电子发烧友网 > MEMS/传感技术 > 正文

MEMS晶圆级测试系统详解

2018年02月07日 16:56 次阅读

MEMS晶圆级测试系统

国外MEMS发展非常重视基础技术尤其是测试技术的建设,建立了相应的实验室,如美国的MCNC、SANDIA国家实验室、德国的BOSCH实验室等。此外,成立于2003年的MEMUNITY是微系统测试技术领域的国际性组织,主要研究微机械产品的计量与测试。通过研究晶圆级测试技术所用的装置,降低MEMS产品生产成本,推动微电子机械系统的商业化。该组织主要目标是了解下一代微机电系统机械和电性能的测量技术最新进展,讨论晶圆级测试策略和标准化问题。晶圆级测试技术领域取得了多项研究成果。最近,MEMUNITY完成了协同PAR-TEST项目的工作,项目的成果是开发出了一种集成式晶圆级MEMS器件测试系统。该测试系统是一种半自动探测系统(SUSS PA200),具有精确、自动的定位和圆片绘图功能,通过一个静电探针卡驱动膜片,利用一个激光多普勒计测量面外运动。通过测量本征频率可以提取特征参数,所得到的数据结果用于优化器件设计和制造工艺,以及确定好坏的管芯测试。

2. 国内现状

我国MEMS晶圆级测试技术研究始于20世纪90年代初,经过20年的发展,初步形成了几个研究力量比较集中的地区,如京津、华东、东北、西南、西北地区等。由于MEMS晶圆级测试的对象为立体微结构,其测试技术与传统IC晶圆测试相比有很大不同,难点主要体现在3个方面:待测芯片为纯机械结构,无任何电路元件;芯片的信号非常微弱,如电容量仅为aF级,提取困难,抗干扰能力差;测试项目除了静态测试之外,还需要大量动态指标测试,如谐振频率、阻尼系数、带宽等。前文中提及国内航天新锐的测试技术处于国内领先地位,特别是采用低寄生参数探针、专用微小电容检测电路、检测电路与探卡集成、屏蔽与隔振、寄生参数补偿五种技术减小寄生参数对待测电容的影响,实现微小电容检测。

MEMS测试系统验证

目前,国内MEMS晶圆级测试系统主要开展的是晶圆片电参数的测量,而国际上针对此部门的研究已经趋于成熟,国际上针对芯片和产品的力学参数开展了大量研究,下面逐一阐述。

1. 国际验证方案

国际上采用美国国家标准技术研究院的Janet Cassard提出的提供了一种五合一的标准物质(reference material, RM)解决MEMS晶圆级测试系统的验证。这种标准物质是一种独立具有测试结构的芯片,这种测试结构是通过五种标准的测试方法获取材料和空间特性的。客户可以通过将标准物质在本机构测试系统中的测试数据与此标准物质在NIST(国家标准技术研究院)的同一测试系统中所得数据进行比对来进行溯源。此外,五合一MEMS还可以应用于过程测量及验证、客户系统本地测量、实验室比对、纠纷及仲裁、仪器的校准等方面。

MEMS五合一芯片是用以测量空间和材料特性的NIST标准物质,分为RM8096和RM8097。RM8096是用1.5μm的化合物半导体(CMOS)工艺线和显微机械加工刻蚀制成的。据报道此标准物质的每一层均为化合物氧化层。RM8097是由多层表面显微机械加工MEMS多晶硅的背面刻蚀技术制成,其中第一、第二层的多晶硅材料特性是公开报道的。

“五种标准测试方法”用于MEMS五合一芯片的特性测试,分别为:杨氏模量、台阶高度、残余应变、应变梯度以及平面长度。其中,杨氏模量和台阶高度的测试方法已经在“国际半导体仪器和材料(SEMI)”被报道,而残余应变、应变梯度、平面长度三者的测量方法由“美国国际测量&材料联合社(ASTM)”公开报道,上述每种测量方法均有一系列的准确度和修正数据。

“8个技术特性”是标准物质证书中具有代表性的典型参数,即前文叙述中提到的五种加上以下三种:残余应力、应力梯度、横梁厚度。残余应力和应力梯度是通过杨氏模量测试方法计算得到的;横梁厚度特性是利用RM8096通过基于电物理技术、加上RM8097通过光机械技术,应用台阶高度测量方法获得的(在NIST特刊SP260—177中提及)。因此,五种测试方法可以用于获得8个技术特性参数。

正如列举的各个测试方法所涉及的,杨氏模量的测试方法使用的是光学振动计、频闪观测仪的激光干涉仪或同类仪器。其它四种测量方法使用的是光学激光干涉仪和针式表面光度计或同类仪器。MEMS计算器可对MEMS特性参量进行数据分析。在每一个数据分析表单的最下方有检定区。如果所有的相关单元均显示“OK”,则数据验证通过;否则,特定区域会提示“修正数据并重新计算”。

