电子发烧友App

硬声App

0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

电子发烧友网>MEMS/传感技术>基于微电子机械加工技术实现电磁拾振谐振式压力传感器的设计

基于微电子机械加工技术实现电磁拾振谐振式压力传感器的设计

收藏

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉

评论

查看更多

相关推荐

压力传感器

压力传感器的信号电子补偿,调节,放大的电路设计
2013-05-16 16:29:32

压力传感器

求助:深海油田用压力传感器的设计,梁膜组合的设计,
2013-05-16 16:26:15

压力传感器

用这个放大压力传感器的输出信号到ADC0809后,为什么压力传感器的测量值变化不大呢?
2021-12-24 21:53:04

压力传感器MLX90819是新一代相对压力传感器裸片IC

方案的产品架构和集成方案架构。  其中,分离方案的产品架构是Sensor/陶瓷敏感元件+MLX90328+MCU。此方案的优点是充油芯体压力传感器的产品精度可由工程师根据设计需要来灵活设置。而其缺点
2020-07-08 15:11:44

压力传感器与液位传感器的联系与区别

传感器一般分为浮球液位变送器、浮筒液位变送器、静压液位变送器。 最后,液位传感器可以说是压力传感器功能的拓展。在很多情况下只要稍作改变,液位传感器压力传感器就可以通用。随着技术的发展,以及
2013-10-22 09:14:08

压力传感器原理

` 本帖最后由 summerwangyan 于 2013-5-28 15:19 编辑 压力传感器的原理被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上,使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,和用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应这一压力的标准测量信号400-661-3026`
2013-05-28 15:18:27

压力传感器和液位传感器的原理是什么?

就想问一下压力传感器和液位传感器的原理是什么?大咖帮个忙
2022-03-24 17:17:58

压力传感器在工业中的应用和原理

,实际证明选择压力传感器的效果非常好。压力传感器利用机械设备的加工技术将一些元件以及信号调节等装置安装在一块很小的芯片上面。所以体积小也是它的优点之一,除此之外,价格便宜也是它的另一大优点。在一定程度上它能
2018-11-08 16:18:56

压力传感器在煤矿机械液压支架中的作用

控制系统的投入力度。 液压支架电液控制系统是具有单片机、传感器电子装置和液压回路控制部件,可以根据生产需要而控制液压支架自动动作的系统。其中传感器部分主要是压力传感器和倾角传感器压力传感器用于检测
2018-10-26 11:30:40

压力传感器在称重系统及石化行业中的应用

中,压力传感技术越来越多的被应用。在很多压力控制过程中,经常需要采集压力信号, 转换成能够进行自动化控制的电信号。以压力传感器制作的压力控制装置一般称为电子称重系统,电子称重系统作为各种工业过程中物料
2016-12-14 17:20:32

压力传感器在空压机安全管理系统中的应用

。    智能传感器配有专用计算机,它的迅速发展将空压机的安全性能提高到一个前所未有的高度。随着微电子技术和微机械加工技术的发展,传感器正朝着微型化、多功能化、智能化方向发展。业内专家由此看好空压机传感器在中国
2012-04-05 14:39:40

压力传感器如何选型资料

方向 R:與氣管同方向 N/A:與氣管反方向 I 鍍銀腳 其中一些具体应用可如下选型:1.电子血压计用压力传感器MPS2107-006G,MPS3117-006G,MDS-2500-006GI
2017-09-22 10:03:15

压力传感器应用实例详解

的应用:差压、绝压、表压、高压、微差压、高温、低温,以及各种材质及特殊加工的远传法兰压力传感器。几乎石化行业对压力传感器的需求主要集中在可靠性、稳定性和高精度3个方面。其中,可靠性和许多附加需求,如
2018-11-07 11:01:49

压力传感器电路参考设计(原理解析+温度补偿算法+设计仿真)

的种类繁多,如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻压力传感器、电感压力传感器、电容压力传感器谐振压力传感器及电容加速度传感器等。 压力传感器是一种常用的传感元件,由于其自身
2018-12-17 14:12:29

压力传感器电路设计

`怎样设计一个电路可以使压力传感器在设定压力下触发!!!!`
2013-05-06 22:46:43

压力传感器的原理是什么?

