电子发烧友网 > MEMS/传感技术 > 正文

基于MEMS工艺的亚毫米波集成喇叭天线

2018年02月11日 11:52 次阅读

在亚毫米波频段,相比较于微波毫米波频段,由于频率更高、波长更短,因而相应的器件尺寸更小。而天线作为尺寸和波长大小密切相关的器件,在亚毫米波频段的设计具有很大挑战。一方面,运用新材料、新工艺加工微小尺寸并能满足亚毫米波公差要求的天线;另一方面,根据亚毫米波系统的特点,研究平面集成天线,将天线和检波器、混频器等器件运用集成天路的工艺加工集成在一起,避免分立结构带来的连接问题。

MEMS技术是在20世纪90年代逐步形成的,具有高性能、高效率、低成本、高可靠性等诸多优点。MEMS 技术在微波、毫米波已经有了广泛的应用,由于其对中等尺度(mesoscale)(1μm~1mm)模型加工具有特殊的优越性,因此对THz波段使用的微小器件的制造具有明显的优势。

对于亚毫米波频段的平面集成天线而言,基片介质是需要考虑的重要因素。基片介质上的平面天线趋于将大部分能量辐射进介质中,而不是另一侧的自由空间。解决这个问题通常有两种方法,一是在基片介质一侧集成与相同介电常数的透镜;二是采用很薄的基片介质。前一种方法需要很高的透镜加工工艺,介质透镜中的吸收和反射损耗不可避免,且1/4λ匹配层技术尚有待提高。后一种方法减小了基片介质的影响,天线可近似于在自由空间中,但薄基片的支撑弱,需要在结构上加以改进。

1990年,Rebeiz等人设计了集成的喇叭天线,他们将平面天线加工在μm量级厚的介质膜片上,膜片内置于运用MEMS湿法腐蚀而成的硅棱锥喇叭腔。该方法很好的解决了薄膜的支撑问题且增强了天线的辐射,但由于硅晶片厚度的限制(通常不超过800μm),集成喇叭的口径受到严格限制,为了增强辐射,他们将机械加工的喇叭口和集成喇叭天线结合在一起,形成“准集成”喇叭天线,以增强辐射特性。“准集成”的方案在频率较低的亚毫米波频段可行,到了900GHz左右,会给机械加工带来极大的困难。

本文提出了一种基于MEMS工艺的新型喇叭结构,设计适合于亚毫米波高频段的集成天线。

2 工艺

本文中采用的MEMS工艺的主要材料是单晶硅,它具有特殊的晶面结构。所采用的MEMS加工工艺有干法刻蚀,也即深反应离子刻蚀(deep reacTIve ion etching, DRIE)和湿法KOH腐蚀(wet KOH etching),两种工艺中,单晶Si都是重要的材料,其具有多方面的良好特性,以少量掺杂物显著地改变半导体的性质,由机械化学抛光可获得nm级的表面粗糙度,弹性和刚性系数良好,以及各向异性蚀刻和劈开等良好特性。Si湿法各项异性刻蚀下,V形槽可以在(100)基片上制作,其(100)面与(111)面形成54.7°的角,垂直侧面的槽可以在(110)基片上制作,其尺寸容限可达到1.0μm。

干法刻蚀可以加工的复杂形状的图形,但同一版的深度是一样的,且不能太深,无法在纵向做出较复杂的结构。湿法腐蚀可以利用单晶硅的晶格方向纵向腐蚀出特定角度的结构,但需要掩膜形状简单。

3 结构

Rebeiz等人设计的集成喇叭天线制作工艺只运用了湿法腐蚀工艺加工,受硅晶体的特性所限,棱锥背腔的顶角70.6˚,前腔的部分高度受限于硅晶片的厚度,虽然可以通过多层晶片叠加以增加其高度,但喇叭张角局限于70.6˚,因而天线的辐射性能比较固定,尤其是天线的辐射方向图。尽管可以通过在前腔之前再集成机械加工的不同张角的喇叭结构加以改善,但在900GHz频段,波长仅有300多μm,机械加工的精度很难得到保证。

为此本文提出了一种新型的完全运用MEMS工艺加工制作的集成喇叭天线结构,如图所示。

图1 新型集成喇叭天线结构示意图

A部分是运用湿法腐蚀工艺在硅晶片上加工出的棱锥喇叭腔,其顶角的角度是70.6˚,腔体内部溅射上一层金层,使之金属化。B部分是运用光刻工艺在薄膜上制作的偶极子天线,C部分是综合运用干法刻蚀和湿法腐蚀两种工艺加工制作的八角形喇叭结构。加工工艺步骤如下:

