声波器件表面的波速和频率会随外界环境的变化而发生漂移。气敏传感器就是利用这种性能在压电晶体表面涂覆一层选择性吸附某气体的气敏薄膜,当该气敏薄膜与待测气体相互作用(化学作用或生物作用。
或者是物理吸附),使得气敏薄膜的膜层质量和导电率发生变化时,引起压电晶体的声表面波频率发生漂移;气体浓度不同,膜层质量和导电率变化程度亦不同,即引起声表面波频率的变化也不同。通过测量声表面波频率的变化就可以获得准确的反应气体浓度的变化值。
生活中常见的气敏传感器如:
1、测饮酒者呼气中酒精量的传感器;
2、测量汽车空燃比的氧气传感器;
3、家庭和工厂用的煤气泄漏传感器;
4、用作预防建筑材料着火产生有毒气体的传感器;
5、下水道坑内的沼气警报器。
半导体气敏传感器的应用
由于半导体气敏传感器具有灵敏度高、响应时间和恢复时间快、使用寿命长及成本低等优点,所以得到了广泛应用。按照用途、可分为检测仪、报警仪、自动控制仪器和测试仪器等几种类型
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发表于 06-26 14:14
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