侵权投诉

多层金属薄膜工艺在MEMS器件中的应用

MEMS 2018-04-18 11:11 次阅读

微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)是指可以批量制造的集微结构、微传感器、微执行器以及信号处理和控制电路等于一体的器件或系统。薄膜是MEMS技术中最常用的材料和手段,多层膜是将2种以上的不同材料先后沉积在同一个衬底上,以改善薄膜同衬底间的粘附性。薄膜的厚度从纳米(nm)到微米(μm)级,远小于其他二维方向。同体材料相比,由于薄膜材料的厚度很薄,很容易产生尺寸效应,如薄膜材料的特性会受到薄膜厚度的影响,表现出与体材料不同的物理性质。薄膜的研究主要包括薄膜材料和薄膜制备技术,薄膜材料分为金属薄膜、半导体薄膜、绝缘体薄膜等; 制备技术包括物理气相沉积、化学气相沉积、旋涂等。在各种薄膜制备技术中,溅射镀膜技术由于能制备高熔点材料、复合材料薄膜以及具有沉积速率快、可控性好等优点得到了广泛的应用。

1 溅射工作原理

溅射镀膜是以一定能量的粒子轰击靶材表面,使靶材表面的原子或分子获得足够的能量而逸出靶材表面并沉积在衬底上的工艺。溅射用的轰击粒子一般是带正电的惰性气体离子,常用氩气(Ar)作为工艺气体。在外加电源作用下使氩气电离,产生辉光放电,正电氩离子轰击靶材,如图1所示,被撞击出的原子或分子穿过真空,淀积在衬底形成薄膜。溅射镀膜过程中,气体电离是必备的条件 。由于溅射的靶材粒子没有固定的方向,到达衬底表面时具有较大的能量,薄膜的粘附性和台阶覆盖性较好。

图1 溅射原理

根据电源的不同将溅射分为直流溅射和射频溅射,用这2种方式直接溅射效率较低,放电过程中仅有0.3%~0.5 %的气体被电离。磁控溅射利用电场和磁场正交的磁控效应,使电子的运动轨迹集聚在靶材周围,增加了电子与气体碰撞的次数,使气体的离化率大幅提高,获得了更广泛的应用。本文溅射采用直流磁控溅射方式,靶材与阴极之间插入磁极,由此产生的磁场控制电子仅在靶材附近运动,如图2所示。

图2 直流磁控溅射系统示意

2 多层金属薄膜工艺

MEMS器件中常用的金属材料为金、铬、铝等。铬/金膜主要用于二氧化硅湿法腐蚀的掩膜层,要求膜层和圆片的粘附性高、均匀性好。铝/铬膜主要用于制作MEMS器件中敏感结构中的功能层,要求薄膜应力小,对膜层的粘附性、均匀性、可焊性要求高。在基底上沉积的多层薄膜厚度一般为几十纳米到几百纳米。良好的金属薄膜具备应力小、粘附性好、厚度均匀、可焊性好的特性。

2.1 常用金属薄膜材料特性

金属是制作 MEMS器件的重要材料之一,在MEMS中的常见应用包括导电、机械结构、磁元件、热导体和光反射等。常用金属薄膜材料特性如表1所示。

表1 金属薄膜材料特性

2.2 多层金属薄膜溅射工艺

1) 装片:将基片送入溅射室样品台; 2) 抽真空: 打开真空系统,抽至所需真空值( 一般高于5x10^(-4)Pa) ; 3) 充入氩气: 使溅射室气压保持0.6 Pa; 4) 预溅射: 打开直流电源,设定功率500W,时间5min,此时靶材被挡板遮住,基片上未沉积薄膜; 5) 加热: 开启样品台加热电源,设定圆片加热温度100 ℃( 温度稳定在设定值后开始后续工艺) ; 6) 第一层薄膜溅射: 确认辉光正常,打开挡板开始计时,溅射第一层薄膜; 7) 第二层薄膜溅射: 对第二层薄膜预溅射直至完成溅射,工艺步骤与第一层薄膜溅射相同。

2.3 多层金属薄膜溅射质量评价指标与方法

2.3.1 应力

薄膜与薄膜、薄膜与衬底之间的热膨胀系数差异,沉积温度和环境温度的差异,使薄膜产生应力。溅射工艺薄膜中多存在张应力,薄膜容易开裂。防止多层薄膜开裂和丘状凸起的方法是降低薄膜应力,防止膜层被氧化。主要方法如下: 选择热膨胀系数接近的材料; 提高真空度,对衬底加热,采取有效的除气工艺,尽量将包括水汽等的残余气体排出,减少对薄膜质量的影响; 适当降低沉积速率,提高膜层的致密性; 完成多层薄膜沉积后不破真空,直接退火处理,细化晶粒,减少薄膜材料缺陷。

2.3.2 粘附性

薄膜粘附性直接影响产品的性能和寿命,提高薄膜粘附性是薄膜工艺重点要考虑的问题。影响粘附性的主要因素是圆片的洁净度、薄膜与圆片的附着力。圆片的洁净度控制主要包括湿法清洗和等离子干法清洗。湿法清洗:用硫酸和双氧水按1∶1比例在常温下浸泡,并用丙酮和去离子水分别超声清洗; 等离子干法清洗: 采用高纯度的氩气和氧气混合作为清洗介质,去除圆片表面的有机物及氧化层。洁净度检测采用接触角测量仪测量水滴角,观察圆片处理后的亲水性,水滴角度越小,表示洁净度越好。

金属薄膜材料与硅、二氧化硅附着力的定性描述如表2所示。金属材料可以直接附着在硅上; 金、铜两种材料与二氧化硅的附着力较差。使用过渡层薄膜材料可以提高粘附性,一般沉积几纳米到几十纳米厚度的铬或镍作为过渡层。

表2 金属材料与硅和二氧化硅的附着力

2.3.3 均匀性

薄膜均匀性是衡量薄膜质量的一项重要指标。随着真空薄膜技术的广泛应用,对薄膜的均匀性要求越来越高。靶材与圆片的距离d会影响薄膜沉积的均匀性,如图3所示。

图3 靶材与圆片的距离对薄膜均匀性的对比

图中,圆片的直径为a,当d≤a时,圆片上的薄膜厚度r中间厚,边缘薄; 当 d>>a 时,圆片上的薄膜厚度均匀性较好。根据靶材与圆片的相对位置不同,溅射有直溅射和斜溅射两种。直溅射中靶材表面与圆片表面平行,靶材表面积大于或等于圆片表面积,溅射时圆片完全位于靶材的正上方或正下方,薄膜的不均匀性在8%左右,实现圆片自转控制在5%以内; 斜溅射的靶材表面与圆片表面成一定角度,溅射时圆片自转,薄膜不均匀性低于3% ,缺点是沉积效率较直溅射效率低。

2.3.4 可焊性

金属薄膜作为功能性材料,可焊性是最主要的体现,常用电阻率进行评价。电阻值R与截面积S的乘积与长度L的比值为物质的电阻率ρ,即ρ=RS/L。提高靶材和气体纯度、真空腔的洁净度,减少真空腔内的残余气体、采用等离子技术进行表面处理可以提高薄膜的可焊性。

