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MEMS陀螺仪可否取代光纤陀螺仪技术

2018年02月24日 17:24 次阅读

光纤陀螺仪(FOG)以前曾经是环形激光陀螺仪(RLG)等其他技术的低成本替代品,现在该技术面临着新的竞争。微机电系统(MEMS)陀螺仪开始抢夺传统FOG应用的市场份额。具体来说,天线阵列稳定、农业机械控制、常规车辆导航成为MEMS和FOG对峙的战场。

为了确定用于导航应用的这两种技术之间的相似点,我们将对选定的高端MEMS陀螺仪与低端FOG陀螺仪进行比较。我们在分析中使用了导航软件和测试案例作为控制,以确定MEMS是否真正为在战术导航性能水平上使用做好了准备。

MEMS用于精确导航

过去几年中,MEMS在导航行业日益受到青睐,因为它提供了经过改进的误差特性和环境稳定性,以及更多的带宽和更出色的g灵敏度,而且嵌入式运算能力的应用日益广泛,可以运行高级融合和传感器误差建模算法。

新的精密惯性导航系统(INS)市场正在形成气候,MEMS技术也在进入以往被FOG技术主导的市场。从FOG到MEMS技术的一个明显转变是天线阵列稳定应用。

机器控制应用也可以得益于MEMS技术的进步。以前,用户偏好价格30,000美元以上的FOG或RLG导航系统,因为其精确度和可靠性比具有代表性的1,000美元MEMS导航系统高出20倍。低成本MEMS导航系统的改进使很多应用极大受益,精密农业和UGV/UAV/USV便是其中两个典型的例子。

实时导航硬件

本例中使用的导航系统的设计目的是为电机提供高速率的高度输出,然后该电机再让车辆顶棚上的天线阵列达到稳定。天线阵列的用途是维持与地球同步卫星之间的通信。

该导航系统用作束带式INS/GNSS导航器,提供高速率的位置和速度数据。惯性测量单元(IMU)数据以1,000 Hz频率流向导航滤波器,这些数据包用于预测位置、速度和高度解决方案。从双天线获取的GNSS位置、速度和航向用作对导航滤波器的更新。当GNSS不可用时,则使用磁力计来帮助初始化航向。使用气压计来帮助确定高度。

特殊校准程序与导航滤波器并行发生。这些程序校准磁力计、双天线安装对准误差、IMU安装对准误差,还校准车辆振动水平以便进行静态期检测。

该系统可在两种硬件配置中工作。第一种配置包括两个FOG(检测航向角和俯仰角)、一个MEMS陀螺仪(检测横滚)、三轴MEMS加速度计、三轴MEMS磁力计、MEMS气压计,传感器硬件的总物料成本(BOM)为大约8,000美元(小批量售价)。

第二种配置包含三个MEMS陀螺仪(用于检测所有方位角),以及与前一种配置相同的三轴MEMS加速度计、三轴MEMS磁力计和MEMS气压计,总成本为大约1,000美元(小批量售价)。这些系统的价格可能随着市场条件和售量而波动,但通常而言,FOG的价格比MEMS高出八至十倍。

为此设计选择的MEMS陀螺仪和加速度计具有在同一价位中非常出色的偏置稳定度、正交性、g灵敏度和带宽。这种系统的主要限制是带宽要求高。很多MEMS加速度计提供高带宽,但MEMS陀螺仪通常仅有100 Hz或更低的带宽。

对于普通车辆导航,这一点还不会产生影响,但此系统是针对需要适应高速率控制的应用设计的。此外还有几种MEMS陀螺仪提供良好的偏置稳定度,但带宽降低或噪声很高。为本系统选择的MEMS陀螺仪在带宽和性能之间达到了平衡。表1给出了所选MEMS的实际规格。

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惯性MEMS的采用率处于上升态势。因此,人们为发展该技术进行了大量投资。

本系统中使用的MEMS陀螺仪采用多核架构,该架构在稳定度、噪声、线性度和线性g性能之间达到了优化平衡。完全差分四谐振器与片内高性能信号调理密切配合,从而使得谐振器的必需响应范围最小,位于高度线性区,并且提供高度的振动抑制。