每一个“五合一芯片”均附带标准物质证书一份,包括相应数据分析表单、五种测量方法和NISTSP260-177。附带的相应数据分析表单给出了对应测量方法的特殊测试结构,同时包括用于在NIST获取标准物质证书中测量结果的原始数据。SP260是一本全面的MEMS五合一用户使用手册;它列出了基于NIST相同测量结构的同一SEMI或ASTM标准测量方法;同时,推荐一种可与NIST标准物质证书相比较的测量方法,以验证用户文件标准测量方法的正确性。

2. 国内验证手段

我国目前已经购置或组建多台MEMS晶圆级测试系统,验证手段尚处于空白阶段。由于国内尚无针对此类专用测试设备的标准物质和标准样片,因此,测试系统的准确度和一致性验证问题尚未解决,仍停留在“单台仪器拆分计量”的层面,未开展系统的整体校准工作,各系统参数无法溯源到探针端面,难以保证MEMS产品参数的准确和一致性,为产品质量埋下隐患。

存在的差距

无论从硬件组成还是从测试技术和验证手段比较,目前我们与国际还有一定的差距,主要体现在3个方面:

1)缺乏标准化测试硬件系统。尽管早期测试有诸多好处,但对大部分制造商来说很难找到标准化、独立运行的测试系统,且尚无同一的测试标准可依循。MEMS测试必须通过添加适当的模块进行非电激励输入测量和非电信号输出检测,晶圆探针可以被扩展成一个开放的、通用的测试平台,根据测试需要可以方便地调整。整个开放平台可以用于测试不同的产品如:压力传感器、微麦克风和微镜等。

2)测试技术有待提高。在激励信号方面,除了电激励和电测试之外,器件可能还需要进行声学、发光、振动、流体、压力、温度、化学或动力激励输入;在测试平台方面,器件可能需要开放的平台且在受控的环境中测试才能保护器件不受环境的损伤或正确地在封装的环境内激励器件。MEMS器件的晶圆级测试可以在测试所需的真空中或在特殊的气体环境中操作,需要精确可控的测试环境。

3)系统验证手段空白。目前国内的测试系统鉴于晶圆级测试的微观性和用于探针末端的标准样片的缺乏,无法从准确度方面对其进行量值传递,从而难以保证其溯源性,无法发挥晶圆级测试的优越性,难以保障剔除芯片的合理性和准确性。

结束语

自20世纪60年代微机械技术诞生以来,MEMS晶圆测试技术随着MEMS产品的发展而逐渐成熟,随着制造器件实用化、高可靠性、成本低廉的要求,测试系统出现了如下发展趋势:未来MEMS晶圆级测试系统向着标准化、模块化的开放式平台发展;在参数级计量测试方面,急需利用MEMS或IC技术研制高稳定性标准样片,是行之有效的校准方案;在产品级测试方面,参照NIST的MEMS五合一测试芯片,急需通过对MEMS芯片添加外围电路形成模块化的标准测试平台的手段,解决非电信号激励下的测试难题,研制符合相应激励信号测试的标准物质,与国际NIST标准接轨,进一步赶超国际水平,提升我国MEMS晶圆级测试的整体水平。

技术专区

关注电子发烧友微信

有趣有料的资讯及技术干货

下载发烧友APP

打造属于您的人脉电子圈

关注发烧友课堂

锁定最新课程活动及技术直播
收藏 人收藏
分享:

评论

相关推荐

半导体制造商在世界各地已关闭或改变用途了92座晶...

近年,茂德在2013年关闭了两座300mm内存晶圆厂,瑞萨在2014年将其300mm逻辑晶圆厂出售给...

发表于 2018-04-03 17:13 215次阅读
半导体制造商在世界各地已关闭或改变用途了92座晶...

布鲁尔科技增强自身能力然后大力支持中国半导体市场

据麦姆斯咨询报道,Brewer Science充分准备好以材料供应商身份支持中国半导体的蓬勃发展,展...

发表于 2018-04-03 16:25 217次阅读
布鲁尔科技增强自身能力然后大力支持中国半导体市场

Preciseley携MEMS亮相OFC 201...

公司专注于光通讯MEMS芯片,同时在激光雷达(LiDAR),MEMS传感器等领域有很强的技术储备,拥...

发表于 2018-04-03 15:55 336次阅读
Preciseley携MEMS亮相OFC 201...

单轴MEMS角速率陀螺及三轴MEMS角速率陀螺

单轴硅微MEMS角速率陀螺PA-ARG系列 1. 单轴硅微MEMS角速率陀螺PA-ARG 简介 : ...