汽车传感器是汽车电子化、智能化的基础和关键, 而其中使用较多、发展最快的是压力传感器。汽车压力传感器应用在汽车的很多系统中,如电子检测系统、保安防撞系统等。
2020-03-25 08:00:15

压力传感器的工作原理

力学传感器的种类繁多,如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻压力传感器、电感压力传感器、电容压力传感器谐振压力传感器及电容加速度传感器等。但应用最为广泛的是压阻压力传感器
2016-04-25 13:55:13

压力传感器的应用前景在哪里?

六大核心技术(计算机、通信、激光、半导体、超导体和传感器) 之一。在各类传感器压力传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定可靠、成本低、便于集成化的优点,可广泛用于压力、高度、加速度、液体的流量、流速
2019-11-08 07:29:55

压力传感器的抗干扰措施盘点

压力传感器 压力传感器无法避免的误差 在选择压力传感器的时候我们要考虑他的综合精度,而压力传感器的精度受哪些方面的影响呢?其实造成传感器误差的因素有很多,下面我们注意说四个无法避免的误差,这是传感器的初始误差。
2020-08-18 06:36:55

压力传感器的选型步骤和要点

  随着现代测量和自动化技术的发展,压力传感器的用量每年以20%的速度增长。目前市场上的压力传感器品种繁多,规格及技术性能不一,价格差别也很大。摆在使用者面前的问题是,应选用怎样的压力传感才能
2019-07-03 07:37:42

压力传感器的选择与应用

传感器的种类很多,压力传感器是其中最成熟的技术,就市场情况来看,居传感器之首,并且每年增长率达20% ,具有广阔的应用前景。不同技术性能的压力传感器应用于不同的测量需求己成为当前压力传感器发展
2020-02-21 15:31:14

压力传感器的选择与应用

达到高精度时,必然在制作过程中增添了许多附加工艺以及校淮过程和补偿技术,相应成本提高了,当然其售价也随之大幅度增加。因此应根据压力传感器实际应用场合和要求,提出合理的精度要求及相应的温度范围
2018-11-13 11:01:36

压力传感器输入调零电路。

为什么压力传感器要加个调零电路,压力传感器到底该怎么花电路图呢?
2015-07-30 18:48:33

微电子机械系统加速传感器在医疗领域有什么应用?

通过基于微电子机械系统(MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM, MEMS)的加速传感器和陀螺仪的设计,MEMS技术已经广泛应用于导航和游戏软件领域;但是,微型电磁式感应技术正越来越多地应用于医疗领域。
2020-04-20 06:13:27

电磁激励微谐振传感器的设计与制作

。  4结论  利用微电子机械加工技术成功研制出电磁激励一电磁谐振压力传感器。该传感器谐振器在空气中的品质因素Q值大于1 200,真空中的Q值大于7 000。采用闭环自激振荡方式,测定压力传感器
2018-11-01 15:12:15

谐振传感器是如何产生异常谐振(共振),该怎么解决?

传感器电子技术、测试技术、计算技术和半导体集成电路技术的基础上迅速发展起来。其优点是体积小、重量轻、结构紧凑、分辨率高、精度高以及便于数据传输、处理和存储等。按谐振元件的不同,谐振传感器可分为
2022-08-18 09:20:08

MEMS传感器概念和分类等基础知识详解

的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。MEMS是用传统的半导体工艺和材料,以半导体制造技术为基础发展起来的一种先进的制造技术,学科交叉现象极其明显,主要
2018-11-12 10:51:35

Melexis压力传感器适用于各种不同压力范围

优势。  Melexis的压力传感器可以分为集成压力传感器和分立式压力传感器这两大类。集成压力传感器可以分为相对压力传感器和绝对压力传感器。  集成压力传感器  集成压力传感器可以分为绝对压力传感器和相对
2020-07-07 16:06:04

SM5G压力传感器在便携电子血压计的应用

件,Maxell的电池(国产电池也很多),以及本文要重点介绍的SMI的压力传感器产品。从整体上能够尽可能的降低系统总体成本。  在压力检测实现方面,这里推荐SMI的压力传感器SM5G,加上运放,组成信号检测和调理
2020-07-08 14:46:36

SMI的SM6841压力传感器在空压机传感器领域的应用

很多。值得一提的是,微型化传感器利用微机械加工技术将微米级的敏感元件、信号调理、数据处理装置集成封装在一块芯片上。由于其体积小、价格便宜、便于集成等特点,可以提高系统测试精度,例如把微型压力传感器
2020-07-08 15:09:05