由于MEMS陀螺仪和加速度计集成到多轴IMU中(请参见图1),传感器的x/y/z正交性可能成为主要误差源。主要误差源往往由跨轴灵敏度或对准误差指定。常见规格是±2%跨轴灵敏度。本系统的IMU具有0.087%的跨轴灵敏度(0.05°度正交性)。更重要的是,由于器件特定的校准在出厂前完成,此规格在温度范围内有效。

对于特定旋转速率,例如在偏航轴上,正交轴的速率输出等于跨轴轴灵敏度乘以偏航率(Cross Axis SensiTIvity*Yaw Rate),即使横滚轴和俯仰轴上的实际旋转为零。2%的跨轴误差通常会导致除了本有的陀螺仪噪声之外,还会增加一个数量级的轴外噪声;而此处IMU的0.087%灵敏度与本有的陀螺仪噪声水平达到精确平衡。

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图1:MEMS IMU配置(ADIS16485)

可用带宽及其跨轴相位匹配能力的关系对于多轴设计也至关重要。有些陀螺仪结构带宽有限,与降低总噪有关,而有些结构带宽有限(通常低于100 Hz)是由于反馈电子器件中使用的传感器处理导致的。

这可能导致通过传感器信号路径的相位相关误差波动增加,特别是在卡尔曼滤波器中。MEMS IMU的可用带宽为330 Hz,采用嵌入式的可调滤波系统,提供合理平衡的方法,最大程度地减少总误差源,并通过嵌入式滤波实现系统特定的误差优化,即便在场中也是如此。

在此MEMS IMU中使用的核心传感器具有固有的振动抑制能力和线性度,不仅使得它们的性能适合高动态应用,而且还在极端环境条件下具有稳定性和可预测性。

本设计使用的FOG是综合权衡价格、性能和大小这几种因素选择的。FOG的带宽、偏置稳定度和噪声水平是最终选择传感器的决定性因素。表2给出了重要的性能参数。与MEMS相比,FOG具有更好的零偏稳定度,角度随机游动也有了显著改进。

表2:FOG规格(uFors-6U)

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所有更新都用于纠正独立INS解决方案的漂移,但更新本身也可能中断或不准确。

双天线航向更新具有良好的精确度,但易受多路径影响。因此,双天线航向更新仅在开放天空环境中是可靠的。对于来自GNSS接收器的位置和速度预测,情况同样如此,也从SBAS受益。

来自磁力计的航向预测可能由于在校准期间的垂直可观察性不佳,而受到较大倾斜角的影响。磁力计在含铁物质周围也可能不精确,例如在其他车辆旁边行驶时。因此,磁力计用于在GNSS不可用时帮助初始化系统,或在GNSS长时间中断时(例如20分钟)帮助减小航向漂移。

气压计用于在GNSS不可用或不精确时帮助获取高度读数。速度更新用于在没有GNSS更新的情况下防止速度漂移,特别是在沿航迹方向。这些速度更新也可帮助减少解决方案的位置不确定性,这有助于抑制不准确的GNSS位置更新。整个导航软件的设计目的是在任何GNSS条件下提供精确结果。

导航测试

为了正确比较两个系统,我们设计了三个系统级导航基准测试:

* 在具有良好GNSS信号的开放天空环境下评估横滚、俯仰和航向的精确性。

* GNSS多路径场景,例如在城市中心区,由于存在高层建筑,GNSS解决方案质量可能不好。本测试的目的是比较滤波位置性能,它也会显示高度和速度误差。

* 独立INS性能测试,旨在评估INS位置漂移,也代表速度和高度性能。

开放天空高度结果

在GPS可用且位于多个卫星的直射范围内的情况下,两个系统的定位和速度结果是相似的。高度角(横滚、俯仰和航向)是我们比较的主要导航参数,因为它们在很大程度上是由陀螺仪性能决定的。

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当GNSS可用时,两种系统的高度性能几乎是相同的,但FOG具有大约5%的优势。