3 实验与结果

3.1 退火降低应力试验

采用斜溅射的方式在2张玻璃上溅射铝/铬膜,工艺参数如下: 本底真空5x10^(-4)Pa,氩气流量50SCCM,工艺真空0.6Pa,溅射功率500W,溅射铝和铬的时间分别为40,3min,厚度分别为700,100nm,片间的厚度误差小于2.1% 。2张玻璃上的铝/铬膜溅射完成后采用2种方式取出: 一张350℃真空退火1h后自然降温至室温取出; 另一张直接取出。将2张玻璃片用激光切割成小方块,用扫描电镜和能谱分析仪观测: 退火的薄膜晶粒致密,无裂纹和丘状凸起,如图4所示。未退火的薄膜大部分区域存在裂纹和丘状凸起,裂纹宽度约0.3μm; 丘状凸起的宽度1~2μm,主要元素是铝,其次是氧和铬,如图5所示。对比2种薄膜的表面形貌,表明退火对薄膜的开裂和丘状凸起到改善作用,能降低薄膜应力。

图4 铝/铬薄膜退火后的扫描电镜图

图5 铝/铬膜未退火产生的丘状凸起和裂纹

3.2 等离子清洗改善粘附性试验

对玻璃做等离子清洗前、后的对比试验。清洗前,用接触角测量仪的滴管在玻璃上滴一颗小水滴,测量水滴的角度为42.5°; 采用功率100W的射频等离子体清洗10min,测量水滴的角度为4°,如图6所示。水滴角试验表明等离子清洗后玻璃的洁净度提高。

图6 等离子清洗效果对比

用射频等离子体清洗的玻璃和未用等离子体清洗的玻璃各1张,放置在旋转的载片盘上,采用直溅射的方式同时完成铬/金膜的溅射后直接取出,采用尖角镊子对2种薄膜做划痕试验,如图7所示。采用等离子清洗后溅射的铬/金膜粘附性较好,划痕试验中无膜层起皱情况; 未清洗溅射的铬/金膜起皱较明显。

图7 铬/金膜的划痕试验

3.3 可焊性试验

采用溅射在玻璃上的铝/铬膜进行引线键合( 焊接) 试验。直接用热超声方式在薄膜上引线键合,不同位置的部分焊点在做破坏性拉力时引线脱落。为了提高薄膜的可焊性,在同一张薄膜上进行2种试验,分别测试了距离相近的30个键合点: 1) 提高键合功率,无损拉力测试合格,铝/铬膜有轻微破坏情况,进行破坏性拉力试验,有部分焊点存在引线脱落现象; 2) 微波等离子体处理10min,功率80W,键合效果明显改善,虽然仍存在个别脱键问题,但破坏性拉力值较高。试验对比数据如图8所示,表明微波等离子处理对膜层可焊性改善较明显。

图8 引线键合拉力值对比

4 结束语

MEMS器件中的多层金属薄膜制备主要采用溅射工艺,主要的评价指标有薄膜的应力、粘附性、均匀性和可焊性。降低薄膜应力的办法有提高除气效果、降低沉积速率、薄膜真空退火等。粘附性通过控制好基底的洁净度和使用与基底附着力大的过渡层材料增强; 均匀性可通过在直溅射中使圆片自转或不考虑沉积效率直接用斜溅射的方式提高; 提高靶材和气体纯度、真空腔的洁净度,采用等离子技术进行表面处理可以提高薄膜的可焊性。

原文标题:MEMS器件中多层金属薄膜溅射工艺研究

文章出处:【微信号:MEMSensor,微信公众号:MEMS】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

收藏 人收藏
分享:

评论

相关推荐

TE公司推出小尺寸角速率传感器(陀螺仪)MODEL 610

  MODEL 610是TE公司推出一款小尺寸角速率传感器(陀螺仪),利用可靠的硅MEMS传感元件、定制电子元件和封装,即使...
发表于 07-07 10:41 30次 阅读
TE公司推出小尺寸角速率传感器(陀螺仪)MODEL 610

MEMS红外传感器电子封装报告

传感器半导体技术的开发成果日益成为提高传感器集成度的一个典型途径,在很多情况下,为特殊用途的MEMS....
发表于 07-07 09:42 2次 阅读
MEMS红外传感器电子封装报告

基于单晶硅传感器的MEMS惯性传感器工作方式

  在技术应用中测量倾斜度,加速度和振动需要高精度的惯性传感器:MEMS(微型机电系统)系列传感器采用单晶硅传感器元件,...
发表于 07-07 09:36 30次 阅读
基于单晶硅传感器的MEMS惯性传感器工作方式

First Sensor致力于运用先进的模块化技术平台开发和制造定制化MEMS质量流量传感器

  使用诸多医疗设备时,必须监测控制空气流量、气体流量以及管线压力和治疗压力。这些医疗设备包括呼吸机、麻醉设备、睡眠诊断...
发表于 07-07 09:15 37次 阅读
First Sensor致力于运用先进的模块化技术平台开发和制造定制化MEMS质量流量传感器

低压MEMS传感器SM5391硬件设计和软件设计指引

  SMI的低压MEMS传感器系列,数字和模拟输出,提供完整的压力校准和温度补偿,可用于仪表,差分,不对称差分配置,使用...
发表于 07-07 09:10 41次 阅读
低压MEMS传感器SM5391硬件设计和软件设计指引

MEMS加速度传感器在电机健康状态监测上的表现情况

随着工业4.0深入的推进,电机已经成为了工业生产中最主要的驱动设备,广泛应用于各个生产领域。电机在长....
发表于 07-03 15:31 65次 阅读
MEMS加速度传感器在电机健康状态监测上的表现情况

如何做到芯片分辨出十种气味

日前,英特尔和美国康奈尔大学在《自然-机器智能》(Nature Machine Intelligen....
发表于 07-03 14:44 109次 阅读
如何做到芯片分辨出十种气味

明皜传感荣获2020年度中国IC设计成就奖“最佳MEMS传感器”殊荣

力度传感器df220,是明皜独立研发的一款数字输出测力传感器,也是目前市面上第一款数字输出测力传感器....
的头像 MEMS 发表于 07-01 11:03 568次 阅读
明皜传感荣获2020年度中国IC设计成就奖“最佳MEMS传感器”殊荣

功率放大器驱动压电薄膜测试中应用

压电材料是指受到压力作用在其两端面会出现电荷的一大类单晶或多晶的固体材料,它是可以进行能量转换和信号传递的重要载体。压电...
发表于 06-30 17:31 316次 阅读
功率放大器驱动压电薄膜测试中应用

基于英飞凌 XENSIV™ MEMS高性能麦克风 IM69D130 语音交互解决方案

谈到边缘AI,落地最成功的产品莫过于智能音箱——从语音拾取,结合语义理解,进而输出反馈,如此实现了完....
发表于 06-29 11:21 368次 阅读
基于英飞凌 XENSIV™ MEMS高性能麦克风 IM69D130 语音交互解决方案

各种气体传感器的性能特点

微机电系统(MEMS)和丝网印刷技术为气体传感器的小型化打开了大门,使这些微型化气体传感器能够集成进....
的头像 lhl545545 发表于 06-29 09:16 404次 阅读
各种气体传感器的性能特点

