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三星积极向唯一EUV光刻机厂商ASML争取订单

2021-03-04 09:52 次阅读

三星一方面在积极向唯一的EUV光刻机厂商ASML争取订单,另外一方面也在增资为EUV产业链输血。

据报道,三星电子周二斥资430亿韩元(约合2.5亿)买入152万股韩国FST公司的股票,成为其第三大股东,持股占比6.9%。

三星积极向唯一EUV光刻机厂商ASML争取订单

FST是一家生产掩模/光罩保护膜和冷却器的厂商,保护膜简单来说就是保障光罩不受灰尘影响,冷却器则是控制半导体制造过程中的温度。

FST正在研制EUV光罩保护膜,设计目标是全尺寸,碳化硅基质,30nm尺度,透光率90%。

目前,尚未有一家公司大规模量产EUV光罩保护膜FST成功后,将对产业以及自身收入有着积极影响。
责任编辑:pj

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