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什么是II-VI超透镜?II-VI超透镜有何作用?

MEMS 来源:MEMS 作者:麦姆斯咨询殷飞 2021-06-29 09:38 次阅读

据麦姆斯咨询报道,II-VI公司的晶圆级衍射光学业务部门基于自有平台推出了一款高效多功能的超透镜。II-VI推出的这款超透镜能够使消费电子汽车电子、生命科学和工业应用的光学传感器(集成VCSEL)小型化。光学传感器在各种产品(例如智能手机、汽车、医疗诊断设备和激光加工头)的嵌入式应用不断增长,推动了对紧凑、可靠且可大规模制造的更高效微型光学子系统的需求。

II-VI超透镜是平面衍射光学元件(DOE),在单个表面上能够以极高的效率实现多种光学功能,并且适用于广泛的波长范围。在一种实施例中,这种超透镜可将来自VCSEL的光准直,并将其分成由数千条红外光束组成的投射在场景上的高度均匀的网格。光学传感器参考这些网格以准确获取三维场景数据。

II-VI的平面DOE基于光刻工艺实现图案化,能够提供对透射光的相位控制,而且不受折射光学元件的限制。微米厚的有源相变层被直接蚀刻到熔融石英玻璃衬底上的化学惰性电介质中。不含有机物的材料平台具有出色的可靠性,可以承受恶劣的环境条件、高光功率和高达500℃的温度。

II-VI的DOE制造基于强大的深紫外(DUV)光刻和反应离子蚀刻工艺。晶圆级DOE使用与电子IC行业相同的批量制造方法进行大规模生产,其生产规模达到每年数百万个微光学器件。

“作为我们多年来一直批量出货的光通信产品的一部分,基于玻璃的DOE的高可靠性是经过实地验证的。”II-VI首席营销官Sanjai Parthasarathi博士介绍说,“此外,我们的超透镜可以与我们的VCSEL一起使用,以实现差异化的超紧凑型3D摄像头,促进其在消费电子产品和汽车领域的更广泛采用。”

应用于传感的II-VI产品组合包括近红外VCSEL芯片,其芯片类型包括从一个发射器到数百个发射器的多结设计。II-VI的VCSEL阵列专为低成本非密封封装而设计,通过增加每颗芯片的发射器数量从而能够可靠且经济高效地扩展总发射功率。II-VI的VCSEL阵列可作为裸芯片提供,或与DOE集成于表面贴装模组之中。II-VI公司还提供用于提高图像传感器阵列信噪比的薄膜滤波片。

责任编辑:lq6

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原文标题:II-VI推出应用于光学传感器的高效超透镜

文章出处:【微信号:MEMSensor,微信公众号:MEMS】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

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