不良信号GNSS定位结果

下一个测试的目标是在存在GNSS多路径的情况下比较两个系统。行驶轨迹位于卡尔加里市的中心城区,包括一些很窄的小巷,车行缓慢,同时周围布满高层建筑。

现在,性能测试重点包括了定位结果,因为在缺少高质量GNSS测量的情况下,陀螺仪可能对位置性能产生很大影响。此测试结果显示两个系统的性能相当。但是,FOG系统高出大约20%至30%。

图2显示了独立GPS解决方案的示意图。在对复杂的中心城区行驶轨迹进行导航时,本测试使用的高精度GPS接收器遇到了严重的信号反射。独立GPS解决方案的误差多达100米。

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图2:此图显示有多路径干扰的独立GPS解决方案结果

红色的FOG集成解决方案(图3)清晰显示中心城区车辆的行驶路径,精确到10米以内。

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图3:FOG/GPS集成解决方案(FOG+GPS红色,独立GPS蓝色)

MEMS解决方案在图4中以绿色显示,始终在15米之内。该解决方案更易受到不精确GNSS位置更新的影响,因为INS预测的权重较低。

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图4:MEMS/GPS集成解决方案(MEMS + GPS绿色,独立GPS蓝色)

为帮助MEMS解决方案克服不精确的GPS更新,我们使用了额外的传感器。图5显示将OBDII添加到系统以获取车辆速度。

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图5:MEMS/GPS/OBDII集成解决方案(MEMS+GPS+OBDII绿色,独立GPS蓝色)

MEMS解决方案始终在10米之内,甚至可能稍优于没有OBDII的FOG,如图6中的放大图所示。

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图6:带有OBDII的MEMS(绿色)与没有OBDII的FOG(红色)比较。独立GPS为蓝色。

独立INS结果:示例和基准

两个系统之间的最后一项比较是独立INS导航测试。系统使用开放天空GNSS更新进行融合。然后断开两个系统的天线连接,持续4.5分钟,位置漂移用作性能指标。在此时间内行驶的距离约为5,500米。

图7显示了整个轨迹。蓝色直线从右下方延伸至左上方,在右下方GPS断开连接,在左上方GPS重新连接。

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图7:独立INS测试路径

在这次GNSS中断期间,FOG系统的运行情况很好,最大漂移为7米,如图8所示。5分钟之后,FOG系统的典型漂移性能基准测试结果为25米,因此这次特殊中断的情况略好于典型性能。

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图8:独立FOG漂移

在没有GNSS更新的情况下,MEMS系统在4.5分钟之后的漂移为75米。此类漂移大多为沿航迹误差,主要是由于加速计导致的。MEMS系统的基准测试结果是在没有GNSS更新的情况下,5分钟后的典型漂移为75米,比FOG漂移大三倍左右。

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图9:独立MEMS漂移

为MEMS系统添加OBDII更新之后,漂移改进至小于10米,与FOG解决方案相当。在没有GNSS更新的情况下,带有OBDII的MEMS系统的典型基准性能在5分钟之后产生大约30米的位置漂移,也与FOG基准结果相当。

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图10:带有OBDII的MEMS系统的漂移

结束语

FOG和MEMS两者相比非常接近,特别是现在MEMS的性能正在接近FOG战术级性能水平。FOG仍然在性能上具有优势,但其成本却比MEMS高出10倍。如果可以使用GNSS,而且应用的目的是在开放天空环境中运行,则MEMS可以取代一些低端FOG。如果应用的目的是在信号不良的GNSS环境中使用,MEMS也可以取代一些FOG 系统,但性能要低20%至30%。

在独立INS性能方面,FOG仍然具有优势,但如果应用能够接收车辆或平台速度更新,则MEMS系统可以达到与独立FOG系统相同的水平。随着MEMS技术的持续进步,以及其他传感器(例如OBDII)的辅助,MEMS取代FOG技术可能在不久的将来实现。

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发表于 2018-02-07 16:56 162次阅读
MEMS晶圆级测试系统详解

MEMS的含义、构成、优势、市场规模预测、产业链...

