台积电已安装了全世界约50％的激活EUV机器

在本周召开的台积电技术研讨会上，最重要的中心信息之一是，该公司在半导体制造领域处于世界领先地位，特别是在领先的工艺技术领域。

为进一步传达信息，台积电展示了一张幻灯片，指出了它与其他产品的相对位置：通过结合ASML的声明和自己的内部采购单，台积电预测他们已安装了全世界约约50％的激活EUV机器。除此之外，该公司还拥有约60％的EUV晶圆累计生产量。 大型晶圆厂目前已知的公开EUV工艺包括TSMC的7+和N5，以及三星的7LPP（及以下任何产品），英特尔的EUV努力仅在明年进入其自己的7nm产品组合。这些流程之外的任何前沿技术都将继续扩大EUV的使用范围。 与常规DUV机器相比，EUV机器的吞吐率通常较低，每小时约为120-175片晶圆，最新版本可以达到275 wph，但是由于1层EUV通常可以代替3-4层DUV，因此吞吐率更高。但是，对于这些代工厂来说，渴望扩展到多个EUV机器以增加晶圆的物理数量是一个迫切的目标。

唯一制造EUV机器的公司是ASML，并且该公司公开宣布其每年销售多少台机器。详情如下：

请注意，到目前为止，ASML仍未完全达到其目标，但是已经足够接近实现目标，这表明到2020年第二季度末，ASML仅出货了13台，但他们预期是35个系统。这些数字包括ASML已制造的所有不同类型的Twinscan NXE机器，而更新的机器具有更高的吞吐量（有时会翻新一些旧的机器）。 截止到2020年Q2，我们预测ASML已经发货的EUV机接近71台，到2020年年底，这个数字将有可能达到90台，然而ASML可能有多达积压49 EUV扫描曝光机订单，即使具有这些发货目标。 如果ASML已经出货了71台机器，那么根据台积电的数字，这意味着该公司大约有30-35台。请注意，TSMC的数字是针对“已安装的EUV”机器的。 我们获悉，从获取零件到校准机器使用最多需要6个月的时间。因此，目前，这些晶圆厂中有一些正在等待安装EUV机器，或者在Intel的情况下，可能仅用于早期测试或风险前试验。我们知道，GlobalFoundries拥有两台早期的EUV机器，安装了一台，但是当它决定不追求领先的7nm时最终出售了这两台机器，其中国内企业订购了一台，但据我们所知，由于美国施加的限制，它没有安装。。 随着台积电为其N5生产增加其Fab 18的产能，并提高其EUV集成度，看看台积电是否受制于其所拥有的机器数量是否受到限制将很有趣。 但是可以肯定的是，ASML正处于中坚位置，垄断着一切。