发表于 2018-04-03 10:33 45次阅读
单轴MEMS角速率陀螺及三轴MEMS角速率陀螺

MEMS磁传感器主元件SEM电连接及设计

由于MEMS技术可以将传统的磁传感器小型化,因此基于MEMS的磁传感器具有体积小、性能高、成本低、功...

发表于 2018-04-03 08:42 455次阅读
MEMS磁传感器主元件SEM电连接及设计

生物MEMS公司“原位芯片”获数百万元融资

原位芯片凭将于2018年内发布国内首个MEMS液体流量传感器,并完成MEMS芯片式胰岛素泵和PoCT...

发表于 2018-04-02 16:33 430次阅读
生物MEMS公司“原位芯片”获数百万元融资

单片异质集成的发展现状

微系统的核心技术是集成,正在由平面集成向三维集成、由芯片级向集成度和复杂度更高的系统集成发展。

发表于 2018-04-02 16:22 319次阅读
单片异质集成的发展现状

MEMS技术的创新研究,前沿科技领域的融合

微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也称为微电...

发表于 2018-04-02 11:34 189次阅读
MEMS技术的创新研究,前沿科技领域的融合

单片集成MEMS-IC圆片级真空封装方应用设计

惯性MEMS三维集成TSV互连技术通过提供垂直贯穿惯性MEMS芯片或MEMS专用集成电路IC芯片的T...

发表于 2018-04-02 08:41 750次阅读
单片集成MEMS-IC圆片级真空封装方应用设计

半导体传感器18项国际标准获重大进展 MEMS标...

目前,在MEMS领域,我国牵头制定的IEC 62047-25:2016已经发布,牵头制定的三项MEM...

发表于 2018-04-01 09:51 91次阅读
半导体传感器18项国际标准获重大进展 MEMS标...

联芯28纳米HKMG试产良率达98% 国内最先进...

位于厦门火炬高新区的联芯集成电路制造(厦门)有限公司日前传来喜讯,已于今年2月成功试产采用28纳米H...

发表于 2018-03-31 15:28 334次阅读
联芯28纳米HKMG试产良率达98% 国内最先进...

为何MEMS传感器越来越受到青睐?

以可穿戴市场为例,目前正在开发的传感器包括气体传感器和生物传感器,这些器件将会让穿戴产品变得更实用,...

发表于 2018-03-31 09:44 2109次阅读
为何MEMS传感器越来越受到青睐?

半导体传感器和MEMS标准化进展飞速

MEMS传感器是目前市场应用较为成熟的MEMS器件,其中MEMS惯性传感器、MEMS麦克风几乎已成为...

发表于 2018-03-31 09:24 248次阅读
半导体传感器和MEMS标准化进展飞速

有浅入深的介绍BLE与MEMS中的开发板设计

当BLE遇到MEMS,就如同天使有了翅膀。本期从有浅入深的介绍BLE与MEMS的那些事,就从ST的S...

发表于 2018-03-31 08:44 890次阅读
有浅入深的介绍BLE与MEMS中的开发板设计

扇出晶圆级封装处理流程介绍

多芯片脱气(MWD)的技术已经成为一个引人注目的解决方法,在芯片单独转移到后续的预清洁和溅射沉积之前...

发表于 2018-03-30 17:46 49次阅读
扇出晶圆级封装处理流程介绍

中国半导体行业龙头企业北方华创未来发展分析

半导体设备行业细分领域众多,大致上可以分为沉积设备、光刻设备、刻蚀设备、材料制备设备、表面处理设备、...

发表于 2018-03-28 16:57 733次阅读
中国半导体行业龙头企业北方华创未来发展分析

服务器存储市场2017年达23%增速 2018...

集邦咨询记忆存储事业部研究副总郭祚荣表示,2018年继续看好服务器存储市场。“服务器存储市场没有天花...

发表于 2018-03-27 07:47 1541次阅读
服务器存储市场2017年达23%增速  2018...

什么是硅晶圆?哪些厂商生产硅晶圆?

硅晶圆就是硅元素加以纯化(99.999%),接着是将这些纯硅制成长硅晶棒,成为制造积体电路的石英半导...

发表于 2018-03-26 10:57 574次阅读
什么是硅晶圆?哪些厂商生产硅晶圆?

八英寸晶圆的大范围缺货联发科旗下电源管理芯片厂争...

随着晶圆成本持续垫高,且产能吃紧,为IC设计业者找到涨价的出口。由于近期急单较多,市场传出,晶圆代工...

发表于 2018-03-24 09:31 456次阅读
八英寸晶圆的大范围缺货联发科旗下电源管理芯片厂争...