MEMS,(Micro-Electro Mechanical Systems),也称为微电子机械系统...

发表于 2018-02-07 14:43 732次阅读
MEMS的含义、构成、优势、市场规模预测、产业链...

2018年传感器行业最新动态汇总 巨头动作频频

作为LG旗下的电子产品零部件制造商,LGInnotek生产的3D传感器模组能使移动设备获得更好的捕获...

发表于 2018-02-07 04:06 1529次阅读
2018年传感器行业最新动态汇总 巨头动作频频

MEMS技术是实现室内定位的关键

如今,定位技术的应用非常广泛,通过GPS实现的室外定位已经不能满足人们的需求,室内定位也成为人们工作...

发表于 2018-02-06 18:59 228次阅读
MEMS技术是实现室内定位的关键

2018中国MEMS产业发展及投资

本文主要讲述了MEMS产业发展现状及未来趋势,投资方向等内容的研究。

发表于 2018-02-06 18:51 303次阅读
2018中国MEMS产业发展及投资

AEM宣布收购MEMS测试解决方案供应商Afor...

未来MEMS测试市场前景将呈现一片光明的景象。据报道AEM宣布收购Afore,随着MEMS技术应用越...

发表于 2018-02-06 15:13 209次阅读
AEM宣布收购MEMS测试解决方案供应商Afor...

量子传感器的概念与现状、性能分析以及市场应用

子理论的创立是 20 世纪最辉煌的成就之一 ,它揭示了微观领域物质的结构 、性质和运动规律,把人们的...

发表于 2018-02-06 14:41 1151次阅读
量子传感器的概念与现状、性能分析以及市场应用

日本开发一种监测系统 通过MEMS传感器和无线技...

该建筑物结构监测系统通过新开发的高精度MEMS传感器,并结合920MHz频段的无线技术,可以实现长期...

发表于 2018-02-06 12:40 1052次阅读
日本开发一种监测系统 通过MEMS传感器和无线技...

基于MEMS的车载激光投影仪设计

汽车内的显示和信息系统非常丰富,层出不穷地包围着我们,有些信息非常重要,有些则是为了舒适性或娱乐,有...

发表于 2018-02-05 16:40 213次阅读
基于MEMS的车载激光投影仪设计

现代科学发展的进步,让传感器的研发应用呈现多样化...

随着现代科学发展,传感技术作为一种与现代科学密切相关的新兴学科得到迅速的发展,并在工业自动化测量和检...

发表于 2018-02-05 14:16 1030次阅读
现代科学发展的进步,让传感器的研发应用呈现多样化...

基于伯努利原理的速度监测芯片可监控天然气运输管道...

该MEMS传感芯片基于伯努利原理而直接读取运动物体速度,既是对现有加速度计和陀螺仪传感器的有力补充,...

发表于 2018-02-05 13:19 670次阅读
基于伯努利原理的速度监测芯片可监控天然气运输管道...

AEM收购Afore,通过此次并购,AEM进一步...

AEM收购芬兰MEMS测试解决方案领先供应商Afore。通过此次并购,AEM的全球解决方案供应能力,...

发表于 2018-02-05 12:34 1231次阅读
AEM收购Afore,通过此次并购,AEM进一步...

选择了合适的传感器,才能更好地解决机器人的移动

总而言之,机器人走直线或者像上图一样扭腰,看起来像是一个很简单的事情,但是影响因素有很多,每一步的实...

发表于 2018-02-03 12:26 946次阅读
选择了合适的传感器,才能更好地解决机器人的移动

SiTime推出MEMS参考时钟支持新物联网应用...

SiTime市场部执行副总裁Piyush Sevalia指出:“SiTime独到的时序产品致力于为最...

发表于 2018-02-02 14:04 683次阅读
SiTime推出MEMS参考时钟支持新物联网应用...

SiTime推出新型振荡器 进一步向无人驾驶汽车...

MEMS振荡器领域的行业龙头企业SiTime Corporation宣布面向高级驾驶辅助系统(ADA...

发表于 2018-02-01 14:05 951次阅读
SiTime推出新型振荡器 进一步向无人驾驶汽车...