步骤一:干法刻蚀,刻蚀深度t_dry,喇叭张角θ。为了和棱锥喇叭背腔结构集成,t_dry为背腔开口宽度a的1/2。

步骤二:KOH湿法腐蚀工,腐蚀深度t_wet,形成纵向角度ε。此步骤结束后形成了八角喇叭的一半。

步骤三:在喇叭内侧溅射上金层,使之金属化。再将两块同样的晶片键合在一起,用划片技术划去多余的部分,露出喇叭开口,形成集成喇叭的C部分,即八角形喇叭前腔。

最后将A部分棱锥喇叭背腔,B部分薄膜基片平面天线和C部分形喇叭前腔集成在一起,就形成了最终的集成喇叭结构。棱锥喇叭腔A上可以刻蚀出沟槽,留给与平面天线集成的传输线和电路结构使用。

上述结构完全运用MEMS工艺,极大地满足了加工精度的需求,并且该结构可以改变前腔部分的张角θ,湿法腐蚀深度t_wet。干法刻蚀深度t_dry等于棱锥喇叭背腔高度的一半。根据不同的应用需求选择合适的参数,以获得合理的方向图。

4 仿真

运用有限元法,对集成喇叭整体结构进行建模。模型中,平面集成天线选择偶极子天线结构,偶极子长度0.4λ,工作频率900GHz,其辐射方向图及驻波特性如下:

图2 900GHz偶极子天线的辐射方向图及驻波曲线

棱锥喇叭腔A高度ha,对集成喇叭天线的性能有很大影响,在固定B部分的参数θ、t_wet后,选取喇叭腔的高度分别0.4λ、0.7λ和0.9λ,得到天线辐射方向图如下:

当ha增大时,天线主瓣宽度增大,在达到0.8λ以后,出现明显裂瓣。

图3 不同背腔高度(0.4λ,0.7λ和0.9λ)下的辐射方向图

图4 不同背腔高度(0.4λ、0.5λ、0.7λ和0.9λ)下的VSWR

通过驻波曲线结果可以看出,随着ha的增大,驻波出现恶化。因此,综合天线的辐射特性和驻波特性,选择ha=0.4λ。喇叭背腔的高度ha对天线的辐射特性和匹配特性存在着重大的影响,其结构类似于夹角反射器。

选取ha=0.4λ,l=1.4mm,设定不同的干法刻蚀张角θ值,并选择合适的湿法腐蚀深度t_wet,使得喇叭口径形状旋转对称。当θ值分别选取20˚,30˚和40˚时,得到辐射方向图及结果如下:

图5 干法刻蚀张角θ=30˚

表1 不同干法刻蚀张角θ下的结果

θ (度)增益HPBW(E 面)HPBW(H 面)

20˚14.140˚34˚

30˚15.928˚28˚

40˚17.224˚26˚

图6 不同喇叭张角下(θ=20˚,θ=40˚,θ=60˚)

天线驻波曲线图

从上述方向图及结果可以看出,干法刻蚀喇叭张角的改变,影响了天线的辐射方向图。当喇叭张角θ增大时,天线的3dB波瓣宽度变窄,增益增大,这是由于在固定喇叭长度的条件下,张角θ越大,喇叭口径越大,因此波瓣更窄且增益更大。这与传统的喇叭天线理论一致。天线的驻波曲线并没有随着喇叭张角的改变有很大改变,这表明影响天线匹配性的主要因素是背腔的高度。在实际应用中,可以通过控制喇叭开口的张角θ,设计出满足应用需求的集成喇叭天线。仿真中,我们选择的湿法腐蚀深度t_wet使得喇叭口径的高度和宽度基本一致,在实际应用中,t_wet的选择应根据E面方向图的要求进行选择,极限情况是不进行湿法腐蚀,而只进行干法刻蚀。湿法腐蚀的深度t_wet受到硅晶片厚度的限制。

在上面三个不同θ角度的方向图中,当θ=30˚时,E面和H面主瓣基本对称,固定θ值,改变八角形喇叭前腔长度l。

表2 不同前腔长度l下的结果

l (mm)增益HPBW(E 面)HPBW(H 面)

1.415.928˚28˚

2˚18.622˚22˚

2.5˚2018˚18˚

从结果可以看出,当固定θ值,改变l值,尽管天线的长度改变,E面和H面方向图的主瓣宽度仍然保持基本一致。随着l值的增大,天线增益增加,主瓣变窄。

5 结论

通过上文对集成喇叭天线在900GHz频段的有限元法分析,可以看出,我们提出的基于MEMS工艺的新型八角形前腔集成喇叭天线,能够很好的改善平面集成天线的辐射特性。喇叭天线的可控参数包括背腔高度ha、喇叭前腔张角θ、喇叭前腔长度l、喇叭前腔干法刻蚀深度t_dry以及喇叭前腔湿法腐蚀深度t_wet,通过综合优化这些参数,我们可以设计出符合设计应用的集成喇叭天线。平面集成天线的形式也不局限于采用偶极子天线,可以通过采用其他形式的平面集成天线来实现合适的带宽、极化等性能。进一步的研究中,可以将集成喇叭天线组成阵列。

技术专区

关注电子发烧友微信

有趣有料的资讯及技术干货

下载发烧友APP

打造属于您的人脉电子圈

关注发烧友课堂

锁定最新课程活动及技术直播
收藏 人收藏
分享:

评论

相关推荐

Preciseley携MEMS亮相OFC 201...

