华为携手中科院研发EUV光刻机，ASML工程师回应天方夜谭

9月16日，中国科学院院长白春礼在国新办发布会上介绍称，“率先行动”计划第二阶段要把美国“卡脖子”的清单变成科研任务清单进行布局，集中全院力量聚焦国家最关注的重大领域攻关。

白春礼称，从2021年到2030年未来的十年是“率先行动”计划第二阶段。对此，首先要进行体制机制改革。他称，目前已经设立了创新研究院、卓越创新中心、大科学中心和特色所四类机构，目的是根据科研性质不同进行分类定位、分类管理、分类评价、分类资源配置。

“这个工作还没有完，只是进行了一部分，所以第二阶段我们争取在2025年要把四类机构全部做完，全院100多研究所重新定位为90个左右的四类机构，这样就完成了全部的体制机制改革。”白春礼补充。

此外，白春礼还表示，面临美国对中国高科技产业的打压，未来十年将针对一些卡脖子的关键问题做一些新的部署。他强调，后续科学院将在“率先行动”的第二个阶段目标中， “将‘卡脖子’的问题和国外出口管制的清单转化为我们的任务清单。”

在中科院表态支持针对“卡脖子”问题进行攻关之后，9月17日下午，华为技术有限公司CEO任正非一行来访中国科学院，与中科院的专家学者们举行了座谈交流会，就基础研究及关键技术发展进行了探讨交流。

在工作会谈中，任正非简要介绍了华为公司近年来取得的进展及未来的发展战略。他表示，中科院作为国家在科学技术方面的最高学术机构，学科整体水平已进入世界先进行列，基础研究和综合交叉优势明显，为国家发展做出了重要贡献；建议科学家们继续保持对科研的好奇心，国家进一步加大对数理化和化学材料等基础研究的投入，推动产出更多重大科研成果；华为非常重视与中科院的合作，希望双方在现有合作基础上，针对新时期国内国际双循环相互促进发展的新格局，以更加开放的态度加强各个层面的科技交流，向基础性科学技术前沿领域拓展，共同把握创新机遇，推动科学家思想智慧和研究成果转化为经济社会发展的强大动力，共同为创造人类美好未来做出更大贡献。

白春礼表示，中科院与华为公司有着广泛深厚的合作基础，已经开展了多层次、宽领域的务实合作，并产出了有显示度的成果。他表示，作为国家战略科技力量，中科院正在认真贯彻落实习近平总书记提出的“三个面向”“四个率先”要求，深入实施“率先行动”计划；目前已完成“率先行动”计划第一阶段的总结评估，正在紧锣密鼓地谋划第二阶段的工作，坚持问题导向、目标导向、成果导向，聚焦国家重大战略需求，为促进经济社会发展提供有力科技支撑。他表示，华为是中国的品牌，更是民族的骄傲，取得了非凡的成就。他希望双方继续紧密合作，充分集聚中科院科技创新资源和华为企业优质资源，围绕未来技术发展趋势，探索科技前沿，共同促进经济社会高质量发展。

对于中国科学院院长白春礼要把美国“卡脖子”的清单变成科研任务清单进行公关的表态，以及华为创始人兼总裁任正非突然对于中科院的拜访，外界有网友猜测，华为将会与中科院携手，攻关EUV光刻机技术。

虽然，国内的上海微电子（SMEE）已经有90nm光刻机，并且传闻28nm光刻机明年就能推出。但是，其与ASML的EUV光刻机仍差距巨大。

而在此之前，业内就已有传闻称华为正在研发更为先进的EUV光刻机，而中科院在光刻机的关键技术和器件领域早已有相关布局。比如中科院长春光机所在光刻机所需的透镜及曝光系统上早已有突破，而最新的消息也显示，长春光机所在实验室已经搭建出了一套EUV光源设备。

那么，华为携手中科院，能够在EUV光刻机上实现突破吗？
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