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加速度传感器的分类、工作原理与内部结构

2017年06月07日 11:53 次阅读

  加速度传感器是一种能够测量加速度的传感器。通常由质量块、阻尼器、弹性元件、敏感元件和适调电路等部分组成。传感器在加速过程中,通过对质量块所受惯性力的测量,利用牛顿第二定律获得加速度值。根据传感器敏感元件的不同,常见的加速度传感器包括电容式、电感式、应变式、压阻式、压电式等。

  加速度传感器的分类、工作原理与内部结构

  加速度传感器,包括由硅膜片、上盖、下盖,膜片处于上盖、下盖之间,键合在一起;一维或二维纳米材料、金电极和引线分布在膜片上,并采用压焊工艺引出导线;工业现场测振传感器,主要是压电式加速度传感器。其工作原理主要利于压电敏感元件的压电效应得到与振动或者压力成正比的电荷量或者电压量。目前工业现场典型采用IEPE型加速度传感器,及内置IC电路压电加速度传感器,传感器输出与振动量正正比的电压信号。

  加速度传感器的分类

  压电式

  压电式加速度传感器又称压电加速度计。它也属于惯性式传感器。压电式加速度传感器的原理是利用压电陶瓷或石英晶体的压电效应,在加速度计受振时,质量块加在压电元件上的力也随之变化。当被测振动频率远低于加速度计的固有频率时,则力的变化与被测加速度成正比。

  压阻式

  基于世界领先的MEMS硅微加工技术,压阻式加速度传感器具有体积小、低功耗等特点,易于集成在各种模拟和数字电路中,广泛应用于汽车碰撞实验、测试仪器、设备振动监测等领域。

  电容式

  电容式加速度传感器是基于电容原理的极距变化型的电容传感器。电容式加速度传感器/电容式加速度计是对比较通用的加速度传感器。在某些领域无可替代,如安全气囊,手机移动设备等。电容式加速度传感器/电容式加速度计采用了微机电系统(MEMS)工艺,在大量生产时变得经济,从而保证了较低的成本。

  伺服式

  伺服式加速度传感器是一种闭环测试系统,具有动态性 能好、动态范围大和线性度好等特点。其工作原理,传感器的振动系统由 “m-k”系统组成,与一般加速度计相同,但质量m上还接着一个电磁线圈,当基座上有 加速度输入时,质量块偏离平衡位置,该位移大小由位移传感器检测出来,经伺服放大器 放大后转换为电流输出,该电流流过电磁线圈,在永久磁铁的磁场中产生电磁恢复力,力图使质量块保持在仪表壳体中原来的平衡位置上,所以伺服加速度传感器在闭环状态下工作。由于有反馈作用,增强了抗干扰的能力,提高测量精度,扩大了测量范围,伺服加速度 测量技术广泛地应用于惯性导航和惯性制导系统中,在高精度的振动测量和标定中也有应用。

  加速度传感器的工作原理

  线加速度计的原理是惯性原理,也就是力的平衡,A(加速度)=F(惯性力)/M(质量)我们只需要测量F就可以了。怎么测量F?用电磁力去平衡这个力就可以了。就可以得到 F对应于电流的关系。只需要用实验去标定这个比例系数就行了。当然中间的信号传输、放大、滤波就是电路的事了。

  现代科技要求加速度传感器廉价、性能优越、易于大批量生产。在诸如军工、空间系统、科学测量等领域,需要使用体积小、重量轻、性能稳定的加速度传感器。以传统加工方法制造的加速度传感器难以全面满足这些要求。于是应用新兴的微机械加工技术制作的微加速度传感器应运而生。这种传感器体积小、重量轻、功耗小、启动快、成本低、可靠性高、易于实现数字化和智能化。而且,由于微机械结构制作精确、重复性好、易于集成化、适于大批量生产,它的性能价格比很高。可以预见在不久的将来,它将在加速度传感器市场中占主导地位。