公司专注于光通讯MEMS芯片,同时在激光雷达(LiDAR),MEMS传感器等领域有很强的技术储备,拥...

发表于 2018-04-03 15:55 338次阅读
Preciseley携MEMS亮相OFC 201...

单轴MEMS角速率陀螺及三轴MEMS角速率陀螺

单轴硅微MEMS角速率陀螺PA-ARG系列 1. 单轴硅微MEMS角速率陀螺PA-ARG 简介 : ...

发表于 2018-04-03 10:33 45次阅读
单轴MEMS角速率陀螺及三轴MEMS角速率陀螺

MEMS磁传感器主元件SEM电连接及设计

由于MEMS技术可以将传统的磁传感器小型化,因此基于MEMS的磁传感器具有体积小、性能高、成本低、功...

发表于 2018-04-03 08:42 455次阅读
MEMS磁传感器主元件SEM电连接及设计

生物MEMS公司“原位芯片”获数百万元融资

原位芯片凭将于2018年内发布国内首个MEMS液体流量传感器,并完成MEMS芯片式胰岛素泵和PoCT...

发表于 2018-04-02 16:33 430次阅读
生物MEMS公司“原位芯片”获数百万元融资

单片异质集成的发展现状

微系统的核心技术是集成,正在由平面集成向三维集成、由芯片级向集成度和复杂度更高的系统集成发展。

发表于 2018-04-02 16:22 319次阅读
单片异质集成的发展现状

MEMS技术的创新研究,前沿科技领域的融合

微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也称为微电...

发表于 2018-04-02 11:34 189次阅读
MEMS技术的创新研究,前沿科技领域的融合

探秘DARPA正在研发的毫米波数字阵列技术是什么

美国国防先进研究计划局正在组织设立新的“毫米波数字阵列”(MIDAS)项目,旨在发展工作在18GHz...

发表于 2018-04-02 11:23 113次阅读
探秘DARPA正在研发的毫米波数字阵列技术是什么

基于MEMS技术的风速和风向测量传感器设计

硅薄膜式测风传感器的设计示意图如图1所示。薄膜式风速风向传感器主要是利用风吹薄膜对薄膜产生风压,风压...

发表于 2018-04-02 09:02 50次阅读
基于MEMS技术的风速和风向测量传感器设计

MEMS开启划片技术新时代 湿式激光切割和干式激...

MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分,是在融合多种微细加工技术,...

发表于 2018-04-02 09:01 36次阅读
MEMS开启划片技术新时代 湿式激光切割和干式激...

单片集成MEMS-IC圆片级真空封装方应用设计

惯性MEMS三维集成TSV互连技术通过提供垂直贯穿惯性MEMS芯片或MEMS专用集成电路IC芯片的T...

发表于 2018-04-02 08:41 750次阅读
单片集成MEMS-IC圆片级真空封装方应用设计

半导体传感器18项国际标准获重大进展 MEMS标...

目前,在MEMS领域,我国牵头制定的IEC 62047-25:2016已经发布,牵头制定的三项MEM...

发表于 2018-04-01 09:51 91次阅读
半导体传感器18项国际标准获重大进展 MEMS标...

为何MEMS传感器越来越受到青睐?

以可穿戴市场为例,目前正在开发的传感器包括气体传感器和生物传感器,这些器件将会让穿戴产品变得更实用,...

发表于 2018-03-31 09:44 2109次阅读
为何MEMS传感器越来越受到青睐?

半导体传感器和MEMS标准化进展飞速

MEMS传感器是目前市场应用较为成熟的MEMS器件,其中MEMS惯性传感器、MEMS麦克风几乎已成为...

发表于 2018-03-31 09:24 248次阅读
半导体传感器和MEMS标准化进展飞速

有浅入深的介绍BLE与MEMS中的开发板设计

当BLE遇到MEMS,就如同天使有了翅膀。本期从有浅入深的介绍BLE与MEMS的那些事,就从ST的S...

发表于 2018-03-31 08:44 890次阅读
有浅入深的介绍BLE与MEMS中的开发板设计

MEMS硅膜电容式压力传感器的基本原理和结构设计

目前敏感薄膜的材料多采用重掺杂p型硅、Si3N4、单晶硅等。这几种材料都各有优缺点,其选择与目标要求...

发表于 2018-03-30 16:04 101次阅读
MEMS硅膜电容式压力传感器的基本原理和结构设计

ADXL355加速度计能否同时提供最低噪声和最低...

