奥运电子火炬舞动 宣布MEMS进入新纪元

在8月8日举行的北京奥运会开幕式上，当一个巨幅的流动的梦幻般的画卷在“鸟巢”的地面上展开时，大多数电视观众都会不自觉地注意到，9.2万名现场观众发出不断闪烁的灯光，让他们就像是9.2万个五彩的小点。

　　当然，这些五彩的灯光并不是我们通常在那些大的运动赛场上看到的照相机的闪光灯。事实上，这种欢乐的背景是由观众挥舞的电子火炬形成的效果，这种基于MEMS技术的电子火炬是奥运火炬的一种复制品。

　　据了解，开幕式上“鸟巢”内的所有现场观众都有这样一个电子火炬，他们在专业人员的统一指导下有节奏地挥舞手中的电子火炬。

　　基于MEMS技术的火炬当然不是普通的闪光，虽然人们从远处看会将它们误以为普通的闪光。但是据该火炬的制造商美新半导体（无锡）有限公司CEO赵阳表示，北京奥运会上使用的电子火炬能够闪现出不同的图像和文字，比如福娃、象征不同运动项目的图像、奥运logo、北京奥运会logo、北京欢迎你等字样。

　　运用加速传感器，可以监测到电子火炬挥舞时的起点和终点，在火炬的前端，有一排LED阵列，通过LED照明与其在空间中的位置同步，显示出预先设置好的文字。

　　美新公司的CEO赵阳曾在20年多前去美国普林斯顿大学攻读的博士学位，他的导师是曾于1998年获得诺贝尔物理学奖的DanielTsui教授。

　　官员做工作，赵阳直到最后也不能确定中国奥组委是否同意观众使用这种摇摆火炬。

　　这项奥运工程项目展示了美新公司对一种独特的温感感应工作原理的运用。更特别的是，这种MEMS传感器应用是基于热力传输定律，能够像其他具有静态部件的加速计那样工作。这种运用于美新的加速计的静态部件是一种热气体。

　　据美新公司表示，“一个单独的热源集中在硅芯片中心，它能够产生热梯度，因而在密封包装中出现气体密度梯度。”当给设备添加一个外作用力（比如加速、减速、重力、振动等），气体会随着包装内的惯性质量而运动，通过对热源周围的温度的监测就能够测出外加力。

　　美新公司表示，这一设计不含任何运动部件，因此，MEMS具有高稳定性，赵阳说：“现在，还没有其他MEMS公司具有这样的技术。”

　　标准COMS流程

　　更重要的是，这种技术使美新公司可以通过CMOS流程将传感器和电子控制装置集成在同一个芯片上，通常MEMS芯片需要特殊的晶圆厂。

　　美新公司宣称，他们是第一家也是唯一一家拥有将复合信号处理电路和加速计集成在一个芯片上的技术。有了这种技术，加上这次电子火炬项目的经验，美新公司能够以更低的价格打开高端领域的的商业化MEMS产品之门。

　　由于许多MEMS芯片供应商都在寻找更为经济的MEMS芯片量产方式，因此MEMS芯片制造商之间的竞争也开始变得激烈起来。例如，几个月前，台积电宣布他们将全线进入MEMS市场，台积电将自己明确定位为领先的MEMS制造商，赵阳表示台积电在把美新公司作为他们主要的样板。