[转帖]压力传感器原理

由压电传感器制成的,因为测量动态压力是如此普遍,所以压电传感器的应用就非常广。 除了压电传感器之外,还有利用压阻效应制造出来的压阻传感器,利用应变效应的应变传感器等,这些不同的压力传感器利用不同的效应和不同的材料,在不同的场合能够发挥它们独特的用途。
2010-04-16 15:04:58

[转帖]《压力传感器的设计制造与应用》介绍

第七章硅压力传感器的微机械加工第一节概况第二节湿化学腐蚀第三节各向异性腐蚀过程计算机模拟第四节压力传感器压力腔腐蚀工艺第五节表面微机械加工——牺牲层技术第六节玻璃穿孔技术参考文献第八章压力传感器的封装
2010-04-16 15:13:56

stm32压力传感器的步进电机

基于stm32c8t6的压力传感器控制步进电机正反转。主控:stm32c8t6 ,压力传感器:悬壁压力传感器+HX711 ,步进电机:24BYJ48(电机)+ULN2003(驱动)实现功能:通过
2021-06-29 06:35:05

关于压力传感器

求大神帮助,请问要实现压力传感器数据系统的构建。应采用什么样的压力传感器?要实现电脑上的实时数据显示,用什么软件比较好啊?
2015-03-20 19:35:11

关于电阻应变压力传感器的求助

{:4_107:}是这样滴~小白我弄了个关于“电阻应变压力传感器”的东东,但是呢,问题来啦~~~我是想用Proteus 7仿真一下,但是,Proteus这个软件木有“电阻应变压力传感器”上面只有
2014-10-06 10:25:35

兼容液体介质的压力传感器的优势

目前,市面上的传感器种类繁多,令人眼花缭乱。但是对于医疗系统OEM来说,要为具备在液体感应或冷凝潮湿应用中的医疗设备选择最佳压力传感器,绝非易事。设计人员需要选择在技术功能、可靠性和具体应用成本之间
2020-08-28 07:13:59

农业机械应用的压力传感器怎么选择?

为农用重型设备车辆选择合适的压力传感器,对于传感器本身以及设备的可靠性和寿命都有显著影响。在这些应用中,压力传感器通常用于测量油压、液压充油压力和液压系统压力,以确保车辆安全和高效的运行。每个应用都对压力传感器有一系列不同的要求,包括工作压力、环境条件和端接方式等。
2020-04-15 08:06:16

分析仪和传感器等以智能化为主

基础上的,目前已成功应用在硅器件上形成硅压力传感器(如上述EJX变送器)。微电子机械加工技术,包括体微机械加工技术、表面微机械加工技术、LIGA技术(X光深层光刻、微电铸和微复制技术)、激光微加工技术
2020-05-20 08:23:01

压电压力传感器有什么应用?

基于压电效应的压力传感器。它的种类和型号繁多,按弹性敏感元件和受力机构的形式可分为膜片式和活塞两类。
2020-03-26 09:02:14

压阻压力传感器的结构

压阻压力传感器的结构  这种传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极引线(图1)。压阻压力传感器又称为固态压力传感器,它不
2010-04-17 07:01:55

图尔克智能压力传感器

  新压力传感器检测范围从-1到400bar,充分满足了机械行业的应用需要。其具有自主专利的防泄漏技术保证当传感器即使被压损坏时也不会出现介质泄漏的情况。新压力传感器拥有四种压力单位可选,分别
2018-11-20 15:42:30

基于微电子机械系统加速传感器在医疗领域的应用

  通过基于微电子机械系统(MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM, MEMS)的加速传感器和陀螺仪的设计,MEMS技术已经广泛应用于导航和游戏软件领域;但是,微型电磁式
2018-11-06 16:04:44

基于MEMS的机油压力传感器可靠性设计

、重量轻、响应快、灵敏度高、易于批量生产、成本低的优势,它们已经开始逐步取代基于传统机电技术压力传感器。目前已有多种MEMS压力传感器应用到了汽车电子系统中,如发动机共轨压力、机油压力、歧管空气进气压力
2019-07-16 08:00:59