加速度计内嵌压力传感器的单硅片复合传感器

本发明提供了一种加速度计内嵌压力传感器的单硅片复合传感器结构及方法,以解决传统复合传感器芯片结构尺寸...

发表于 2018-03-23 10:20 426次阅读
加速度计内嵌压力传感器的单硅片复合传感器

MSIG国际物联网论坛:新兴应用带来MEMS第三...

由智能手机带动的MEMS产业第二波发展潮已经进入尾声。 3月16日举行的MSIG国际物联网论坛201...

发表于 2018-03-22 03:03 81次阅读
MSIG国际物联网论坛:新兴应用带来MEMS第三...

异常检测技术在各行业已经使用多年,对零缺陷对汽车...

作为辅助驾驶和自动驾驶的关键组成部分,新一代汽车芯片正在快速推动异常检测技术的发展。据新智驾了解,半...

发表于 2018-03-20 16:40 573次阅读
异常检测技术在各行业已经使用多年,对零缺陷对汽车...

三星停电导致晶圆损坏,但对于内存市场影响不大

智能手机、自动驾驶汽车和数据中心等广阔的需求极大的推进了内存产品的发展,致使闪存产品正走在发展的快车...

发表于 2018-03-20 10:28 593次阅读
三星停电导致晶圆损坏,但对于内存市场影响不大

台积电将持续受益于加密货币日益走强的趋势

台积电将于4月份公布盈利情况,业内一致看好这份报告将成为其股价上涨的催化剂;台积电可能会受到硅晶圆价...

发表于 2018-03-20 10:11 468次阅读
台积电将持续受益于加密货币日益走强的趋势

基本平台稳定系统中MEMS IMU频率响应分析

无人飞行器安装的监控设备、海上微波接收机、车辆安装的红外成像系统传感器以及其他仪器系统都需要具有稳定...

发表于 2018-03-20 09:27 1231次阅读
 基本平台稳定系统中MEMS IMU频率响应分析

世健结合MEMS技术的红外光源和传感器的红外气体...

使用的红外光源EMIRS 50是通过紧凑的TO-46封装,它可以提供带保护帽或者带反射面,这些结构可...

发表于 2018-03-20 08:56 830次阅读
世健结合MEMS技术的红外光源和传感器的红外气体...

华虹宏力12寸晶圆厂正式动工,抢夺市场先机

国内代工厂华虹宏力宣布,其无锡12寸晶圆厂正式开工。对这个专注于8英寸晶圆代工的厂商来说,这次开工是...

发表于 2018-03-19 10:44 713次阅读
华虹宏力12寸晶圆厂正式动工,抢夺市场先机

8英寸MEMS国际代工线将在2019年下半年投产

耐威科技是长期从事惯性导航产品、卫星导航产品的研发、生产与销售,耐威科技建设投产了MEMS代工线项目...

发表于 2018-03-19 09:14 187次阅读
8英寸MEMS国际代工线将在2019年下半年投产

东大射频与光电集成电路研究所王志功团队MEMS重...

日前,东南大学射频与光电集成电路研究所(射光所)王志功教授团队的王科平副研究员在集成电路与微机电系统...

发表于 2018-03-18 10:48 181次阅读
东大射频与光电集成电路研究所王志功团队MEMS重...

不止手机,可穿戴、AR/VR、物联网正成为电子元...

在2018年慕尼黑上海电子展上,作为全球创新型MEMS传感器及致动器解决方案领先供应商的Bosch...

发表于 2018-03-18 10:31 1013次阅读
不止手机,可穿戴、AR/VR、物联网正成为电子元...

全球半导体朝向五千亿规模迈进,中国半导体行业发展...

SEMI全球总裁兼CEO Ajit Manocha表示,去年可说产业非常美好的时光年增率到达22.3...

发表于 2018-03-17 09:09 961次阅读
全球半导体朝向五千亿规模迈进,中国半导体行业发展...

晶圆尺寸的概念_晶圆尺寸越大越好吗

本文开始介绍了晶圆的概念和晶圆的制造过程,其次详细的阐述了晶圆的基本原料,最后介绍了晶圆尺寸的概念及...

发表于 2018-03-16 14:50 792次阅读
晶圆尺寸的概念_晶圆尺寸越大越好吗

12寸晶圆价格变化趋势_12寸晶圆能产多少芯片

本文开始对12寸晶圆价格变化趋势进行了分析,其次阐述了12寸晶圆的应用及12寸晶圆产能排名状况,最后...

发表于 2018-03-16 14:12 507次阅读
12寸晶圆价格变化趋势_12寸晶圆能产多少芯片

晶圆如何变成cpu

本文开始介绍了晶圆的概念,其次阐述了CPU的工艺要素和和CPU生产流程,最后详细介绍了晶圆如何变成c...

