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中国强攻22纳米IC关键技术 让国产芯片“站”起来

2013年05月21日 13:47 次阅读

  中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心的科研团队艰苦攻关,成功开展22纳米关键工艺技术先导研究与平台建设,在我国首先开展该技术攻关。

  “高配”团队迎挑战

  作为集成电路先导中心特聘的“千人计划”专家,闫江参与了一场与时间的赛跑:在国家科技重大专项02专项的支持下,开展22纳米先导工艺研发。

  同时参与这场“赛跑”的,还有中科院微电子所所长执行顾问、“千人计划”专家、研究员杨士宁和集成电路先导中心主任、“千人计划”专家、研究员赵超以及先导中心首席科学家、“千人计划”专家、研究员朱慧珑。

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  中科院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心团队

  在他们的前期忙碌后,一条拥有53台套大型设备的8英寸研发线终于开始运行。

  接下来的重头戏是闫江带领团队进行工艺整合与集成,将22纳米工艺器件研发出来。

  让国产芯片“站”起来

  接到“接力棒”的闫江也将“生死”置之度外:“哪怕有1%的希望,我们都会争取按时高质量地完成研发任务。”

  为此,22纳米攻关指挥部制定了一份苛刻的倒计时计划,“流片实验到任何一个环节,相关工艺工程师必须先于流片到位。”闫江说。同时,压缩所有能够压缩的试验环节,甚至有段时间这条8英寸的工艺平台24小时连轴运转。

  “2012年4月,我们用20天时间,拿出了第一个线宽比较大的芯片,这验证了整个工艺设备的可靠性。”

  “按照紧凑的实验节奏,2012年10月,第一个25纳米栅长的晶体管(NMOSFET)流片实验成功”……赵超回忆着倒计时里的各项欣喜。

  “最后,我们做到6次流片实验均首次成功。”闫江说。集成电路先导中心用7个月的时间漂亮地完成了原定两年多时间的工作:国内首次采用后高K工艺流程,获得小于30纳米栅长的NMOSFET和PMOSFET器件,器件性能优良;对栅工程中阈值电压(Vt)调节,界面层去除,栅介质及金属层填充等工艺难点作了系统研发,为工业界的二次开发提供了一系列工艺解决方案。

  “到目前为止,我们虽然遇到了不少困难,但都能一步步地克服,顺利地完成既定目标。”赵超介绍,“这说明我们的机制合理、技术方案比较扎实,当然,还有运气好。”

  “压力很大,有苦有累,却很甜蜜也非常有成就感。”闫江道出了团队的真实感受。

  整个团队的付出开始得到回报:该团队在更具挑战性的鳍型晶体管(FinFET3D)研发上已经取得良好进展。以年轻人为主力军的FinFET研发队伍,已提前完成大线宽的器件集成目标,与工业主流工艺兼容的FinFET工艺集成和器件将在2013年底之前完成。

  这些成果将为国内芯片制造企业的生产技术开发扫清道路、为半导体集成电路行业中无生产线设计公司(简称Fabless)及早介入工艺创造条件。赵超表示:“我们有信心与半导体集成电路行业中芯片代工厂(简称Foundry)一起打造自主研发的20~14纳米技术。”


欲知悉更多关于中国集成电路发展情况,参与电子发烧友网“疯PK:2015,大陆IC设计赶超台湾?



 

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去年中国集成电路产业总营收达4335.5亿元,中...

集成电路制造工艺升级的过程中,晶体管微缩会终结吗...

在集成电路制造工艺升级的过程中,High-K和FinFET的出现对摩尔定律的延续发生了重要的作用,并...

发表于 2018-03-12 11:00 605次阅读
集成电路制造工艺升级的过程中,晶体管微缩会终结吗...

我国集成电路产业正处发展前景一片光明的时期

国务院总理李克强在《政府工作报告》“对2018年政府工作的建议”部分中,把推动集成电路产业发展列在加...

发表于 2018-03-11 09:57 738次阅读
我国集成电路产业正处发展前景一片光明的时期

上海集成电路去年实现“双丰收” 张江企业在5G上...

海集成电路产业去年实现速度质量“双丰收”。2017年本市集成电路产业整体销售规模接近1200亿元,同...

发表于 2018-03-09 16:17 981次阅读
上海集成电路去年实现“双丰收” 张江企业在5G上...

大基金再次“扬帆”二期启动前行 丁文武将现身

步入三月,万物复苏的春天漫步而来,半导体重大事件消息也接踵而至,除了备受瞩目关注的“两会”,集成电路...