基于系统级封装技术的车用压力传感器

合适的封装和配套的电路系统。  概括起来,压力传感器的封装应该满足以下几方面的要求:1)机械上是坚固的,抗振动,抗冲击;2)避免热应力对芯片的影响;3)电气上要求芯片与环境或大地是绝缘的;4)电磁
2018-12-04 15:10:10

基于绿色机械加工技术的应用与研究

的要求。当然在切削的过程中会产生大量的切屑,因此为了降低功耗,可以将机床设计成立轴和倾斜床身,以此更好的实现高效、低污染的加工环境。3、绿色机械加工技术在特种加工中的应用。以激光溶覆技术为例,利用激光
2018-03-06 09:26:59

基于表面微加工技术的加速度检测创新

、流量计、机电滤波谐振加速度计、压力传感器和机电继电器。 有意思的是,这些传感器不仅仅是实验室探索的产物。 它们采用经过验证的晶圆制造工艺制造,能以合理的价格实现量产。演示具有500 mg/Hz噪
2018-10-15 10:33:54

基于高温压力传感器的设计方案

压力传感器是使用最为广泛的一种传感器。传统的压力传感器机械结构型的器件为主,以弹性元件的形变指示压力,但这种结构尺寸大、质量轻,不能提供电学输出。随着半导体技术的发展,半导体压力传感器也应运而生
2020-04-29 06:48:32

基于高温的微型压力传感器设计方案

  0 引言  压力传感器是使用最为广泛的一种传感器。传统的压力传感器机械结构型的器件为主,以弹性元件的形变指示压力,但这种结构尺寸大、质量轻,不能提供电学输出。随着半导体技术的发展,半导体
2018-11-12 16:23:46

如何为农业机械应用选择压力传感器

中的化学物质被合理的控制。  ·测量用于提升和移动农耕犁片和用具的液压压力。包括用于犁地和播种设备。  ·监测和控制制动及调平等安全系统的压力。  设计工程师在为农业机械应用选择合适的液压和气动压力传感器时,应
2018-11-06 16:16:19

如何去实现压力传感器无线采集系统的设计?

压力传感器无线采集系统由哪几部分组成?如何去实现压力传感器无线采集系统的硬件设计?如何去实现压力传感器无线采集系统的软件设计?
2021-06-01 06:45:54

如何提升压力传感器的稳定性

Systems,微机电系统)传感器最早则是在80年代初,开始的硅微机械系统加工技术和绝缘体上硅(Silicon-On-Insulator,SOI)技术的研究。相比国外发达国家,我国的传感器多以中低端制造为主,而
2022-04-06 14:34:46

工业级压力传感器产品技术资料

`工业级压力传感器M7100为要求严格的发动机和机动车辆应用树立了新的性能价格比典范。产品采用MEAS专利的微熔技术,适合液体和气体压力测量,甚至包括污水,蒸汽和腐蚀性液体等介质。 M7100的压力
2017-11-21 15:17:53

常用压力传感器技术类型

压力传感器一般用于对传感器敏感器件所处气体或液体氛围的压力测量,一般用于反馈给系统主控单元,实现系统精确控制。压力传感器作为传感器中的一大门类,在汽车、工业、家电、消费电子等不同行业均有广泛
2018-10-31 14:17:46

常见压力传感器工业原理汇总

的抗干扰能力,零点漂移小、温度特性好、结构简单、分辨率高、性能稳定,便于数据传输、处理和存储,容易实现仪表数字化,所以压力传感器也可以作为传感技术发展的方向之一。压力传感器的敏感元件是拉紧的钢弦
2018-11-08 10:56:24

常见压力传感器应用原理

压力传感器所属压力传感器中最常用的一种,在工业、电子、化工、医疗、军用、石油等领域中都有一定的应用。压力传感器的种类是非常多的,可以分为压阻压力传感器、陶瓷压力传感器、扩散硅压力传感器等,今天
2016-04-27 16:29:22

常见的压力传感器的分类及特点

在诸类仪表中,变送器的应用最广泛,最普遍,根据环境条件、被测介质、压力类型、工作原理、输出信号、经济性等不同,变送器的种类也千差万别,其特点各有千秋。初略估计,全世界有60种以上技术压力传感器
2021-08-05 13:08:51

应变压力传感器结构

颜色的两端判别,R1=R2=R3=R4≈ 350Ω。本实验所用的应变压力传感器,实物如图4所示,技术指标参考表1。购线网:http://www.gooxian.com/
2018-02-22 16:55:57