应变式传感器的相关特性和应用说明

传感器技术发展很快,生活各方面对传感器技术均有所应用。在往期文章中,小编对传感器技术有所介绍,如视觉....
的头像 Wildesbeast 发表于 06-27 17:54 678次 阅读
应变式传感器的相关特性和应用说明

石英MEMS传感器工作原理、敏感芯片结构及加工工艺

石英MEMS传感器主要应用于振动惯性器件,是通过振动原理测量运动物体的各种运动参数(包括角速度、角度....
的头像 MEMS 发表于 06-24 15:00 952次 阅读
石英MEMS传感器工作原理、敏感芯片结构及加工工艺

新型光刻技术解决硅材料脆性难题,MEMS机械性能极限有望突破

联合小组经过长达十年的研究,重点是采用光刻工艺替代聚焦离子束(FIB)工艺来完成在硅晶圆上的结构制作....
的头像 MEMS 发表于 06-24 10:19 380次 阅读
新型光刻技术解决硅材料脆性难题,MEMS机械性能极限有望突破

西人马发布8款压阻式压力芯片及6大系列压阻式压力传感器

西人马公司一直致力于先进MEMS芯片及传感器制造,拥有MEMS高端传感器和芯片制造基地,此次发布的6....
的头像 MEMS 发表于 06-24 09:58 888次 阅读
西人马发布8款压阻式压力芯片及6大系列压阻式压力传感器

应变式传感器的相关特性以及应用概述

传感器技术发展很快,生活各方面对传感器技术均有所应用。在往期文章中,小编对传感器技术有所介绍,如视觉....
的头像 Wildesbeast 发表于 06-21 09:40 669次 阅读
应变式传感器的相关特性以及应用概述

指纹传感器的发展历程详细说明

传感器技术已日趋成熟,对于传感器技术,大家可能有所了解。为增进大家对传感器技术的认识,本文将对传感器....
的头像 Wildesbeast 发表于 06-21 09:40 800次 阅读
指纹传感器的发展历程详细说明

基美电子最新的热释电无源红外传感器介绍

这些高质量的环境传感器采用混合微机电系统(MEMS)技术构建,并封装在小型表贴器件(SMD)之中,可....
的头像 Wildesbeast 发表于 06-21 09:40 813次 阅读
基美电子最新的热释电无源红外传感器介绍

赛微电子公司成功开发出650 V系列GaN功率器件产品

近日,河南省郑州市副市长万正峰、副秘书长、市商务局局长李兵、市商务局副局长吴安德等一行赴赛微电子考察....
的头像 MEMS 发表于 06-20 10:06 661次 阅读
赛微电子公司成功开发出650 V系列GaN功率器件产品

TWS耳机变得如此智能的原因?

经常关注我爱音频网的小伙伴应该都有所了解,要想让TWS耳机变得如此智能,需要耳机内置不同类型的传感器....
的头像 意法半导体AMG 发表于 06-20 08:46 834次 阅读
TWS耳机变得如此智能的原因?

基于MEMS微镜的激光束扫描解决的方案

据麦姆斯咨询报道,6月2日,LeddarTech是提供用途最广泛的可扩展汽车和出行激光雷达(LiDA....
的头像 MEMS 发表于 06-19 10:13 461次 阅读
基于MEMS微镜的激光束扫描解决的方案

MEMS激光雷达突出的缺点是什么?

多光束Flash激光雷达创新厂商Ouster分析了激光雷达光学孔径,并通过现场试验,分享了如何利用更....
的头像 MEMS 发表于 06-19 09:49 774次 阅读
MEMS激光雷达突出的缺点是什么?

三级钟MEMS振荡器的性能特点和优势

三级钟MEMS振荡器的问世,让MEMS技术顺利切入高端精密频率组件市场,对石英振荡器带来全面性的威胁....
的头像 如意 发表于 06-19 09:49 429次 阅读
三级钟MEMS振荡器的性能特点和优势

如何选好合适的全硅MEMS振荡器?

自从苹果手机使用了MEMS器件以来,市场上掀起了一股MEMS热,同时也激活了我们的全硅设计的MEMS....
的头像 如意 发表于 06-19 09:49 386次 阅读
如何选好合适的全硅MEMS振荡器?

和林科技主营精微电子零部件领域、半导体芯片测试探针领域

以2019年度的数据计算,精微屏蔽罩的收入占比最大,达到66.50%;精密结构件占比次之,为14.9....
的头像 MEMS 发表于 06-19 08:54 392次 阅读
和林科技主营精微电子零部件领域、半导体芯片测试探针领域

敏芯股份自主研发的MEMS传感器产品逐渐获得业内认可

据了解,敏芯股份的科创板IPO上会审议原定于4月30日,却因其与歌尔股份之间的专利诉讼案件,被科创板....
的头像 MEMS 发表于 06-19 08:44 526次 阅读
敏芯股份自主研发的MEMS传感器产品逐渐获得业内认可

BFC1500型空气采样器的数据手册免费下载

 BFC1500 型空气采样器是一款基于 ARM 内核的高稳定性个体空气采样系统。产品采用国际顶尖动....
发表于 06-18 08:00 49次 阅读
BFC1500型空气采样器的数据手册免费下载

NTS对4Sight M传感器进行50G以上的机械冲击测试

4Sight已经是AEye推出的第5代传感器,基于AEye强大的iDAR平台。AEye独特的专利系统....
的头像 lhl545545 发表于 06-17 14:32 642次 阅读
NTS对4Sight M传感器进行50G以上的机械冲击测试

XTD50是针对激光雷达的高精度高线性度的单通道时间数字转换器芯片

自被引入自动驾驶系统,成为无人车安全行驶必备的三维视觉传感器至今,基于直接飞行时间(dToF)技术的....
的头像 lhl545545 发表于 06-17 11:47 427次 阅读
XTD50是针对激光雷达的高精度高线性度的单通道时间数字转换器芯片

显微镜下的MEMS结构

卡西欧早年就以电机马达、继电器等机电产品闻名。如今的卡西欧本身就是MEMS的制造商之一,用MEMS的....
的头像 lhl545545 发表于 06-16 15:29 431次 阅读
显微镜下的MEMS结构

倾角传感器的种类和输出形式以及量程范围

如何选择倾角传感器 倾角传感器经常用于系统的水平测量,倾角传感器还可以用来测量相对于水平面的倾角变化....
发表于 06-15 10:52 69次 阅读
倾角传感器的种类和输出形式以及量程范围

传感器具有可拆卸的电缆

广州测恒电子科技有限公司(GRANDTEST)是一家专业生产及代理:测力传感器、扭矩|扭力传感器、加....
的头像 lhl545545 发表于 06-11 10:18 332次 阅读
传感器具有可拆卸的电缆

HAMR-JR微型机器人世上速度最快的机器人

这个被称为HAMR-JR的微型机器人是以蟑螂为灵感开发的,它可以奔跑、跳跃、携带重物和快速转弯。只有....
的头像 牵手一起梦 发表于 06-10 14:22 425次 阅读
HAMR-JR微型机器人世上速度最快的机器人

