TurboStocker XT为工作存储增加了高速垂直传输功能在线晶圆

马萨诸塞州BILLERICA - PRI Automation Inc.今天宣布推出TurboStocker XT，它为工作存储增加了高速垂直传输功能在线(WIP)晶圆。由于能够在工厂中的多个楼层之间移动，新的储料器还可以最大限度地减少WIP的存储空间。 “半导体制造商不断寻求通过降低成本和提高生产率来提高制造业务效率的方法，”PRI Automation总裁兼首席执行官Mitch Tyson表示。 “TurboStocker XT提供了一种创新的方法来满足全厂的材料处理要求，缩短了晶圆交付时间，节省了昂贵的洁净室空间。”

PRI相信新的储料器特别适合亚洲的晶圆厂， PRI工厂系统部副总裁兼总经理Bob Postle表示，空间有限且许多制造商不得不建造多层工厂。

TurboStocker XT可以减少洁净室WIP存储空间通过最小化生产车间所需的储料器数量来减少75%。该公司表示，制造商可以利用腾出的占地空间来减小洁净室的尺寸，或增加更多的工艺工具来提高制造能力。

PRI的新型储料器具有许多与目前相同的技术。 200毫米和300毫米TurboStockers，包括I/O，用户界面和机器人手臂。新系统还集成了PRI的interbay AeroTrak和intrabay AeroLoader晶圆传输系统和TransNet材料控制软件。

TurboStocker XT可配置高达30米(约98英尺)，最大存储容量为540个晶圆载具。存储模块可以沿垂直轴的任何点集成，包括子工厂或空气室中的位置。这些灵活的配置使制造商能够创建最佳的存储配置，以满足其设施要求。