超小型MEMS原子钟诞生,用于智能手机、传感器网...

据报道,日本国家信息与通信研究院(NICT)与东北大学和东京工业大学展开合作,并成立压电材料相关研究...

发表于 2018-02-01 11:53 1216次阅读
超小型MEMS原子钟诞生,用于智能手机、传感器网...

日立新型MEMS加速度计比商用MEMS加速度计灵...

日立通过在MEMS质量块上制作贯通孔来降低空气阻力,并且贯通孔的直径在上层和下层之间是变化的。上层为...

发表于 2018-01-29 16:04 693次阅读
日立新型MEMS加速度计比商用MEMS加速度计灵...

TU Wien开发一款硅基MEMS电场测量传感器...

MEMS电场传感器的测量原理“目前用于测量电场强度的设备具有一些显著的缺陷,” TU Wien传感器...

发表于 2018-01-29 10:56 653次阅读
TU Wien开发一款硅基MEMS电场测量传感器...

华灿光电收购美新半导体过会 国内首个MEMS领域...

华灿光电重组方案经并购重组委审核获得有条件通过,该公司从今日起复牌。2016年10月,华灿光电披露拟...

发表于 2018-01-26 09:09 232次阅读
华灿光电收购美新半导体过会 国内首个MEMS领域...

基于MEMS工艺实现简易快速地制备不同的微阵列结...

当前以MEMS为基础的细胞微阵列芯片受到科研人员广泛重视。通过微加工技术在基底上构建微尺度的图形结构...

发表于 2018-01-25 12:28 653次阅读
基于MEMS工艺实现简易快速地制备不同的微阵列结...

MEMS产业向多传感器集成方向前进状况简析

智能时代,传感器作为感知特定环境的基石正变得越来越重要。当人们被各种各样的智能产品所包围的时候,无论...

发表于 2018-01-25 08:57 4245次阅读
MEMS产业向多传感器集成方向前进状况简析

哈佛大学推出MEMS微型机器人 可在拾取、包装甚...

哈佛大学过去开发的机器人Delta手臂通常用在组装生产线,其速度和灵巧度决定了工作空间需要足够大,如...

发表于 2018-01-22 11:45 1190次阅读
哈佛大学推出MEMS微型机器人 可在拾取、包装甚...

2018年无人驾驶汽车传感器创新技术展望(毫米波...

MEMS让无人驾驶汽车看到路面、阅读交通标志、检测物体、分类、感知速度/轨迹和其他车辆,随着自动驾驶...

发表于 2018-01-20 17:13 2607次阅读
2018年无人驾驶汽车传感器创新技术展望(毫米波...

意法半导体谈MEMS的发展 非常看好汽车和工业

在MEMS传感器的新闻发布会,ST谈论了MEMS的发展现状,ST做了20年的MEMS 传感器,优势是...

发表于 2018-01-19 16:14 348次阅读
意法半导体谈MEMS的发展 非常看好汽车和工业

我国工业传感面临的挑战和工业常用传感器分析

传感器技术发展迅速,探测精度提高、制作成本降低、芯片体积减小,应用非常广泛。传感器技术甚至已成我国工...

发表于 2018-01-19 09:47 290次阅读
我国工业传感面临的挑战和工业常用传感器分析

ADI:将异构制造的话题作为产业未来发展趋势的一...

ADI公司总裁兼首席执行官Vincent Roche在对2018年的技术趋势展望一文《这些创新将影响...

发表于 2018-01-18 11:29 1032次阅读
ADI:将异构制造的话题作为产业未来发展趋势的一...

意法半导体产品:消费应用将成首要市场,亟待突破成...

从2007年到2012年,MEMS市场的年复合增长率将达到14%。为了满足市场需求,MEMS企业和F...

发表于 2018-01-18 11:29 144次阅读
意法半导体产品:消费应用将成首要市场,亟待突破成...

陀螺仪在火箭上怎么运用?原来它的原理是这么神奇

陀螺仪在很多地方都可以看得到。手机、工控装备等,随着物联网技术的发展,它的应用只会越来越多。陀螺仪是...