村田推出全新MEMS惯性传感器SCHA600系列,提高自动驾驶汽车性能

村田认为,汽车技术发展到完全自动驾驶,即驾驶员辅助驾驶,部分自动化,有条件自动化和高自动化的四个阶段....
的头像 牵手一起梦 发表于 06-09 16:51 867次 阅读
村田推出全新MEMS惯性传感器SCHA600系列,提高自动驾驶汽车性能

简单的mems陀螺仪姿态算法介绍

将陀螺仪绕X轴旋转时,只有wx有读数;将陀螺仪绕Y轴旋转时,只有wy有读数;将陀螺仪绕Z轴旋转时,只....
发表于 06-05 10:08 374次 阅读
简单的mems陀螺仪姿态算法介绍

Siargo矽翔MF5000系列气体质量流量计的性能特点及应用范围

关于在新能源氢燃料电池中的流量控制解决方案推荐Siargo矽翔流量计 - MF5000。
的头像 牵手一起梦 发表于 06-04 15:47 691次 阅读
Siargo矽翔MF5000系列气体质量流量计的性能特点及应用范围

村田推出6轴3D MEMS惯性力传感器

近年来汽车行业因高级驾驶辅助系统(ADAS)的高精度化,需要在只靠全球卫星导航系统(GNSS)无法定....
的头像 村田中文技术社区 发表于 06-04 10:43 727次 阅读
村田推出6轴3D MEMS惯性力传感器

敏芯微科创板首发过会,与歌尔股份的专利侵权诉讼还未结束

6月2日消息,上海证券交易所科创板股票上市委员会2020年第34次审议会议于2020年6月2日下午召....
的头像 Carol Li 发表于 06-03 10:02 2373次 阅读
敏芯微科创板首发过会,与歌尔股份的专利侵权诉讼还未结束

MEMS为何独领风骚?

要使无人机超越玩具的范畴,高品质MEMS传感器和先进软件至关重要。无人机的惯性测量单元(IMU)、气....
的头像 MEMS技术 发表于 06-02 11:42 981次 阅读
MEMS为何独领风骚?

ACEINNA推出新型IMU383ZA传感器,可实现低成本的电路板间通信

据新型报道,当地时间4月28日,新纳(ACEINNA)宣布推出新型ACEINNA IMU383ZA惯....
的头像 牵手一起梦 发表于 06-02 11:11 851次 阅读
ACEINNA推出新型IMU383ZA传感器,可实现低成本的电路板间通信

瑞声科技(AAC)发布2020年第一季度业绩报告

报告称,在卫生事件影响下,瑞声科技第一季度MEMS业务销售额实现逆势增长,在智能手机市场的份额逐步提....
的头像 MEMS 发表于 06-02 09:13 1626次 阅读
瑞声科技(AAC)发布2020年第一季度业绩报告

嵌套环MEMS陀螺的发展现状

波音公司提出的嵌套环MEMS陀螺如图2(a)所示,其直径约8mm,环与环之间的间隙较大,可以用来设置....
的头像 MEMS技术 发表于 06-01 17:29 772次 阅读
嵌套环MEMS陀螺的发展现状

5G等新基建领域成为央企在汉投资重点

5G等新基建领域成为央企在汉投资重点。中国信科集团5G产业化项目、烽火信息技术建设项目、智能微机电系....
的头像 MEMS 发表于 06-01 17:00 523次 阅读
5G等新基建领域成为央企在汉投资重点

MEMS收入及利润贡献占比超70%,耐威科技更名为赛微电子

根据公司2020年第一次临时股东大会的授权,公司董事会于近日办理了与该次变更有关的工商变更登记手续,....
的头像 MEMS 发表于 06-01 16:54 703次 阅读
MEMS收入及利润贡献占比超70%,耐威科技更名为赛微电子

苏州硅时代缔造行业神话,为热电堆芯片研发生产提供成熟的技术支持

苏州硅时代电子科技有限公司(以下简称“苏州硅时代”)作为提供专业MEMS代工解决方案的高技术公司,具....
的头像 MEMS 发表于 06-01 15:59 734次 阅读
苏州硅时代缔造行业神话,为热电堆芯片研发生产提供成熟的技术支持

Silex成功助力通用微推出新一代MEMS麦克风芯片

通用微是国内全自主研发70dB差分式、高信噪比、高AOP的MEMS麦克风芯片并流片成功的高科技企业。....
的头像 MEMS 发表于 06-01 15:55 632次 阅读
Silex成功助力通用微推出新一代MEMS麦克风芯片

ADI与北云科技面向自动驾驶行业推出A1组合导航板卡

5月28日消息,全球领先的高性能模拟技术公司ADI与国内高精度定位核心部件制造商北云科技(bynav....
的头像 牵手一起梦 发表于 06-01 15:29 938次 阅读
ADI与北云科技面向自动驾驶行业推出A1组合导航板卡

MEMS固态激光雷达在车路协同中应用拉开帷幕

2020年是5G商用规模化建设的关键年。5月17日,中国广电(河北广电网络集团)和中国交建、大唐移动....
的头像 MEMS 发表于 06-01 15:11 549次 阅读
MEMS固态激光雷达在车路协同中应用拉开帷幕

自主MEMS传感器芯片核心技术与产业化

第一,做好产业发展的顶层设计。MEMS传感器产业发展非常需要国家的宏观规划和指导,建议加强顶层设计,....
的头像 MEMS 发表于 06-01 10:40 559次 阅读
自主MEMS传感器芯片核心技术与产业化

MEMS晶圆是怎么切割的?

激光隐形切割作为激光切割晶圆的一种方案,很好的避免了砂轮划片存在的问题。如图1所示,激光隐形切割是通....
的头像 MEMS技术 发表于 06-01 09:38 863次 阅读
MEMS晶圆是怎么切割的?

北云科技面向自动驾驶行业推出了一款小尺寸高精度组合导航板卡——A1

据GSA(欧洲全球导航卫星系统局) 2019年10月发布的《GNSS 市场报告》报道,全球车载导航市....
的头像 MEMS 发表于 06-01 09:26 561次 阅读
北云科技面向自动驾驶行业推出了一款小尺寸高精度组合导航板卡——A1

将淄博打造成为以MEMS传感器为特色的电子信息产业高地

目前,MEMS产业园已经累计开发MEMS芯片单项工艺180项,产品工艺30多项,自主研发项目25个,....
的头像 MEMS 发表于 06-01 09:00 679次 阅读
将淄博打造成为以MEMS传感器为特色的电子信息产业高地

MEMS技术投入新冠肺炎的战疫中

美国食品药物管理局(US Food and Drug Administration; FDA)紧急授....
发表于 05-29 17:07 526次 阅读
MEMS技术投入新冠肺炎的战疫中

余压监控系统中的余压传感器有什么特点

余压监控系统消防联动型标准规范设备是当防烟楼梯间或前室余压值达到超压监控值时,余压传感器发出报警信号....
发表于 05-25 15:27 132次 阅读
余压监控系统中的余压传感器有什么特点

MEMS麦克风传感器参考设计的录音机

具有MEMS麦克风传感器参考设计的录音机。该参考设计演示了基于SAMG53微控制器和两个数字MEMS麦克风传感器的录音...
发表于 05-20 14:45 207次 阅读
MEMS麦克风传感器参考设计的录音机