当传感器未在使用时,如果应用对传感器周期供电以节省电能,噪声与功耗的关系会大不相同。这种差异来源于建...

发表于 2018-03-29 15:33 42次阅读
ADXL355加速度计能否同时提供最低噪声和最低...

加速度计内嵌压力传感器的单硅片复合传感器

本发明提供了一种加速度计内嵌压力传感器的单硅片复合传感器结构及方法,以解决传统复合传感器芯片结构尺寸...

发表于 2018-03-23 10:20 426次阅读
加速度计内嵌压力传感器的单硅片复合传感器

MSIG国际物联网论坛:新兴应用带来MEMS第三...

由智能手机带动的MEMS产业第二波发展潮已经进入尾声。 3月16日举行的MSIG国际物联网论坛201...

发表于 2018-03-22 03:03 81次阅读
MSIG国际物联网论坛:新兴应用带来MEMS第三...

5G毫米波频谱划分 毫米波终端技术测试方案分析

随着移动通信的迅猛发展,低频段频谱资源的开发已经非常成熟,剩余的低频段频谱资源已经不能满足5G时代1...

发表于 2018-03-20 09:52 116次阅读
5G毫米波频谱划分 毫米波终端技术测试方案分析

基本平台稳定系统中MEMS IMU频率响应分析

无人飞行器安装的监控设备、海上微波接收机、车辆安装的红外成像系统传感器以及其他仪器系统都需要具有稳定...

发表于 2018-03-20 09:27 1231次阅读
 基本平台稳定系统中MEMS IMU频率响应分析

世健结合MEMS技术的红外光源和传感器的红外气体...

使用的红外光源EMIRS 50是通过紧凑的TO-46封装,它可以提供带保护帽或者带反射面,这些结构可...

发表于 2018-03-20 08:56 830次阅读
世健结合MEMS技术的红外光源和传感器的红外气体...

回收N5251A毫米波网络分析仪

发表于 2018-03-19 11:29 51次阅读
回收N5251A毫米波网络分析仪

8英寸MEMS国际代工线将在2019年下半年投产

耐威科技是长期从事惯性导航产品、卫星导航产品的研发、生产与销售,耐威科技建设投产了MEMS代工线项目...

发表于 2018-03-19 09:14 187次阅读
8英寸MEMS国际代工线将在2019年下半年投产

东大射频与光电集成电路研究所王志功团队MEMS重...

日前,东南大学射频与光电集成电路研究所(射光所)王志功教授团队的王科平副研究员在集成电路与微机电系统...

发表于 2018-03-18 10:48 181次阅读
东大射频与光电集成电路研究所王志功团队MEMS重...

不止手机,可穿戴、AR/VR、物联网正成为电子元...

在2018年慕尼黑上海电子展上,作为全球创新型MEMS传感器及致动器解决方案领先供应商的Bosch...

发表于 2018-03-18 10:31 1013次阅读
不止手机,可穿戴、AR/VR、物联网正成为电子元...

基于MEMS传感器的行人航位推算(PDR)解决方...

前言定位是感知应用的一个重要属性。在室内环境中,如果位置信息可用并非常可靠,有更多的应用场景可以实现...

发表于 2018-03-16 09:02 1982次阅读
基于MEMS传感器的行人航位推算(PDR)解决方...

基于MEMS传感器的行人航位推算解决方案

MEMS传感器和高性能的行人航位推算算法。本文主要讨论各种行人航位推算算法上需要用到的传感器组件的数...

发表于 2018-03-15 16:02 519次阅读
基于MEMS传感器的行人航位推算解决方案

苏州钽氪电子推出MEMS氢气传感器面向未来氢能源...

苏州钽氪电子近日宣布推出了一款MEMS氢气传感器,这款氢气传感器支持催化燃烧和热导两种工作模式,可实...

发表于 2018-03-15 15:55 3109次阅读
苏州钽氪电子推出MEMS氢气传感器面向未来氢能源...

毫米波带来哪些设计/测试改变?

,根据香农定律,要提高信道容量,就需要增加信道带宽,这也是业界开发毫米波频段的原因之一。另外到了毫米...

发表于 2018-03-13 09:38 129次阅读
毫米波带来哪些设计/测试改变?

毫米波的发展_毫米波通信优点及独特作用

第五代移动通信系统 (5th generation mobile networks,简称5G)离正式...

发表于 2018-03-12 18:39 118次阅读
毫米波的发展_毫米波通信优点及独特作用

从物联网角度去认识MEMS传感器

物联网是通过各种传感技术(RFID、传感器、GPS、摄像机、激光扫描器)、各种通讯手段(有线、无线...

发表于 2018-03-12 17:28 74次阅读
从物联网角度去认识MEMS传感器

MEMS会成为继IOT之后下一个热点

NB-IOT解决的是低功耗,低成本设备的连接问题,而低功耗,低成本设备的感知问题用什么解决?抓住三个...