发表于 2018-01-17 16:06 2141次阅读
陀螺仪在火箭上怎么运用?原来它的原理是这么神奇

MEMS光开关控制原理解析

MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems,微机电系统)是指将微型机...

发表于 2018-01-17 09:51 244次阅读
MEMS光开关控制原理解析

基于GTI的1x3波长复用/解复用器的系统级性能...

波分复用器和解复用器几乎是所有WDM系统和网络的主要组成部分。从传统意义上讲,多路复用/解复用器(d...

发表于 2018-01-17 09:48 134次阅读
基于GTI的1x3波长复用/解复用器的系统级性能...

ADI新产品为添新功能,应用MEMS陀螺仪和加速...

在ADI公司的一间会议室中,Howard Wisniowski用一只手拿起比纪念邮票稍大一点的演示板...

发表于 2018-01-17 09:47 226次阅读
ADI新产品为添新功能,应用MEMS陀螺仪和加速...

各种创新消费类产品的MEMS传感器应用设计

MEMS即微机电系统,是利用微米级立体结构实现感应和执行功能的一项关键技术。其中,微米级立体结构是利...

发表于 2018-01-17 09:46 163次阅读
各种创新消费类产品的MEMS传感器应用设计

美新半导体:三合一MEMS芯片实现更高性价比

美新半导体在世界上首次将传感器、模拟信号以及数字信号处理三者整合在一块芯片上,可以测量X,Y两个独立...

发表于 2018-01-17 09:42 213次阅读
美新半导体:三合一MEMS芯片实现更高性价比

基于MEMS技术的加速度传感器分析与应用

MEMS技术正在逐步走向民用和消费类市场,我们正处于“MEMS狂潮”的开端,ST将以其完善的生产基础...

发表于 2018-01-17 07:28 316次阅读
基于MEMS技术的加速度传感器分析与应用

基于MEMS技术的芯片ADXL202 的应用设计...

本文阐述了一种基于MEMS 技术的芯片ADXL202 的应用设计与集成。介绍了ADXL202 的测试...

发表于 2018-01-17 07:19 163次阅读
基于MEMS技术的芯片ADXL202 的应用设计...

基于新型三明治结构的MEMS微波功率传感器结构设...

本文提出了一种新型的三明治结构MEMS微波功率传感器结构,与传统传感器相比,新结构由于采用了垂直传热...

发表于 2018-01-17 05:31 198次阅读
基于新型三明治结构的MEMS微波功率传感器结构设...

BOSCH 传感 加速度 + 陀螺仪

发表于 2017-09-04 09:58 302次阅读
BOSCH 传感 加速度 + 陀螺仪

MEMS振动监控:从加速度到速度

发表于 2017-08-16 09:06 1058次阅读
MEMS振动监控:从加速度到速度

光纤陀螺仪的应用和优缺点

发表于 2017-08-14 17:04 515次阅读
光纤陀螺仪的应用和优缺点

光纤陀螺仪的应用和优缺点

发表于 2017-08-14 17:04 515次阅读
光纤陀螺仪的应用和优缺点

利用MEMS陀螺仪实现低噪声反馈控制设计

发表于 2017-08-12 15:38 944次阅读
利用MEMS陀螺仪实现低噪声反馈控制设计

北寻INS-J4光纤惯性导航系统

发表于 2017-08-09 16:00 321次阅读
北寻INS-J4光纤惯性导航系统

北寻INS-J4光纤惯性导航系统

发表于 2017-08-09 16:00 321次阅读
北寻INS-J4光纤惯性导航系统

北寻INS-J3光纤惯性导航系统

发表于 2017-08-09 15:58 345次阅读
北寻INS-J3光纤惯性导航系统

北寻INS-J3光纤惯性导航系统

发表于 2017-08-09 15:58 345次阅读
北寻INS-J3光纤惯性导航系统

北寻INS-J2光纤惯性导航系统

发表于 2017-08-09 15:57 351次阅读
北寻INS-J2光纤惯性导航系统