发表于 2018-03-09 15:07 536次阅读
大基金再次“扬帆”二期启动前行 丁文武将现身

沪半导体规模2017年破1200亿 年度十大亮...

上海市经信委日前公布2017年全市集成电路产业整体销售规模接近1200亿元,同比增长超过12%。同时...

发表于 2018-03-09 15:04 701次阅读
沪半导体规模2017年破1200亿  年度十大亮...

起底科技“牛股”盈方微,股市连年不顺背后是啥原因

当时年少气也盛盈方微电子股份有限公司是以集成电路设计研发为核心,通过供应链整合优化智能终端,以大数据...

发表于 2018-03-09 11:20 807次阅读
起底科技“牛股”盈方微,股市连年不顺背后是啥原因

看点:格芯举报台积电垄断 浦东张江集成电路产业能...

1.格芯向中国发改委举报台积电垄断行为; 2.紫光展锐携手KaiOS助力全球功能手机市场发展; ...

发表于 2018-03-09 11:10 401次阅读
看点:格芯举报台积电垄断 浦东张江集成电路产业能...

半导体行业掀起抢人大战 中国台湾人才最受青睐

对企业而言,半导体人才的培养是一个漫长的过程,尤其是在先进工艺、先进技术方面,更是花钱可能也达不到效...

发表于 2018-03-07 18:42 732次阅读
半导体行业掀起抢人大战 中国台湾人才最受青睐

大唐电信,为何会走到如此境地?

新浪财经讯 近日,大唐电信(8.190, -0.27, -3.19%)公布了2017年业绩预告,公司...

发表于 2018-03-07 17:20 493次阅读
大唐电信,为何会走到如此境地?

海思半导体上市了吗_海思半导体股票代码

海思半导体是一家半导体公司,海思半导体有限公司成立于2004年10月,前身是创建于1991年的华为集...

发表于 2018-03-07 16:04 3790次阅读
海思半导体上市了吗_海思半导体股票代码

2018半导体人的春天

中国集成电路产业在未来的十多年中,都将会受到国家政策的重点关注。人工智能、集成电路、第五代移动通信等...

发表于 2018-03-07 09:03 583次阅读
2018半导体人的春天

5分钟芯闻 | 集成电路列入实体经济发展第一位;...

3月5日上午,十三届全国人大一次会议在北京开幕,国务院总理李克强作政府工作报告,再次将集成电路列入政...

发表于 2018-03-06 19:04 898次阅读
5分钟芯闻 | 集成电路列入实体经济发展第一位;...

集成电路再次被写入政府工作报告,列入实体经济发展...

发表于 2018-03-06 18:59 1159次阅读
集成电路再次被写入政府工作报告,列入实体经济发展...

“大基金” 将于下半年开始投资运作

媒体报道称,国家集成电路产业投资基金(简称大基金)第二期正在紧锣密鼓募资推进中,目前方案已上报国务院...

发表于 2018-03-06 14:42 449次阅读
“大基金” 将于下半年开始投资运作

来一张2017集成电路行业薪资表

发表于 2018-02-27 21:23 615次阅读
来一张2017集成电路行业薪资表

中文版CMOS超大规模集成电路设计第4版

发表于 2018-02-25 22:29 318次阅读
中文版CMOS超大规模集成电路设计第4版

MC68HC705K1CDW可以擦写吗

发表于 2018-01-27 20:30 277次阅读
MC68HC705K1CDW可以擦写吗

【下载】《模拟集成电路的分析与设计(英文版)》

发表于 2018-01-03 18:24 2776次阅读
【下载】《模拟集成电路的分析与设计(英文版)》

【模拟集成电路设计精粹】问答

发表于 2017-12-21 10:27 596次阅读
【模拟集成电路设计精粹】问答

【下载】《国外名校最新教材精选:模拟CMOS集成电路设计》

发表于 2017-12-20 17:57 3544次阅读
【下载】《国外名校最新教材精选:模拟CMOS集成电路设计》

TI德州仪器立体声AB类音频放大器IC原装正品TPA6011A4PWPR

发表于 2017-11-21 14:32 300次阅读
TI德州仪器立体声AB类音频放大器IC原装正品TPA6011A4PWPR

集成开关IC负载降压DC-DC稳压器LM2734XMK/NOPB

发表于 2017-11-21 14:31 265次阅读
集成开关IC负载降压DC-DC稳压器LM2734XMK/NOPB

集成电路宽输入非同步降压 DC/DC 控制器电源模块TPS40200DR

发表于 2017-11-21 14:30 265次阅读
集成电路宽输入非同步降压 DC/DC 控制器电源模块TPS40200DR