发表于 2018-03-12 16:25 69次阅读
MEMS会成为继IOT之后下一个热点

MEMS麦克风的声音路径设计

狭窄的传声孔与空心腔室相连构成的结构在受到声波激励时会产生声学谐振。当我们对着空瓶的瓶嘴上方吹气时,...

发表于 2018-03-12 16:23 104次阅读
MEMS麦克风的声音路径设计

意法半导体为研发组织提供意法半导体THELMA ...

CMP是为集成电路(IC)和微机电系统(MEMS)设计公司提供芯片设计/开发和小批量制造服务的中介...

发表于 2018-03-12 16:06 114次阅读
意法半导体为研发组织提供意法半导体THELMA ...

24GHz毫米波雷达系统

发表于 2018-03-12 09:48 288次阅读
24GHz毫米波雷达系统

浅谈MEMS技术工艺的发展及未来

MEMS第一轮商业化浪潮始于20世纪70年代末80年代初,当时用大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片制作压力...

发表于 2018-03-12 01:24 90次阅读
浅谈MEMS技术工艺的发展及未来

汽车长距离和中距离感测高级视觉解决方案

从自适应巡航控制(ACC)等舒适性功能、紧急刹车等安全功能,到诸如行人探测和360度感测的最新型应用...

发表于 2018-03-09 09:04 2047次阅读
汽车长距离和中距离感测高级视觉解决方案

毫米波传感器将单芯片组建集成,简化硬件和软件设计

从定位和邻近度测量,到确定液面位置和光照强度,传感器解决方案为我们提供了一个感测、数字化表达和处理周...

发表于 2018-03-09 08:55 1717次阅读
毫米波传感器将单芯片组建集成,简化硬件和软件设计

RF MEMS国内外现状及发展趋势

基于MEMS(Micro-Electro-Mechanical System,微机电系统)技术的各类...

发表于 2018-03-07 11:22 5146次阅读
RF MEMS国内外现状及发展趋势

了解IMU带宽及其在系统稳定性中的应用

无人飞行器安装的监控设备、海上微波接收机、车辆安装的红外成像系统传感器以及其他仪器系统都需要具有稳定...

发表于 2018-03-06 08:26 4115次阅读
了解IMU带宽及其在系统稳定性中的应用

基本平台稳定系统中MEMS IMU频率响应分析

无人飞行器安装的监控设备、海上微波接收机、车辆安装的红外成像系统传感器以及其他仪器系统都需要具有稳定...

发表于 2018-03-01 09:11 2011次阅读
基本平台稳定系统中MEMS IMU频率响应分析

MIMO和波束成形,对5G网络为何一直都非常重要

对于2018年的5G网络来说,最重要的五大无线技术中的两个—多重输入多重输出(MIMO)和波束成形(...

发表于 2018-03-01 07:08 1693次阅读
MIMO和波束成形,对5G网络为何一直都非常重要

华为和TELUS完成北美首个5G CPE友好用户...

华为已使用5G CPE家用终端完成端到端无线宽带到户(WTTx)5G业务测试。测试在温哥华5G联合实...

发表于 2018-02-26 15:44 151次阅读
华为和TELUS完成北美首个5G CPE友好用户...

中国MEMS技术产业的重大机遇

我国MEMS产业发展也面临着重大机遇,特别是移动互联网和物联网的快速发展,将对MEMS产业产生深远的...

发表于 2018-02-26 15:10 153次阅读
中国MEMS技术产业的重大机遇

MEMS技术将引领新一代低成本导航选择

如果观看过索契冬奥会的户外赛事转播,您可能注意到,滑雪板和滑雪赛场上空盘旋着小巧如蜘蛛般的摄像飞行器...

发表于 2018-02-26 14:57 197次阅读
MEMS技术将引领新一代低成本导航选择

回收安捷伦N5251A毫米波网络分析仪

发表于 2018-02-26 10:55 70次阅读
回收安捷伦N5251A毫米波网络分析仪

MEMS陀螺仪可否取代光纤陀螺仪技术

光纤陀螺仪(FOG)以前曾经是环形激光陀螺仪(RLG)等其他技术的低成本替代品,现在该技术面临着新的...

发表于 2018-02-24 17:24 261次阅读
MEMS陀螺仪可否取代光纤陀螺仪技术

CES 2018将现全球首个MEMS扬声器

近日,横跨多重电子应用领域、全球领先的半导体供应商意法半导体(STMicroelectronics,...

发表于 2018-02-24 15:28 207次阅读
CES 2018将现全球首个MEMS扬声器

微流控技术的原理、制备以及应用

微流控(microfluidics)是一种精确控制和操控微尺度流体, 以在微纳米尺度空间中对流体进行...

