利用半导体压阻效应,可设计成多种类型的压阻式传感器。压阻式传感器体积小,结构比较简单,灵敏度高,能测量十几微帕的微压,动态响应好,长期稳定性好,滞后和蠕变小,频率响应高,便于生产,成本低。因此,它在测量压力、压差、液位物位、加速度和流量等方面得到了普遍应用。
1、压力测量
硅压阻式压力传感器由外壳、硅膜片(硅杯)和引线等组成。
2、液位测量
它是根据液面高度与液压成比例的原理工作的。投入式液位传感器安装方便,可适应于深度为几米至几十米,且混有大量污物、杂质的水或其他液体的液位测量。
3、加速度测量
它的悬臂梁直接用单晶硅制成,在悬臂梁的根部扩散四个阻值相同的电阻,构成差动全桥。在悬臂梁的自由端装一质量块,当传感器受到加速度作用时,由于惯性,质量块使悬臂梁发生形变而产生应力,该应力使扩散电阻的阻值发生变化,由电桥的输出信号可获得加速度的大小。
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发表于 03-20 14:07
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