发表于 2018-03-16 13:54 429次阅读
晶圆如何变成cpu

基于MEMS传感器的行人航位推算(PDR)解决方...

前言定位是感知应用的一个重要属性。在室内环境中,如果位置信息可用并非常可靠,有更多的应用场景可以实现...

发表于 2018-03-16 09:02 1982次阅读
基于MEMS传感器的行人航位推算(PDR)解决方...

AI与大数据催化中国半导体需求,中国晶圆厂加快量...

但是中国晶圆厂要迈入10纳米以下先进工艺比拼的不仅是技术还有严谨的管理,晶圆厂要迈入这个阶段仍须“ ...

发表于 2018-03-16 08:55 4137次阅读
AI与大数据催化中国半导体需求,中国晶圆厂加快量...

半导体人浅见哲度过的一个特殊中国节

爆竹声起,又是一年。春节期间约上亲朋好友一起外出游玩,或者开车到处去兜兜风,享受各种美食和家人团聚的...

发表于 2018-03-16 07:37 95次阅读
半导体人浅见哲度过的一个特殊中国节

基于MEMS传感器的行人航位推算解决方案

MEMS传感器和高性能的行人航位推算算法。本文主要讨论各种行人航位推算算法上需要用到的传感器组件的数...

发表于 2018-03-15 16:02 519次阅读
基于MEMS传感器的行人航位推算解决方案

苏州钽氪电子推出MEMS氢气传感器面向未来氢能源...

苏州钽氪电子近日宣布推出了一款MEMS氢气传感器,这款氢气传感器支持催化燃烧和热导两种工作模式,可实...

发表于 2018-03-15 15:55 3109次阅读
苏州钽氪电子推出MEMS氢气传感器面向未来氢能源...

芯片在智能手机行业中拥有重要地位,发展已经势不可...

为更好地保障通信信息安全,使我国在芯片领域摆脱依赖进口的现状,首先分析了智能手机主要采用的芯片与芯片...

发表于 2018-03-15 15:54 1131次阅读
芯片在智能手机行业中拥有重要地位,发展已经势不可...

六千亿投在机遇期 本土半导体逆袭,中国是全球最大...

大陆芯片自给率在25%左右,随着国家政策推动人才、资金加速向半导体产业集中,中国国内晶圆生产线自20...

发表于 2018-03-15 11:37 772次阅读
六千亿投在机遇期 本土半导体逆袭,中国是全球最大...

肖特推出了FLEXINITYTM,一款创新性的带...

鉴于IC封装、生物芯片、传感器、微电池和诊断技术愈加微型化的趋势,肖特开发出全新FLEXINITY™...

发表于 2018-03-15 10:31 592次阅读
肖特推出了FLEXINITYTM,一款创新性的带...

闪存又要涨价了!三星平泽工厂停电将导致一半以上的...

在2D工艺上,三星主要量产的是14纳米的MLC和TLC,东芝和西部数据则是15纳米的MLC/TLC,...

发表于 2018-03-15 10:02 643次阅读
闪存又要涨价了!三星平泽工厂停电将导致一半以上的...

全球晶圆厂投资态势强势设备支出持续攀升

中国半导体市场迎来好势头,也吸引来自各国设备与材料重量级厂家的关注。除了中芯国际董事长周子学、KLA...

发表于 2018-03-15 08:45 4426次阅读
全球晶圆厂投资态势强势设备支出持续攀升

晶圆厂设备支出将连续四年显著增长,中国贡献将超越...

根据SEMI世界晶圆厂预测报告的最新更新显示,晶圆厂设备支出将在2019年增长5%,也也是连续第四年...

发表于 2018-03-14 17:03 569次阅读
晶圆厂设备支出将连续四年显著增长,中国贡献将超越...

2017-2020年拟新建晶圆厂占全球的42%

由于 Foundry 厂的工艺进步迭代以及新工艺指数级的研发投入的提升,行业壁垒越来越高,导致行业集...

发表于 2018-03-13 09:40 442次阅读
2017-2020年拟新建晶圆厂占全球的42%

未来全球晶圆代工龙头企业有望抢占更多市场份额

大尺寸硅片加工技术助推领先设备企业龙头地位。根据ICInsight的预测,未来12英寸(300mm)...

发表于 2018-03-13 09:18 305次阅读
未来全球晶圆代工龙头企业有望抢占更多市场份额

MEMS麦克风的声音路径设计

狭窄的传声孔与空心腔室相连构成的结构在受到声波激励时会产生声学谐振。当我们对着空瓶的瓶嘴上方吹气时,...

发表于 2018-03-12 16:23 104次阅读
MEMS麦克风的声音路径设计

意法半导体为研发组织提供意法半导体THELMA ...