发表于 2018-02-23 09:20 1890次阅读
微流控技术的原理、制备以及应用

MEMS惯性传感器的背景及发展现状

MEMS ( Micro-Electro-Mechanical System )是指集机械元素、微型...

发表于 2018-02-23 09:04 385次阅读
MEMS惯性传感器的背景及发展现状

MEMS制造需面向应用、建立平台

应用材料公司全球服务产品事业部200毫米半导体及动力辅助设备副总裁原铮博士:从全球来看,2014年到...

发表于 2018-02-11 11:43 177次阅读
MEMS制造需面向应用、建立平台

哈佛大学新款MEMS微型机器人MilliDelt...

据麦姆斯咨询报道,哈佛大学过去开发的机器人Delta手臂通常用在组装生产线,其速度和灵巧度决定了工作...

发表于 2018-02-11 11:38 231次阅读
哈佛大学新款MEMS微型机器人MilliDelt...

新创物联网MEMS静电开关方案

Menlo Microsystems宣布其MEMS开关在广泛的物联网(IoT)应用中取得了进展,除了...

发表于 2018-02-11 11:37 316次阅读
新创物联网MEMS静电开关方案

推动MEMS感测器应用将是物联网发展的迫切需求

不论是在家中、车上或工作场所,微机电(MEMS)应用已悄悄深入消费者生活。尽管不常受到注意,MEMS...

发表于 2018-02-08 20:14 231次阅读
推动MEMS感测器应用将是物联网发展的迫切需求

MEMS迈入后消费时代,多元化应用拓展新思路

意法半导体公司大中华区模拟、功率与微电机系统市场部经理吴卫东日前在接受本刊采访时表示:“随着规模效应...

发表于 2018-02-08 20:12 114次阅读
MEMS迈入后消费时代,多元化应用拓展新思路

利用MEMS扫描镜技术提高汽车安全性

Mic roVision 公司系统工程与先进应用部门总监Jari Honkanen,他向我介绍了Mi...

发表于 2018-02-08 20:10 247次阅读
利用MEMS扫描镜技术提高汽车安全性

详解ADI的MEMS开关技术

在过去的30年间,MEMS开关被一致认为是性能有限的机电式继电器的优越取代品。 透过易于使用、能够以...

发表于 2018-02-07 17:10 144次阅读
详解ADI的MEMS开关技术

智能穿戴产业的拓展依托MEMS技术的发展

有人说,下一波推动电子产业快速增长的机会是物联网,而物联网的市场发展将在很大程度上依赖于包括MEMS...

发表于 2018-02-07 17:06 125次阅读
智能穿戴产业的拓展依托MEMS技术的发展

MEMS晶圆级测试系统详解

我国MEMS晶圆级测试技术研究始于20世纪90年代初,经过20年的发展,初步形成了几个研究力量比较集...

发表于 2018-02-07 16:56 162次阅读
MEMS晶圆级测试系统详解

MEMS的含义、构成、优势、市场规模预测、产业链...

MEMS,(Micro-Electro Mechanical Systems),也称为微电子机械系统...

发表于 2018-02-07 14:43 732次阅读
MEMS的含义、构成、优势、市场规模预测、产业链...

2018年传感器行业最新动态汇总 巨头动作频频

作为LG旗下的电子产品零部件制造商,LGInnotek生产的3D传感器模组能使移动设备获得更好的捕获...

发表于 2018-02-07 04:06 1529次阅读
2018年传感器行业最新动态汇总 巨头动作频频

MEMS技术是实现室内定位的关键

如今,定位技术的应用非常广泛,通过GPS实现的室外定位已经不能满足人们的需求,室内定位也成为人们工作...

发表于 2018-02-06 18:59 228次阅读
MEMS技术是实现室内定位的关键

2018中国MEMS产业发展及投资

本文主要讲述了MEMS产业发展现状及未来趋势,投资方向等内容的研究。

发表于 2018-02-06 18:51 303次阅读
2018中国MEMS产业发展及投资

AEM宣布收购MEMS测试解决方案供应商Afor...

未来MEMS测试市场前景将呈现一片光明的景象。据报道AEM宣布收购Afore,随着MEMS技术应用越...

发表于 2018-02-06 15:13 209次阅读
AEM宣布收购MEMS测试解决方案供应商Afor...

量子传感器的概念与现状、性能分析以及市场应用

子理论的创立是 20 世纪最辉煌的成就之一 ,它揭示了微观领域物质的结构 、性质和运动规律,把人们的...

发表于 2018-02-06 14:41 1151次阅读
量子传感器的概念与现状、性能分析以及市场应用

日本开发一种监测系统 通过MEMS传感器和无线技...

该建筑物结构监测系统通过新开发的高精度MEMS传感器,并结合920MHz频段的无线技术,可以实现长期...

发表于 2018-02-06 12:40 1052次阅读
日本开发一种监测系统 通过MEMS传感器和无线技...