应用在5G技术的无线压力传感器

loT传感器:应用在5G技术的无线压力传感器
2021-02-04 07:05:01

机械传感器

具有抗电磁干扰、防爆等优点,是对电热激励/压敏电阻的微谐振压力传感器的有益补充[11,12],但是需要复杂的光学系统,不易实现,成本较高。  2.2微加速度传感器  硅微加速度传感器是继微压力传感器之后
2018-10-30 16:04:06

微型传感器在汽车各方面的应用介绍

传感器等,这些微型传感器的面积大多在1 mm2以下。随着微电子加工技术,特别是纳米加工技术的进一步发展,传感器技术还将从微型传感器进化到纳米传感器。这些微型传感器体积小,可实现许多全新的功能,便于大批量和高精度生产,单件成本低,易构成大规模和多功能阵列,这些特点使得它们非常适合于汽车方面的应用。
2019-07-22 07:21:05

怎么实现基于CAV424的电容压力传感器测量电路设计

CAV424工作原理是什么?基于CAV424的电容压力传感器测量电路设计
2021-05-06 06:31:10

扩散硅压力传感器的工作原理是什么?

美国汽车传感器权威弗莱明在2000年的汽车电子技术综述就指出了MEMS技术在汽车传感器领域的美好前景。设计了基于MEMS技术和智能化信号调理的扩散硅压力传感器应对汽车压力系统的压力检测。
2020-03-18 07:40:15

敏芯微电子MEMS压力传感器芯片

  继推出硅基MEMS麦克风芯片后,苏州敏芯微电子技术有限公司日前又推出了1.4mm×1.4mm×0.7mm外形尺寸MEMS绝对压力传感器芯片,主要针对量程为15PSI的高度表市场,并已开始提供样品
2018-11-01 17:16:10

求推荐做血压计用的压力传感器

想要做一个电子血压计,做腕的,并且精度高!求推荐压力传感器啊~~多谢!
2013-05-23 08:16:34

液压485强信号数字压力传感器

液压485强信号数字压力传感器液压485强信号数字压力传感器液压485强信号数字压力传感器液压485强信号数字压力传感器PTJ206-485 数字型通用压力传感器,数字信号通用压力变送器浩捷
2013-12-20 09:20:22

熔体压力传感器怎么安装?

熔体压力传感器的工作原理是介质的压力直接作用在传感器的膜片上,使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻发生变化,和用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这个压力的标准信号。
2019-10-08 14:26:34

电流压力传感器怎么进行校正

电流-压力传感器(通常也叫做I/P)常常用在利用电信号来控制气动阀的情况下。能够将标准电信号变为压强的这些传感器在造纸、化工、提炼、食品加工等工厂中,得到广泛的应用。
2019-07-31 08:13:24

硅压阻压力传感器温度补偿算法及软件实现

电路根据(2)进行计算。最后补偿后结果通过并,串转换电路输出,从而实现压力传感器实时数字温度补偿。  1.3 高阶温度补偿系数计算过程  由于不同压力传感器动态特性不同,采用高阶补偿模型计算出拟合
2018-11-06 15:56:29

绝压真空压力传感器,气体压力传感器

绝压真空压力传感器,气体压力传感器绝压真空压力传感器,气体压力传感器绝压真空压力传感器,气体压力传感器PTJ410F负压传感器,负压变送器浩捷电子负压传感器/变送器特性: 1:采用进口扩散硅感压芯体
2014-05-07 10:34:38

重磅!智芯传感推出ZXP6系列高精度宽温域差压气体压力传感器

和精密机械加工技术制作的高科技电子机械器件,是一个集微传感器、微执行、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS加工技术带动
2022-09-22 15:58:43

陶瓷电容压力传感器有什么特点?

压力传感器传感器中较大门类,广泛应用于汽车、工业、物联网等领域,陶瓷电容作为压力传感器中一种主要技术路线,具有耐腐蚀、抗冲击、介质兼容性好的优点。本文介绍陶瓷电容原理及典型应用,以供压力传感器工程人员参考。
2019-08-06 06:04:16

高温微型压力传感器有什么优势?