CMP是为集成电路(IC)和微机电系统(MEMS)设计公司提供芯片设计/开发和小批量制造服务的中介...

发表于 2018-03-12 16:06 114次阅读
意法半导体为研发组织提供意法半导体THELMA ...

格芯技术、性能与规模迈入新阶段,资深业者汤姆∙嘉...

美国加利福尼亚圣克拉拉结束了在格芯四年的首席执行官(CEO)任期,桑杰·贾(Sanjay·Jha)先...

发表于 2018-03-12 14:26 600次阅读
格芯技术、性能与规模迈入新阶段,资深业者汤姆∙嘉...

格芯已成长为行业内第二大纯晶圆代工公司

结束了在格芯四年的首席执行官(CEO)任期,桑杰·贾(Sanjay·Jha)先生将把公司最高职位交接...

发表于 2018-03-12 11:11 616次阅读
格芯已成长为行业内第二大纯晶圆代工公司

携手中国晶圆厂智慧制造 家登看好设备采购商机

今年的两会政府工作报告中,集成电路名列实体经济转型国家重点工作“关键词”,随着国家对促进半导体行业发...

发表于 2018-03-09 15:10 545次阅读
携手中国晶圆厂智慧制造 家登看好设备采购商机

半导体产业盛会_出席参展今年度SEMICON C...

SEMICON China规模持续扩大,已是近6年全球最大、影响力最广的半导体产业盛会,汇集全球半导...

发表于 2018-03-09 14:48 741次阅读
半导体产业盛会_出席参展今年度SEMICON C...

2009至2017年全球共92座晶圆厂熄灯

自2008~2009年全球经济衰退爆发以来,IC业者为提高晶圆生产成本效益,一直在努力减少8吋(含)...

发表于 2018-03-09 14:30 527次阅读
2009至2017年全球共92座晶圆厂熄灯

传格罗方德向发改委举报晶圆代工龙头台积电垄断

台积电在全球的市场占有率排名第一,领先其他对手。根据ICInsights的调查报告,台积电去年合并营...

发表于 2018-03-09 11:30 1898次阅读
传格罗方德向发改委举报晶圆代工龙头台积电垄断

一文看懂硅片和晶圆的区别

本文开始阐述了晶圆的概念、晶圆的制造过程及晶圆的基本原料,其次阐述了硅片的定义与硅片的规格,最后阐述...

发表于 2018-03-07 13:36 937次阅读
一文看懂硅片和晶圆的区别

RF MEMS国内外现状及发展趋势

基于MEMS(Micro-Electro-Mechanical System,微机电系统)技术的各类...

发表于 2018-03-07 11:22 5146次阅读
RF MEMS国内外现状及发展趋势

了解IMU带宽及其在系统稳定性中的应用

无人飞行器安装的监控设备、海上微波接收机、车辆安装的红外成像系统传感器以及其他仪器系统都需要具有稳定...

发表于 2018-03-06 08:26 4115次阅读
了解IMU带宽及其在系统稳定性中的应用

2018—2020年国产集成电路设备年均增长率将...

太阳能电池设备将增长30%左右。2017年中国光伏行业在领跑者和分布式光伏迅速崛起的推动下,电池片产...

发表于 2018-03-03 16:30 321次阅读
2018—2020年国产集成电路设备年均增长率将...

IDM厂关闭自有旧晶圆厂并委外代工已是未来趋势 ...

IDM厂关闭自有旧晶圆厂并委外代工已是未来趋势,根据市调机构IC Insights统计,自金融海啸发...

发表于 2018-03-03 14:35 234次阅读
IDM厂关闭自有旧晶圆厂并委外代工已是未来趋势 ...

基本平台稳定系统中MEMS IMU频率响应分析

无人飞行器安装的监控设备、海上微波接收机、车辆安装的红外成像系统传感器以及其他仪器系统都需要具有稳定...

发表于 2018-03-01 09:11 2011次阅读
基本平台稳定系统中MEMS IMU频率响应分析

中国MEMS技术产业的重大机遇

我国MEMS产业发展也面临着重大机遇,特别是移动互联网和物联网的快速发展,将对MEMS产业产生深远的...

发表于 2018-02-26 15:10 153次阅读
中国MEMS技术产业的重大机遇

MEMS技术将引领新一代低成本导航选择

如果观看过索契冬奥会的户外赛事转播,您可能注意到,滑雪板和滑雪赛场上空盘旋着小巧如蜘蛛般的摄像飞行器...

发表于 2018-02-26 14:57 197次阅读
MEMS技术将引领新一代低成本导航选择

MEMS陀螺仪可否取代光纤陀螺仪技术

光纤陀螺仪(FOG)以前曾经是环形激光陀螺仪(RLG)等其他技术的低成本替代品,现在该技术面临着新的...