MEMS惯性传感器的测试及应用领域

MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)是指集机械元素、微型传感器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一...
发表于 05-18 06:28 181次 阅读
MEMS惯性传感器的测试及应用领域

必创科技自主研发MEMS,创新传感器未来

MEMS即微机电系统(Microelectro Mechanical Systems),是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四...
发表于 05-14 08:03 158次 阅读
必创科技自主研发MEMS,创新传感器未来

关于MEMS的技术简介

MEMS全称Micro Electromechanical System(微机电系统),是一种通常在硅晶圆上以IC工艺制备的微机电系统,微机械结构的...
发表于 05-12 17:27 241次 阅读
关于MEMS的技术简介

高通MEMS封装技术解析

随着传感器、物联网应用的大规模落地,微机电系统(MEMS)在近些年应用越来越广泛,MEMS的存在可以减小电子器件的大小。...
发表于 05-12 10:23 232次 阅读
高通MEMS封装技术解析

AD592 电流输出、精密IC温度传感器

和特点 高预校准精度:0.5°C(最大值,+25°C) 出色的线性度:0.15°C(最大值,0°C至+70°C) 宽工作温度范围:-25°C至+105°C 单电源供电:+4 V至+30 V 出色的可重复性和稳定性 高电平输出: 1 µA/K 双端单芯片IC:温度输入/电流输出 自热误差极小产品详情 AD592是一款双端单芯片集成电路温度传感器,其输出电流与绝对温度成比例。在宽电源电压范围内,该器件可充当一个高阻抗、1 µA/K温度相关电流源。改进的设计和对IC薄膜电阻的激光晶圆调整,使得AD592能够实现前所未有的绝对精度水平和非线性误差性能,而价格则与以前的产品相当。AD592可用于-25°C至+105°C应用,目前一般使用常规温度传感器(热敏电阻、RTD、热电偶和二极管等)。它采用塑封封装,具有单芯片集成电路固有的低成本优势,而且应用所需的总器件数非常少,因此AD592是目前性价比最高的温度传感器。使用AD592时,无需昂贵的线性化电路、精密基准电压源、电桥器件、电阻测量电路和冷结补偿。典型应用领域包括:电器温度检测、汽车温度测量和控制、HVAC(暖通空调)系统监控、工业温度控制、热电偶冷结补偿、电路板级电子温度诊断、仪器仪表温度读出选项,以...
发表于 02-22 15:55 91次 阅读
AD592 电流输出、精密IC温度传感器

TMP36 电压输出温度传感器

和特点 低工作电压:+2.7 V至+5.5 V 直接以摄氏度校准(°C) 比例系数:10 mV/8°C(TMP37为20 mV/8°C) 精度:±2°C(整个温度范围内,典型值) 线性度:±0.5°C(典型值) 能稳定驱动较大容性负载 额定温度范围:-40 °C至+125 °C,工作温度最高可达+150 °C 静态电流:小于50 µA 关断电流:最大0.5 µA 产品详情 TMP35/TMP36/TMP37是低电压、精密摄氏温度传感器,提供与摄氏温度成线性比例关系的电压输出。TMP35/TMP36/TMP37不需要执行任何外部校准,在+25°C时典型精度为±1°C,在−40°C至+125°C温度范围内典型精度为±2°C。TMP35/TMP36/TMP37的低输出阻抗及其线性输出和精密校准可简化与温度控制电路和ADC的接口。所有三个器件均可采用2.7 V至5.5 V的单电源供电。电源电流低于50 μA,自热效应非常小,在静止空气中小于0.1°C。此外还可以利用关断功能将电源电流降至0.5 μA以下。TMP35与LM35/LM45功能兼容,25°C时提供250 mV输出,TMP35温度测量范围为10°C至125°C。TMP36的额定温度范围为−40°C至+125°C,25°C时提供750 mV输出,采用2.7 V单电源时工作温度可...
发表于 02-22 15:55 75次 阅读
TMP36 电压输出温度传感器

TMP37 低电压温度传感器(Vo=500)

和特点 低工作电压:+2.7 V至+5.5 V 直接以摄氏度校准(°C) 比例系数:10 mV/°C(TMP37为20 mV/°C) 精度:±2 °C(整个温度范围内,典型值) 线性度:±0.5 °C(典型值) 能稳定驱动较大容性负载 额定温度范围:-40 °C至+125 °C,工作温度最高可达+150 °C 静态电流:小于50 µA 关断电流:0.5 µA(最大值) 产品详情 TMP35/TMP36/TMP37是低电压、精密摄氏温度传感器,提供与摄氏温度成线性比例关系的电压输出。TMP35/TMP36/TMP37不需要执行任何外部校准,在+25°C时典型精度为±1°C;在−40°C至+125°C温度范围内典型精度为±2°C。TMP35/TMP36/TMP37的低输出阻抗及其线性输出和精密校准可简化与温度控制电路和ADC的接口。所有三个器件均可采用2.7 V至5.5 V的单电源供电。电源电流低于50 μA,自热效应非常小,在静止空气中小于0.1°C。此外还可以利用关断功能将电源电流降至0.5 μA以下。TMP35与LM35/LM45功能兼容,25°C时提供250 mV输出,温度测量范围为10°C至125°C。TMP36的额定温度范围为−40°C至+125°C,25°C时提供750 mV输出,采用2.7 V单电源时工作温度可达...
发表于 02-22 15:55 42次 阅读
TMP37 低电压温度传感器(Vo=500)

TMP35 电压输出温度传感器

和特点 低工作电压:+2.7 V至+5.5 V 直接以摄氏度校准(°C) 比例系数:10 mV/8°C(TMP37为20 mV/8°C) 精度:±2°C(整个温度范围内,典型值) 线性度:±0.5°C(典型值) 能稳定驱动较大容性负载 额定温度范围:-40 °C至+125 °C,工作温度最高可达+150 °C 静态电流:小于50 µA 关断电流:0.5 µA(最大值) 产品详情 TMP35/TMP36/TMP37是低电压、精密摄氏温度传感器,提供与摄氏温度成线性比例关系的电压输出。TMP35/TMP36/TMP37不需要执行任何外部校准,在+25°C时典型精度为±1°C,在−40°C至+125°C温度范围内典型精度为±2°C。TMP35/TMP36/TMP37的低输出阻抗及其线性输出和精密校准可简化与温度控制电路和ADC的接口。所有三个器件均可采用2.7 V至5.5 V的单电源供电。电源电流低于50 μA,自热效应非常小,在静止空气中小于0.1°C。此外还可以利用关断功能将电源电流降至0.5 μA以下。TMP35与LM35/LM45功能兼容,25°C时提供250 mV输出,TMP35温度测量范围为10°C至125°C。TMP36的额定温度范围为−40°C至+125°C,25°C时提供750 mV输出,采用2.7 V单电源时工作...
发表于 02-22 15:55 24次 阅读
TMP35 电压输出温度传感器