压力传感器是使用最为广泛的一种传感器。传统的压力传感器机械结构型的器件为主,以弹性元件的形变指示压力,但这种结构尺寸大、质量轻,不能提供电学输出。随着半导体技术的发展,半导体压力传感器也应运而生
2020-03-26 07:21:49

高温熔体压力传感器的工作原理是什么?

熔体压力传感器主要用于高温条件下熔融物质的压力测量与控制。熔体压力传感器广泛应用于化纤塑料、纺丝、聚酯、橡塑机械等设备的高温流体介质的压力测量与控制。
2020-03-17 09:02:10

高灵敏压力传感器的过载能力怎么提高?

采用微机电系统( MEMS) 牺牲层技术制作的压力传感器具有芯片尺寸小,灵敏度高的优势,但同时也带来了提高过载能力的难题。为此,本文利用有限元法,对牺牲层结构压阻压力传感器弹性膜片的应力分布进行了
2020-03-17 06:00:11

高精度TE压力传感器/位置传感器/湿度传感器

一系列从感应元件到系统封装的压力传感器。为用户提供领先的标准化及定制化压力传感器产品,从板装压力元件到带有放大输出并完整封装的压力变送器。基于硅压阻微机械加工(MEMS)技术和硅应变计
2020-07-07 16:31:22

高频压力传感器的应用领域及特点

本帖最后由 上海铭控 于 2019-12-23 10:32 编辑 压力传感器是是一种比较常用的力传感器,广泛应用于军工工程、化爆实验、液压动力机械、汽车工业、工程机械、力学测试、内燃机及发动机
2019-12-20 17:18:25

微电子机械系统技术及其应用

微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料。该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械加工和复合微机械加工四类。所采用的基础
2009-06-22 10:13:5120

敏芯微电子推出MEMS压力传感器芯片

敏芯微电子推出MEMS压力传感器芯片   继推出硅基MEMS麦克风芯片后,苏州敏芯微电子技术有限公司日前又推出了1.4mm×1.4mm×0.7mm外形
2009-11-21 09:42:17840

什么是3D MEMS?三维微电子机械系统

MEMS是一种把微型机械组件(如传感器、制动器等)与电子电路集成在同一颗芯片上的半导体技术。三维微电子机械系统(3D-MEMS),是将硅加工成三维结构,其封装和触点便于安装和装配
2012-12-11 11:35:492504

微电子机械系统相关知识详述及其应用介绍

与自动控制等多个学科。MEMS是涌过半导体微细加工技术及微机械加工技术在硅等半导体基板上制作的一种微型电子机械装置。微机械可以分为几个等级:特征尺寸在Imm一1。二 的为小型机械,Ipm一Imtn的为微型机构,1。一1lxm的为纳米机械。当前,MEMS正向多功能化方向发展,即集微型机械、微型传感
2017-11-18 10:31:5114

MEMS压力传感器的工作原理及特点解析

MEMS压力传感器(Micro Electromechanical System,即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。
2020-01-28 16:03:004990

压力传感器是什么,该如何选择压力传感器

选择压力传感器首先要确定测的是什么压力压力传感器分为测机械压力和气压(液压),机械压力单位通常为N、KN、KGf等,气压液压单位通常为KPa、MPa、PSI等。本文讲述的是机械压力的选择
2020-07-21 10:38:143571

硅岛式微谐振压力传感器灵敏度分析与仿真

谐振压力传感器尺寸小、重量轻、精度高并具有数字输出, 在航空航天等领域有着广阔的应用前景。然而由于微机械加工工艺的限制, 复杂结构的制作存在很多困难, 因而为实现高灵敏度压力测量, 微谐振
2021-03-18 16:20:0016

探究压力传感器在未来的发展趋势简述

传感器技术是现代测量和自动化系统的重要技术之一,随着硅、微加工技术、超大规模集成电路技术、材料制备和特性研究的发展,将压力传感器应用于光纤传感器、高温硅压阻和压电结传感器的大规模生产成为可能,压力传感器在生物医学、微机械等领域具有广阔的应用前景。
2021-04-24 11:23:112408

电磁压力传感器的分类

电磁压力传感器是一种具有电磁场特性的传感器,它由电感压力传感器、霍尔压力传感器和电涡流压力传感器组成。
2022-09-21 11:10:401908

压力传感器的分类 各种压力传感器的原理

压力传感器的种类繁多,如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器谐振压力传感器等。
2023-01-16 10:11:134174

已全部加载完成