基于MEMS的车载激光投影仪设计

汽车内的显示和信息系统非常丰富,层出不穷地包围着我们,有些信息非常重要,有些则是为了舒适性或娱乐,有...

发表于 2018-02-05 16:40 213次阅读
基于MEMS的车载激光投影仪设计

现代科学发展的进步,让传感器的研发应用呈现多样化...

随着现代科学发展,传感技术作为一种与现代科学密切相关的新兴学科得到迅速的发展,并在工业自动化测量和检...

发表于 2018-02-05 14:16 1030次阅读
现代科学发展的进步,让传感器的研发应用呈现多样化...

基于伯努利原理的速度监测芯片可监控天然气运输管道...

该MEMS传感芯片基于伯努利原理而直接读取运动物体速度,既是对现有加速度计和陀螺仪传感器的有力补充,...

发表于 2018-02-05 13:19 670次阅读
基于伯努利原理的速度监测芯片可监控天然气运输管道...

AEM收购Afore,通过此次并购,AEM进一步...

AEM收购芬兰MEMS测试解决方案领先供应商Afore。通过此次并购,AEM的全球解决方案供应能力,...

发表于 2018-02-05 12:34 1231次阅读
AEM收购Afore,通过此次并购,AEM进一步...

毫米波辐射的医疗应用:可有效阻止癌细胞再生

在特拉维夫刚刚结束的第三届国际IEEE微波、通讯、天线和电子系统会议上,来自以色列阿里埃勒大学的科研...

发表于 2018-02-02 20:12 79次阅读
毫米波辐射的医疗应用:可有效阻止癌细胞再生

毫米波电路技术的进步及应用受关注

近年来,RF领域毫米波频带的技术发布激增,在今年的发布中,除了电路技术本身的进步之外,支持新用途的方...

发表于 2018-02-02 20:09 117次阅读
毫米波电路技术的进步及应用受关注

SiTime推出MEMS参考时钟支持新物联网应用...

SiTime市场部执行副总裁Piyush Sevalia指出:“SiTime独到的时序产品致力于为最...

发表于 2018-02-02 14:04 683次阅读
SiTime推出MEMS参考时钟支持新物联网应用...

详解毫米波雷达在智能交通领域的应用

逐渐复杂的道路交通环境促使我国对于智能交通管理系统的要求向智能化、全面化、准确化、实时化发展,而达到...

发表于 2018-02-01 16:26 438次阅读
详解毫米波雷达在智能交通领域的应用

SiTime推出新型振荡器 进一步向无人驾驶汽车...

MEMS振荡器领域的行业龙头企业SiTime Corporation宣布面向高级驾驶辅助系统(ADA...

发表于 2018-02-01 14:05 951次阅读
SiTime推出新型振荡器 进一步向无人驾驶汽车...

超小型MEMS原子钟诞生,用于智能手机、传感器网...

据报道,日本国家信息与通信研究院(NICT)与东北大学和东京工业大学展开合作,并成立压电材料相关研究...

发表于 2018-02-01 11:53 1216次阅读
超小型MEMS原子钟诞生,用于智能手机、传感器网...

毫米波传感器在智能工业的应用

从定位和邻近度测量,到确定液面位置和光照强度,传感器解决方案为我们提供了一个感测、数字化表达和处理周...

发表于 2018-01-31 18:55 272次阅读
毫米波传感器在智能工业的应用

毫米波测量技术挑战和优点

当前最有吸引力的毫米波应用主要在E频段与V频段。E频段对应于60GHz~90GHz的频率范围,在此频...

发表于 2018-01-31 18:43 193次阅读
毫米波测量技术挑战和优点

国内首次拥有了机载毫米波测绘雷达测绘出的图像,高...

中国航天科工二院23所机载毫米波测绘雷达在成都西部山区获得首幅1:5000比例尺图像,国内测绘市场由...

发表于 2018-01-31 15:46 1445次阅读
国内首次拥有了机载毫米波测绘雷达测绘出的图像,高...

三重富士通半导体股份有限公司推出55nm CMO...

上海,2018年1月29日 – 三重富士通半导体股份有限公(以下简称“三重富士通半导体”)与富士通研...

发表于 2018-01-30 12:22 3705次阅读
三重富士通半导体股份有限公司推出55nm CMO...

设计了一种工作在5g毫米波的天线列阵并进行了仿真

用于5G移动终端的宽带毫米波阵列天线。

发表于 2018-01-30 09:49 1396次阅读
设计了一种工作在5g毫米波的天线列阵并进行了仿真

松下推出毫米波段天线的超低传输损耗板材 并介...

松下电器产业株式会社汽车电子和机电系统公司开发出了适用于毫米波段[1] 天线基板的“无卤素超低传输损...

发表于 2018-01-29 20:14 1515次阅读
松下推出毫米波段天线的超低传输损耗板材   并介...