TMP17 低成本电流输出温度传感器

和特点 工作温度范围:–40°C至+105°C 单电源供电:4 V至30 V 出色的可重复性和稳定性 高电平输出:1 µA/K 单芯片IC:温度输入/电流输出 自热误差极小 产品详情 TMP17是一款单芯片集成电路温度传感器,其输出电流与绝对温度成比例。在宽电源电压范围内,该器件可充当一个高阻抗、1 µA/K温度相关电流源。改进的设计和对IC薄膜电阻的激光晶圆调整,使得TMP17能够实现前所未有的绝对精度水平和非线性度误差性能,而价格则与以前的产品相当。 TMP17可用于-40℃至+105°C应用,这些应用目前一般使用常规温度传感器(热敏电阻、RTD、热电偶和二极管等)。使用TMP17时,无需昂贵的线性化电路、精密基准电压源、电桥器件、电阻测量电路和冷结补偿。TMP17采用低成本的SO-8表贴封装。 方框图...
发表于 02-22 15:55 50次 阅读
TMP17 低成本电流输出温度传感器

AD22100 电压输出型温度传感器,内置信号调理功能

和特点 200°C温度测量范围 精度优于满量程的±2% 线性度优于满量程的±1% 温度系数:22.5 mV/°C 输出与温度 x V+成比例 单电源供电 反向电压保护 自热效应极小 高电平、低阻抗输出产品详情 AD221001是一款片内集成信号调理功能的单芯片温度传感器,工作温度范围为-50°C至+150°C,非常适合众多HVAC、仪器仪表和汽车应用。由于内置信号调理功能,因此无需任何调整、缓冲或线性化电路,系统设计得以大大简化,整体系统成本也会降低。输出电压与温度和电源电压的乘积成比例(比率关系)。采用+5.0 V单电源时,输出摆幅从0.25 V(-50°C)至+4.75 V(+150°C)。由于具有比率特性,AD22100在与模数转换器接口时可提供高性价比解决方案。ADC的+5 V电源用作ADC和AD22100的基准电压源(参见数据手册中的图2),因而无需使用精密基准电压源,成本得以降低。 方框图...
发表于 02-22 15:55 82次 阅读
AD22100 电压输出型温度传感器,内置信号调理功能

TMP01 低功耗可编程温度控制器(温度传感器)

和特点 工作温度范围:–55°C至+125°C(–67°F至+257°F)精度:±1.0°C°C(整个温度范围内,典型值)温度比例电压输出用户编程温度跳变点用户编程迟滞20 mA开路集电极跳变点输出TTL/CMOS兼容型单电源供电:4.5 V至13.2 VPDIP、SOIC和TO-99封装 产品详情 TMP01是一款温度传感器,产生与绝对温度成比例的电压输出,并在器件高于或低于特定温度范围时,从两路输出之一产生控制信号。高/低温度跳变点和迟滞(过冲)频带均由用户选择的外部电阻确定。对于大批量生产,这些电阻均以片上方式提供。TMP01由一个带隙基准电压源和一对匹配比较器构成。基准电压源同时提供稳定的2.5 V输出和与绝对温度(VPTAT)成比例的电压,其温度系数非常精确,为5 mV/K;25°C时,基准电压为1.49 V(标称值)。比较器基于外部设定的温度跳变点比较VPTAT,当超过其中一个阈值时则产生一个开路集电极输出信号。迟滞也可通过外部电阻链编程,取决于来自2.5 V基准电压源的总电流。该电流生成镜像,并在触发一个比较器后,产生一个极性正确的迟滞失调电压。两个比较器相互并联,以确保消除迟滞重叠,并消除相邻跳变区之间不稳定的跃迁。TMP01采...
发表于 02-22 15:54 71次 阅读
TMP01 低功耗可编程温度控制器(温度传感器)

AD590 双端IC温度传感器

和特点 线性输出电流:1 µA/K 宽温度范围:-55°C至+150°C 与探头兼容的陶瓷传感器封装 双端器件:电压输入/电流输出 激光调整至±0.5°C校准精度(AD590M) 出色的线性度:满量程范围±0.3°C (AD590M) 宽电源电压范围:4 V至30 V 传感器与外壳绝缘 低成本 产品详情 AD590是一款双端集成电路温度传感器,其输出电流与绝对温度成比例。在4 V至30 V电源电压范围内,该器件可充当一个高阻抗、恒流调节器,调节系数为1 µA/K。片内薄膜电阻经过激光调整,可用于校准器件,使该器件在298.2K (25°C)时输出298.2 µA电流。 AD590适用于150°C以下、目前采用传统电气温度传感器的任何温度检测应用。低成本的单芯片集成电路及无需支持电路的特点,使它成为许多温度测量应用的一种很有吸引力的备选方案。应用AD590时,无需线性化电路、精密电压放大器、电阻测量电路和冷结补偿。除温度测量外,还可用于分立器件的温度补偿或校正、与绝对温度成比例的偏置、流速测量、液位检测以及风速测定等。AD590可以裸片形式提供,适合受保护环境下的混合电路和快速温度测量。 AD590特别适合远程检测应用。它提供高阻抗电流输出,对长线路上的压降不敏...
发表于 02-22 15:54 125次 阅读
AD590 双端IC温度传感器

LTC2995 具警报输出的温度传感器和双通道电压监视器

和特点 可测量温度和两个电压 电压输出与温度成比例 用于温度和电压的可调门限 ±1°C 远端温度准确度 ±2°C 内部温度准确度 ±1.5% 电压门限准确度 3.5ms 更新时间 2.25V 至 5.5V 电源电压 输入干扰抑制 可调复位超时 220μA 静态电流 漏极开路警报输出 采用 3mm x 3mm QFN 封装 产品详情 LTC®2995 是一款高准确度温度传感器和双通道电源监视器。该器件可将一个外部二极管传感器的温度和 / 或其自身芯片的温度转换为一个模拟输出电压,并抑制由于噪声和串联电阻引起的误差。将两个电源电压和测量温度与采用阻性分压器设定的上限和下限进行比较。如果某个门限被超过,则器件将通过把对应的漏极开路逻辑输出拉至低电平以传送一个警报信号。LTC2995 可采用普遍使用的 NPN 或 PNP 晶体管或者新式数字器件内置的温度二极管提供 ±1°C 的准确温度结果。电压的监视准确度为 1.5%。一个 1.8V 基准输出简化了门限设置,并可用作一个 ADC 基准输入。LTC2995 采用紧凑型 3mm x 3mm QFN 封装,为温度和电压监视提供了一款准确和低功率的解决方案。 应用 网络服务器 内核、I/O 电压监视器 台式电脑和笔记本电脑 环境监测 方框图...
发表于 02-22 15:54 61次 阅读
LTC2995 具警报输出的温度传感器和双通道电压监视器

AD22103 电压输出型3.3 V温度传感器,内置信号调理功能

和特点 3.3 V单电源供电 温度系数:28 mV/°C 100°C温度测量范围(0°C至+100°C) 精度优于满量程的2.5% 线性度优于满量程的0.5% 输出与温度 x VS成比例 自热效应极小 高电平、低阻抗输出 反向电源电压保护 产品详情 AD22103是一款片内集成信号调理功能的单芯片温度传感器,工作温度范围为0°C至+100°C,非常适合众多3.3 V应用。由于内置信号调理功能,因此无需任何调整、缓冲或线性化电路,系统设计得以大大简化,整体系统成本也会降低。输出电压与温度和电源电压的乘积成比例(比率关系)。采用+3.3 V单电源时,输出摆幅从0.25 V(0°C)至+3.05 V(+100°C)。由于具有比率特性,AD22103在与模数转换器接口时可提供高性价比解决方案。ADC的电源用作ADC和AD22103的基准电压源,因而无需使用精密基准电压源,成本得以降低。应用 微处理器散热管理 电池和低供电系统 电源温度监控 系统温度补偿 板级温度检测 方框图...
发表于 02-22 15:54 50次 阅读
AD22103 电压输出型3.3 V温度传感器,内置信号调理功能