发表于 2018-02-24 17:24 261次阅读
MEMS陀螺仪可否取代光纤陀螺仪技术

CES 2018将现全球首个MEMS扬声器

近日,横跨多重电子应用领域、全球领先的半导体供应商意法半导体(STMicroelectronics,...

发表于 2018-02-24 15:28 207次阅读
CES 2018将现全球首个MEMS扬声器

集成电路铜制程常见缺陷的分析

产生上述缺陷的原因是种子层的亲水性不好。造成亲水性不好的主要原因是种子层表面被有机物玷污,当环境中的...

发表于 2018-02-24 10:30 147次阅读
集成电路铜制程常见缺陷的分析

微流控技术的原理、制备以及应用

微流控(microfluidics)是一种精确控制和操控微尺度流体, 以在微纳米尺度空间中对流体进行...

发表于 2018-02-23 09:20 1890次阅读
微流控技术的原理、制备以及应用

MEMS惯性传感器的背景及发展现状

MEMS ( Micro-Electro-Mechanical System )是指集机械元素、微型...

发表于 2018-02-23 09:04 385次阅读
MEMS惯性传感器的背景及发展现状

物联网需求不断更新 芯片制造偏爱特色工艺

华虹宏力已成功建设了三大MEMS工艺制造平台——体硅、表硅以及磁传感器平台,且可与现有的CMOS生产...

发表于 2018-02-17 12:23 2303次阅读
物联网需求不断更新  芯片制造偏爱特色工艺

基于MEMS工艺的亚毫米波集成喇叭天线

在亚毫米波频段,相比较于微波毫米波频段,由于频率更高、波长更短,因而相应的器件尺寸更小。而天线作为尺...

发表于 2018-02-11 11:52 228次阅读
基于MEMS工艺的亚毫米波集成喇叭天线

MEMS制造需面向应用、建立平台

应用材料公司全球服务产品事业部200毫米半导体及动力辅助设备副总裁原铮博士:从全球来看,2014年到...

发表于 2018-02-11 11:43 177次阅读
MEMS制造需面向应用、建立平台

哈佛大学新款MEMS微型机器人MilliDelt...

据麦姆斯咨询报道,哈佛大学过去开发的机器人Delta手臂通常用在组装生产线,其速度和灵巧度决定了工作...

发表于 2018-02-11 11:38 231次阅读
哈佛大学新款MEMS微型机器人MilliDelt...

新创物联网MEMS静电开关方案

Menlo Microsystems宣布其MEMS开关在广泛的物联网(IoT)应用中取得了进展,除了...

发表于 2018-02-11 11:37 316次阅读
新创物联网MEMS静电开关方案

碧桂园要进军芯片领域?从碧桂园也准备进入芯片说开

碧桂园这种级别的房地产公司,实力雄厚,开发建设经验丰富,即便是以芯片之名行圈地之实,也是把地圈给碧桂...

发表于 2018-02-10 01:06 486次阅读
碧桂园要进军芯片领域?从碧桂园也准备进入芯片说开

推动MEMS感测器应用将是物联网发展的迫切需求

不论是在家中、车上或工作场所,微机电(MEMS)应用已悄悄深入消费者生活。尽管不常受到注意,MEMS...

发表于 2018-02-08 20:14 231次阅读
推动MEMS感测器应用将是物联网发展的迫切需求

MEMS迈入后消费时代,多元化应用拓展新思路

意法半导体公司大中华区模拟、功率与微电机系统市场部经理吴卫东日前在接受本刊采访时表示:“随着规模效应...

发表于 2018-02-08 20:12 114次阅读
MEMS迈入后消费时代,多元化应用拓展新思路

利用MEMS扫描镜技术提高汽车安全性

Mic roVision 公司系统工程与先进应用部门总监Jari Honkanen,他向我介绍了Mi...

发表于 2018-02-08 20:10 247次阅读
利用MEMS扫描镜技术提高汽车安全性

详解ADI的MEMS开关技术

在过去的30年间,MEMS开关被一致认为是性能有限的机电式继电器的优越取代品。 透过易于使用、能够以...

发表于 2018-02-07 17:10 144次阅读
详解ADI的MEMS开关技术

智能穿戴产业的拓展依托MEMS技术的发展

有人说,下一波推动电子产业快速增长的机会是物联网,而物联网的市场发展将在很大程度上依赖于包括MEMS...

发表于 2018-02-07 17:06 125次阅读
智能穿戴产业的拓展依托MEMS技术的发展

MEMS的含义、构成、优势、市场规模预测、产业链...

MEMS,(Micro-Electro Mechanical Systems),也称为微电子机械系统...

发表于 2018-02-07 14:43 732次阅读
MEMS的含义、构成、优势、市场规模预测、产业链...