日立新型MEMS加速度计比商用MEMS加速度计灵...

日立通过在MEMS质量块上制作贯通孔来降低空气阻力,并且贯通孔的直径在上层和下层之间是变化的。上层为...

发表于 2018-01-29 16:04 693次阅读
日立新型MEMS加速度计比商用MEMS加速度计灵...

TU Wien开发一款硅基MEMS电场测量传感器...

MEMS电场传感器的测量原理“目前用于测量电场强度的设备具有一些显著的缺陷,” TU Wien传感器...

发表于 2018-01-29 10:56 653次阅读
TU Wien开发一款硅基MEMS电场测量传感器...

【AD新闻】三星被曝缺乏毫米波经验,5G基带研发遇瓶颈

发表于 2018-01-28 13:54 463次阅读
【AD新闻】三星被曝缺乏毫米波经验,5G基带研发遇瓶颈

三星缺乏研发经验,在60GHz以下频段和毫米波5...

虽然三星是韩国目前唯一投入 5G 基带芯片研发的企业,但是目前因为缺乏经验的关系,三星在这方面的进程...

发表于 2018-01-27 10:34 1317次阅读
三星缺乏研发经验,在60GHz以下频段和毫米波5...

华灿光电收购美新半导体过会 国内首个MEMS领域...

华灿光电重组方案经并购重组委审核获得有条件通过,该公司从今日起复牌。2016年10月,华灿光电披露拟...

发表于 2018-01-26 09:09 232次阅读
华灿光电收购美新半导体过会 国内首个MEMS领域...

基于MEMS工艺实现简易快速地制备不同的微阵列结...

当前以MEMS为基础的细胞微阵列芯片受到科研人员广泛重视。通过微加工技术在基底上构建微尺度的图形结构...

发表于 2018-01-25 12:28 653次阅读
基于MEMS工艺实现简易快速地制备不同的微阵列结...

MEMS产业向多传感器集成方向前进状况简析

智能时代,传感器作为感知特定环境的基石正变得越来越重要。当人们被各种各样的智能产品所包围的时候,无论...

发表于 2018-01-25 08:57 4245次阅读
MEMS产业向多传感器集成方向前进状况简析

5G基带芯片竞争激烈 6GHz以下频段和毫米波技...

5G进程还在逐步推进,5G商用基带芯片也在不断发力,市场竞争十分激烈,在6GHz以下频段和毫米波5G...

发表于 2018-01-24 11:18 265次阅读
5G基带芯片竞争激烈 6GHz以下频段和毫米波技...

哈佛大学推出MEMS微型机器人 可在拾取、包装甚...

哈佛大学过去开发的机器人Delta手臂通常用在组装生产线,其速度和灵巧度决定了工作空间需要足够大,如...

发表于 2018-01-22 11:45 1190次阅读
哈佛大学推出MEMS微型机器人 可在拾取、包装甚...

2018年无人驾驶汽车传感器创新技术展望(毫米波...

MEMS让无人驾驶汽车看到路面、阅读交通标志、检测物体、分类、感知速度/轨迹和其他车辆,随着自动驾驶...

发表于 2018-01-20 17:13 2607次阅读
2018年无人驾驶汽车传感器创新技术展望(毫米波...

意法半导体谈MEMS的发展 非常看好汽车和工业

在MEMS传感器的新闻发布会,ST谈论了MEMS的发展现状,ST做了20年的MEMS 传感器,优势是...

发表于 2018-01-19 16:14 348次阅读
意法半导体谈MEMS的发展 非常看好汽车和工业

我国工业传感面临的挑战和工业常用传感器分析

传感器技术发展迅速,探测精度提高、制作成本降低、芯片体积减小,应用非常广泛。传感器技术甚至已成我国工...

发表于 2018-01-19 09:47 290次阅读
我国工业传感面临的挑战和工业常用传感器分析

MEMS振动监控:从加速度到速度

发表于 2017-08-16 09:06 1058次阅读
MEMS振动监控:从加速度到速度

利用MEMS陀螺仪实现低噪声反馈控制设计

发表于 2017-08-12 15:38 944次阅读
利用MEMS陀螺仪实现低噪声反馈控制设计

猎头岗位:高级天线工程师(深圳)

发表于 2017-06-27 19:34 780次阅读
猎头岗位:高级天线工程师(深圳)

最新 MEMS 惯性模块如何帮助克服应用开发挑战

发表于 2017-03-31 12:31 1279次阅读
最新 MEMS 惯性模块如何帮助克服应用开发挑战

有关MEMS传感器ADXL327在外部加放大电路的问题

发表于 2017-01-18 12:07 1183次阅读
有关MEMS传感器ADXL327在外部加放大电路的问题

五个著名车用传感器厂商

发表于 2016-12-12 15:47 1386次阅读
五个著名车用传感器厂商