LTC2997 远程 / 内部温度传感器

和特点 可将远程传感器或内部二极管温度转换为模拟电压±1°C 远程温度准确度±1.5°C 内部温度准确度内置串联电阻抵消2.5V 至 5.5V 电源电压 1.8V 基准电压输出 3.5ms VPTAT 更新时间4mV/Kelvin 输出增益 170μA 静态电流采用 6 引脚 2mm x 3mm DFN 封装 产品详情 LTC®2997 是一款高准确度模拟输出温度传感器。该器件可将一个外部传感器的温度或其自身的温度转换为一个模拟电压输出。一种内置算法能够消除 LTC2997 与传感器二极管之间的串联电阻所引起的误差。LTC2997 可利用低成本二极管连接的 NPN 或 PNP 晶体管、或者利用微处理器或 FPGA 上的集成型温度晶体管来提供准确的测量结果。将引脚 D+ 连接至 VCC 便可把 LTC2997 配置为一个内部温度传感器。LTC2997 提供了一个附加的 1.8V 基准电压输出,该输出既可用作一个 ADC 基准输入,也可用于产生与 VPTAT 输出进行比较的温度门限电压。LTC2997 提供了一款适合于准确温度测量的精准和通用型微功率解决方案。Applications温度测量远程温度测量环境监视系统热控制台式电脑和笔记本电脑网络服务器 方框图...
发表于 02-22 12:13 120次 阅读
LTC2997 远程 / 内部温度传感器

ADXRS645 高温、抗振动、±2000°/s陀螺仪

和特点 高性能、±2000°/s角速率传感器 长寿命: 保证1000小时(TA = 175°C) 创新型陶瓷垂直贴装封装,适合于俯仰或滚动速率响应 宽工作温度范围: -40°C至175°C 可在宽频率范围内提供高振动抑制特性 抗冲击能力:10,000 g 输出与基准电源成比率 5 V单电源供电 根据数字命令执行自测 温度传感器输出产品详情 ADXRS645是一款高性能角速率传感器,具有出色的抗振动能力,可用于高温环境中。 ADXRS645采用ADI公司取得专利的大规模BiMOS表面微加工工艺制造,多年实际应用证明性能稳定可靠。 先进的差分四传感器设计提供出色的加速和振动抑制。 输出信号RATEOUT是电压值,与围绕封装顶部垂直轴转动的角速率成比例。 最小测量范围为±2000°/,加入单个外部电阻之后可扩展至±5000°/s。 输出与所提供的基准电源成比率。 芯片工作还需要其它几个外部电容。 该器件提供温度输出,用于补偿技术。 两路数字自测输入通过机电方式激励传感器,以测试传感器和信号调理电路是否正常工作。 ADXRS645 提供 8 mm × 9 mm × 3 mm、15引脚钎焊引脚三列直插式封装。应用 地质勘探中的井下测量 极高温度工业应用 恶劣的机械环境方框图...
发表于 02-22 12:12 97次 阅读
ADXRS645 高温、抗振动、±2000°/s陀螺仪

ADGM1004 带集成驱动器的0 Hz至13 GHz、2.5kV HBM ESD SP4T MEMS开关

和特点 完全工作频率低至0 Hz/dc 导通电阻:1.8 Ω(典型值) 关断泄漏:0.5 nA(最大值) −3 dB带宽 RF2、RF3为13 GHz(典型值) RF1、RF4为10.8 GHz(典型值) RF性能特性 插入损耗:0.45 dB(典型值,2.5 GHz) 隔离:24 dB(典型值,2.5 GHz) IIP3:67 dBm(典型值) 射频(RF)功率:32 dBm(最大值) 驱动寿命:10亿周期(最小值) 密封开关触点 开关导通时间:30 μs(典型值) 静电放电(ESD)人体模型(HBM)额定值 5 kV(对于RF1至RF4和RFC引脚) 2.5 kV(对于所有其他引脚) 集成驱动器,无需外部驱动器 电源电压:3.1 V至3.3 V CMOS/LVTTL兼容 并行接口和独立控制开关 没有电源时,开关处于开路状态有关避免所有RF引脚上出现浮空节点的要求,请参见“应用信息”部分 5 mm × 4 mm × 1.45 mm、24引脚LFCSP 产品详情 ADGM1004是一款宽带、单刀四掷(SP4T)开关,采用ADI公司的微型机电系统(MEMS)开关技术制造而成。该技术支持小型、宽带宽、高线性、低插入损耗开关,能够在低至直流的频率范围内工作,是各种RF应用的理想解决方案。集成控制芯片可生成通过CMO...
发表于 02-22 12:10 200次 阅读
ADGM1004 带集成驱动器的0 Hz至13 GHz、2.5kV HBM ESD SP4T MEMS开关

ADIS16228 数字三轴振动传感器,集成FFT分析和存储系统

和特点 频域三轴振动传感器 平坦的频率响应:最高至5 kHz 数字加速度数据,± 18 g测量范围数字范围设置:0 g至1 g/5 g/10 g/20 g 实时采样模式:20.48 kSPS(单轴) 捕获采样模式:20.48 kSPS(三轴)触发器模式:SPI、计时器、外部可编程抽取滤波器,11种速率设置选定的滤波器设置支持多记录捕获手动捕获模式支持时域数据采集 针对所有三轴(x, y, z)的512点实数值FFT 3种窗口选项:矩形、Hanning、平顶 可编程FFT均值功能:最多255个均值 存储系统:所有三轴(x, y, z)上14个FFT记录产品详情 ADIS16228 iSensor® 是一款完整的振动检测系统,集三轴加速度检测与先进的时域和频域信号处理于一体。时域信号处理包括可编程抽取滤波器和可选的窗函数。频域处理包括针对各轴的512点、实数值FFT和FFT均值功能,后一功能可降低噪底变化,从而提高分辨率。通过14记录FFT存储系统,用户可以追踪随时间发生的变化,并利用多个抽取滤波器设置捕获FFT。20.48 kSPS采样速率和5 kHz平坦频段提供的频率响应适合许多机械健康状况检测应用。铝芯可实现与MEMS加速度传感器的出色机械耦合。在所有操作中,内部时钟驱动数据采样和信号处理系统...
发表于 02-22 12:07 151次 阅读
ADIS16228 数字三轴振动传感器,集成FFT分析和存储系统