2018年传感器行业最新动态汇总 巨头动作频频

作为LG旗下的电子产品零部件制造商,LGInnotek生产的3D传感器模组能使移动设备获得更好的捕获...

发表于 2018-02-07 04:06 1529次阅读
2018年传感器行业最新动态汇总 巨头动作频频

MEMS技术是实现室内定位的关键

如今,定位技术的应用非常广泛,通过GPS实现的室外定位已经不能满足人们的需求,室内定位也成为人们工作...

发表于 2018-02-06 18:59 228次阅读
MEMS技术是实现室内定位的关键

2018中国MEMS产业发展及投资

本文主要讲述了MEMS产业发展现状及未来趋势,投资方向等内容的研究。

发表于 2018-02-06 18:51 303次阅读
2018中国MEMS产业发展及投资

AEM宣布收购MEMS测试解决方案供应商Afor...

未来MEMS测试市场前景将呈现一片光明的景象。据报道AEM宣布收购Afore,随着MEMS技术应用越...

发表于 2018-02-06 15:13 209次阅读
AEM宣布收购MEMS测试解决方案供应商Afor...

量子传感器的概念与现状、性能分析以及市场应用

子理论的创立是 20 世纪最辉煌的成就之一 ,它揭示了微观领域物质的结构 、性质和运动规律,把人们的...

发表于 2018-02-06 14:41 1151次阅读
量子传感器的概念与现状、性能分析以及市场应用

日本开发一种监测系统 通过MEMS传感器和无线技...

该建筑物结构监测系统通过新开发的高精度MEMS传感器,并结合920MHz频段的无线技术,可以实现长期...

发表于 2018-02-06 12:40 1052次阅读
日本开发一种监测系统 通过MEMS传感器和无线技...

基于MEMS的车载激光投影仪设计

汽车内的显示和信息系统非常丰富,层出不穷地包围着我们,有些信息非常重要,有些则是为了舒适性或娱乐,有...

发表于 2018-02-05 16:40 213次阅读
基于MEMS的车载激光投影仪设计

现代科学发展的进步,让传感器的研发应用呈现多样化...

随着现代科学发展,传感技术作为一种与现代科学密切相关的新兴学科得到迅速的发展,并在工业自动化测量和检...

发表于 2018-02-05 14:16 1030次阅读
现代科学发展的进步,让传感器的研发应用呈现多样化...

基于伯努利原理的速度监测芯片可监控天然气运输管道...

该MEMS传感芯片基于伯努利原理而直接读取运动物体速度,既是对现有加速度计和陀螺仪传感器的有力补充,...

发表于 2018-02-05 13:19 670次阅读
基于伯努利原理的速度监测芯片可监控天然气运输管道...

AEM收购Afore,通过此次并购,AEM进一步...

AEM收购芬兰MEMS测试解决方案领先供应商Afore。通过此次并购,AEM的全球解决方案供应能力,...

发表于 2018-02-05 12:34 1231次阅读
AEM收购Afore,通过此次并购,AEM进一步...

MEMS振动监控:从加速度到速度

发表于 2017-08-16 09:06 1058次阅读
MEMS振动监控:从加速度到速度

利用MEMS陀螺仪实现低噪声反馈控制设计

发表于 2017-08-12 15:38 944次阅读
利用MEMS陀螺仪实现低噪声反馈控制设计

晶圆芯片产品目录

发表于 2017-06-14 10:09 477次阅读
晶圆芯片产品目录

想了解目前晶圆行业一般用的CCD自动定位原理

发表于 2017-04-29 20:43 1496次阅读
想了解目前晶圆行业一般用的CCD自动定位原理

无锡招聘晶圆测试(6吋/8吋)工艺工程师/工艺主管

发表于 2017-04-26 15:07 1083次阅读
无锡招聘晶圆测试(6吋/8吋)工艺工程师/工艺主管

最新 MEMS 惯性模块如何帮助克服应用开发挑战

发表于 2017-03-31 12:31 1279次阅读
最新 MEMS 惯性模块如何帮助克服应用开发挑战

手机轮番涨价 12吋晶圆让半导体供应链万物皆涨?

发表于 2017-02-09 14:43 1465次阅读
手机轮番涨价 12吋晶圆让半导体供应链万物皆涨?

有关MEMS传感器ADXL327在外部加放大电路的问题

发表于 2017-01-18 12:07 1183次阅读
有关MEMS传感器ADXL327在外部加放大电路的问题

五个著名车用传感器厂商

发表于 2016-12-12 15:47 1386次阅读
五个著名车用传感器厂商

MEMS传感器是什么?mems的工艺是什么?

发表于 2016-12-09 17:46 1410次阅读
MEMS传感器是什么?mems的工艺是什么?