....
发表于 12-03 08:00 175次 阅读
BMC150六轴电子通道传感器数据手册免费下载

基于声机电类比原理的压电麦克风等效电路模型

目前应用最广泛的麦克风类型是微机电系统(MEMS)电容式麦克风,其主要结构为电容器结构,由背极板、振....
的头像 MEMS 发表于 11-30 15:22 2617次 阅读
基于声机电类比原理的压电麦克风等效电路模型

BMA250E数字式三轴加速度传感器的数据手册免费下载

BMA250E是一种三轴,低加速度传感器,具有数字输出,用于消费应用。它允许在三个垂直轴上测量加速度....
发表于 11-29 08:00 68次 阅读
BMA250E数字式三轴加速度传感器的数据手册免费下载

加速度传感器在高铁中的作用

“要保证动车组高速平稳行驶,首先要由加速度传感器对来自X(轴)、Y(径)和Z(垂)向的应力进行实时监....
发表于 11-28 15:39 595次 阅读
加速度传感器在高铁中的作用

物联网的发展需要智能传感器

“IC与MEMS的集成与融合,是传感技术产业发展的必由之路,特别是高档传感器、智能传感器。” 中国仪....
发表于 11-28 15:31 457次 阅读
物联网的发展需要智能传感器

MEMS气压传感器的工作原理及在物联网中的应用

压力传感器有多种不同的应用,其中最常见的应用是气象监测。压力传感器现在已非常普遍。它现在可能就存在你....
发表于 11-28 15:15 251次 阅读
MEMS气压传感器的工作原理及在物联网中的应用

MEMS传感器将迎来新的浪潮,MEMS传感器有何特点?

例如传统的光纤陀螺仪,由上图可见,体积虽然越来越小,但对于放入一些电子产品而言是不可能完成的。而且为....
的头像 物联网资本论 发表于 11-28 11:30 1458次 阅读
MEMS传感器将迎来新的浪潮,MEMS传感器有何特点?

意法半导体MEMS压电绝对气压传感器LPS22HH

意法半导体LPS22HH MEMS压电绝对气压传感器的精确度和稳定性俱佳,设备制造商在焊接后无需执行....
的头像 意法半导体AMG 发表于 11-28 11:19 809次 阅读
意法半导体MEMS压电绝对气压传感器LPS22HH

浅析MEMS麦克风的结构与工作模式

随着智能设备的迅猛发展,市场需要更高性能的麦克风,而MEMS可以在紧凑的尺寸内麦克风提供高性能和保真....
的头像 MEMS 发表于 11-28 10:56 1127次 阅读
浅析MEMS麦克风的结构与工作模式

盘点10个全固态激光雷达设计公司

Quanergy的LiDAR传感器在六大关键商业化指标(成本、性能、可靠性、尺寸、重量和功率效率)上....
的头像 智车科技 发表于 11-27 08:58 1391次 阅读
盘点10个全固态激光雷达设计公司

剖析MEMS气压传感器在物联网中的应用

据麦姆斯咨询报道,气压传感器是一类非常有用的MEMS器件。它们在物联网(IoT)中有非常广泛的应用,....
的头像 MEMS 发表于 11-26 14:48 673次 阅读
剖析MEMS气压传感器在物联网中的应用

意法半导体推出IIS2DLPC 3轴MEMS加速度计

意法半导体推出IIS2DLPC 3轴MEMS加速度计,可以在超低功耗和高分辨率之间动态改变工作模式,....
的头像 MEMS技术 发表于 11-23 11:03 879次 阅读
意法半导体推出IIS2DLPC 3轴MEMS加速度计

浅析近年值得关注的新兴MEMS和传感器技术

今天的大部分重磅MEMS产品,都是作为学术研究成果而诞生的。
的头像 MEMS 发表于 11-23 10:04 853次 阅读
浅析近年值得关注的新兴MEMS和传感器技术

Bourns新推出微机电系统环境传感器

美国柏恩Bourns全球知名电子组件领导制造供货商,近日推出了微机电系统(MEMS)环境传感器,Bo....
的头像 Excelpoint世健 发表于 11-21 16:59 658次 阅读
Bourns新推出微机电系统环境传感器

MEMS与智能传感器技术专题论坛在郑州召开

清华大学尤政院士在论坛致词中讲到中国制造需要实现自主可控,“中兴事件”后,国家发现我们大部分芯片都不....
的头像 MEMS 发表于 11-19 15:55 701次 阅读
MEMS与智能传感器技术专题论坛在郑州召开

首次在MEMS器件中嵌入AI技术,为边缘计算创造机会

据麦姆斯咨询报道,加拿大魁北克Universite de Sherbrooke(舍布鲁克大学)的研究....
发表于 11-18 10:30 308次 阅读
首次在MEMS器件中嵌入AI技术,为边缘计算创造机会

河南省智能传感器创新联盟成立,为郑州建设提供技术和动力支撑

河南省智能传感器创新联盟由郑州大学、汉威科技集团股份有限公司等国内知名高校、科研院所及传感器行业相关....
的头像 MEMS 发表于 11-16 16:21 916次 阅读
河南省智能传感器创新联盟成立,为郑州建设提供技术和动力支撑

Microchip新推小尺寸MEMS时钟发生器

据麦姆斯咨询报道,Microchip推出了业界尺寸最小的MEMS时钟发生器DSC613。这款新器件可....
的头像 MEMS 发表于 11-15 16:38 775次 阅读
Microchip新推小尺寸MEMS时钟发生器