ADXRS910 侧翻检测层内陀螺仪

和特点 高性能、层内滚动速率陀螺仪 温度补偿,高精度偏移和灵敏度性能 陀螺仪噪声:2°/s rms(最大值) 16位数据字串行端口接口(SPI)数字输出 静态功耗:<20 mA 3.3 V和5 V电源供电 温度范围:-40°C至+105°C 针对层内滚动速率检测的16引脚SOIC_CAV表贴封装 通过汽车应用认证 产品详情 ADXRS910是一款针对汽车侧翻检测应用的高性能层内陀螺仪。ADXRS910还具有内部温度传感器,用于补偿偏移和灵敏度性能,在−40°C至+105°C温度范围内提供出色的稳定性。该陀螺仪提供±300°/s满量程性能,灵敏度为80 LSB/°/s。其谐振磁盘传感器结构可实现围绕层内轴的角速率测量。-3 dB滤波器转折频率可选择为24.6 Hz、49 Hz、102 Hz或201 Hz。该器件的传感器数据输出为包含在32位SPI处理中的16位、二进制补码字。SPI通信兼容频率高达10 MHz。ADXRS910采用16引脚倒腔SOIC封装。ADXRS910的额定工作电压为3.3 V至5 V此,功耗小于20 mA。其规格对−40°C至+105°C的温度范围有效。应用 侧翻检测 方框图...
发表于 02-22 12:07 83次 阅读
ADXRS910 侧翻检测层内陀螺仪

LTC2996 具警报输出的温度传感器

和特点 可将远端或内部二极管温度转换为模拟电压可调的过温和欠温门限电压输出与温度成比例±1℃ 远端温度准确度±2℃ 内部温度准确度内置串联电阻抵消漏极开路警报输出2.25V 至 5.5V 电源电压1.8V 基准电压输出200μA 静态电流10 引脚 3mm x 3mm DFN 封装 产品详情 LTC®2996 是一款高准确度温度传感器,具有可调过温和欠温门限以及漏极开路警报输出。该器件可将一个外部二极管传感器的温度或其自身芯片的温度转换为一个模拟输出电压,并抑制由于噪声和串联电阻引起的误差。将测量的温度与采用阻性分压器设定的上限和下限进行比较。如果超过门限,则器件将通过把对应的漏极开路逻辑输出拉至低电平以传送一个警报信号。LTC2996 可采用普遍使用的 NPN 或 PNP 晶体管或者新式数字器件内置的温度二极管提供 ±1℃ 的准确温度结果。一个 1.8V 基准输出简化了门限设置,并可用作一个 ADC 基准输入。LTC2996 采用紧凑型 3mm x 3mm DFN 封装,为温度监视提供了一款准确和低功率的解决方案。应用 温度监视和测量 系统热控制 网络服务器 台式电脑和笔记本电脑 环境监测 方框图...
发表于 02-15 18:38 182次 阅读
LTC2996 具警报输出的温度传感器

ADIS16203 可编程360° 倾斜计

和特点 0°至360°倾角计±180°输出格式选项 14位数字倾斜度输出线性输出,0.025°分辨率 12位数字温度传感器输出 数字控制偏置校准 数字控制采样速率 数字控制滤波 数字控制方向/方位 包括速率/阈值限制的双报警设置 辅助数字I/O端口 数字激活的自测功能 数字激活的低功耗模式 SPI®兼容型串行接口 辅助12位ADC输入和DAC输出 单电源供电:3.0V至3.6V 抗冲击能力:3500 g 产品详情 ADIS16203是一款完整的倾斜角测量系统,采用ADI公司的 iSensor™集成技术制造,全部功能均集成于一个紧凑的封装中。该器件采用嵌入式信号处理解决方案来增强ADI公司的 iMEMS®传感器技术,可提供适当格式的工厂校准、传感器数字倾斜角数据,从而利用串行外设接口(SPI)即可方便地访问数据。通过SPI接口可以访问多个测量结果:360°线性倾斜角、±180°线性倾斜角、温度、电源和一个辅助模拟输入。由于可以轻松访问校准的数字传感器数据,因此开发者能够获得可立即供系统使用的器件,使开发时间、成本和编程风险得以减少。通过数个内置特性,如单命令失调校准等,以及方便的采样速率控制和带宽控制,该器件很容易适应终端系统的独特特征。ADIS16...
发表于 02-15 18:37 70次 阅读
ADIS16203 可编程360° 倾斜计

ADT6501 采用SOT-23封装的低成本、2.7 V至5.5 V、微功率温度开关(监控温度范围为+35°C至+115°C)

和特点 ±0.5°C(典型)阈值精度 工厂设置跳变点范围为−45°C至+15°C,增量10°C+35°C至+115°C,增量10°C 无需外部元件 最高工作温度:125°C 开漏输出(ADT6501/ADT6503) 推挽输出(ADT6502/ADT6504) 引脚可选迟滞为2°C和10°C 电源电流:30 μA(典型值) 节省空间的5引脚SOT-23封装产品详情 ADT6501/ADT6502/ADT6503/ADT6504为跳变点温度开关,提供5引脚SOT-23封装。它们都含有一个内置带隙温度传感器,用于局部温度检测。当温度超过跳变点设置时,逻辑输出被激活。ADT6501/ ADT6503逻辑输出为低电平有效和开漏输出。ADT6502/ADT6504逻辑输出为高电平有效和推挽输出。经数字化转换后,温度的分辨率为0.125°C(11位)。工厂跳变点设置间距为10°C,冷阈值型号的设置范围为−45°C至+15°C,热阈值型号为+35°C至+115°C。这些器件不需要外部元件,典型消耗30 μA电源电流。引脚可选温度迟滞为2°C和10°C。温度开关的额定工作电压范围为2.7 V至5.5 V。 ADT6501和ADT6502仅限监控+35°C至+115°C范围内的温度。因此,当温度超过所选跳变点温度时,逻辑输出引脚变成有效状态。ADT650...
发表于 02-15 18:37 178次 阅读
ADT6501 采用SOT-23封装的低成本、2.7 V至5.5 V、微功率温度开关(监控温度范围为+35°C至+115°C)

AD22151G 线性输出磁场传感器

和特点 可调失调,支持单极性或双极性工作 在整个温度范围内具有低失调漂移 宽增益可调范围 在整个温度范围内具有低增益漂移 可调一阶温度补偿 与 Vcc成比例 产品详情 AD22151G是一款线性磁场传感器,其输出电压与垂直施加于封装上表面的磁场成比例。 方框图
发表于 02-15 18:37 111次 阅读
AD22151G 线性输出磁场传感器

AD22105 低压、电阻可编程恒温开关

和特点 用户可编程的温度设定点 设定点精度:2.0°C 预设迟滞:4.0°C 宽电源电压范围:+2.7 VDC至+7.0 VDC 宽温度范围:-40°C至+150°C 产品详情 AD22105是一款固态恒温开关。只需一个外部编程电阻,AD22105就能用来在宽工作温度范围(-40°C至+150°C)内的任意温度精确执行开关功能。它采用新颖的电路架构,当环境温度超过用户设置的设定点温度时,AD22105置位开集输出。该器件具有约4°C的迟滞,可防止开关迅速反复地动作。 AD22105设计采用+2.7 V至+7.0 V的单电源供电,适合在电池供电应用和工业控制系统中工作。由于功耗很低(3.3 V电源电压下仅230 µW),自热误差极小,电池寿命得以最大程度地延长。该器件内置一个可选的200 kΩ上拉电阻,便于驱动CMOS输入等轻负载。 它也可以直接驱动一个低功耗LED指示器。 方框图...
发表于 02-15 18:37 201次 阅读
AD22105 低压、电阻可编程恒温开关