  微加速度传感器有压阻式、压电式、电容式等形式。

  压电式传感器是利用弹簧质量系统原理。敏感芯体质量受振动加速度作用后产生一个与加速度成正比的力,压电材料受此力作用后沿其表面形成与这一力成正比的电荷信号。压电式加速度传感器具有动态范围大、频率范围宽、坚固耐用、受外界干扰小以及压电材料受力自产生电荷信号不需要任何外界电源等特点,是被最为广泛使用的振动测量传感器。虽然压电式加速度传感器的结构简单,商业化使用历史也很长,但因其性能指标与材料特性、设计和加工工艺密切相关,因此在市场上销售的同类传感器性能的实际参数以及其稳定性和一致性差别非常大。与压阻和电容式相比,其最大的缺点是压电式加速度传感器不能测量零频率的信号。

  加速度传感器的分类、工作原理与内部结构

  压电式加速传感器的结构如图所示。在两块表面镀银的压电晶片(石英晶体或压电 陶瓷)间夹1片金属薄片,并引出输出信号的引线。在压电晶片上放置1块质量块,并用硬弹 簧对压电元件施加预压缩载荷。静态预载荷的大小应远大于传感器在振动、冲击测试中可能 承受的最大动应力。这样,当传感器向上运动时,质量块产生的惯性力使压电元件上的压应力 增加;反之,当传感器向下运动时,压电元件的压应力减小,从而输出与加速度成正比例的电 信号。

  传感器整个组件装在一个原基座上,并用金属壳体加以封罩。为了隔离试件的任何应变 传递到压电元件上去,基座尺寸较大。测试时传感器的基座与测试件刚性连接。当测试件的振动频率远低于传感器的谐振频率时,传感器输出电荷(或电压)与测试件的加速度成正比,经 电荷放大器或电压放大器即可测出加速度。

  应变压阻式加速度传感器的敏感芯体为半导体材料制成电阻测量电桥,其结构动态模型仍然是弹簧质量系统。现代微加工制造技术的发展使压阻形式敏感芯体的设计具有很大的灵活性以适合各种不同的测量要求。在灵敏度和量程方面,从低灵敏度高量程的冲击测量,到直流高灵敏度的低频测量都有压阻形式的加速度传感器。同时压阻式加速度传感器测量频率范围也可从直流信号到具有刚度高,测量频率范围到几十千赫兹的高频测量。超小型化的设计也是压阻式传感器的一个亮点。需要指出的是尽管压阻敏感芯体的设计和应用具有很大灵活性,但对某个特定设计的压阻式芯体而言其使用范围一般要小于压电型传感器。压阻式加速度传感器的另一缺点是受温度的影响较大,实用的传感器一般都需要进行温度补偿。在价格方面,大批量使用的压阻式传感器成本价具有很大的市场竞争力,但对特殊使用的敏感芯体制造成本将远高于压电型加速度传感器。

  电容型加速度传感器的结构形式一般也采用弹簧质量系统。当质量受加速度作用运动而改变质量块与固定电极之间的间隙进而使电容值变化。电容式加速度计与其它类型的加速度传感器相比具有灵敏度高、零频响应、环境适应性好等特点,尤其是受温度的影响比较小;但不足之处表现在信号的输入与输出为非线性,量程有限,受电缆的电容影响,以及电容传感器本身是高阻抗信号源,因此电容传感器的输出信号往往需通过后继电路给于改善。在实际应用中电容式加速度传感器较多地用于低频测量,其通用性不如压电式加速度传感器,且成本也比压电式加速度传感器高得多。

  加速度传感器可应用在控制,手柄振动和摇晃,仪器仪表,汽车制动启动检测,地震检测,报警系统,玩具,结构物、环境监视,工程测振、地质勘探、铁路、桥梁、大坝的振动测试与分析;鼠标,高层建筑结构动态特性和安全保卫振动侦察上。

  目前,大部分设备都提供了可以检测各个方向的加速度传感器。以iOS设备为例,我们利用了其三轴加速度传感器(x,y,z轴代表方向如图)的特性来分析。分别用以检测人步行中三个方向的加速度变化。

  加速度传感器的分类、工作原理与内部结构

  用户在水平步行运动中,垂直和前进两个加速度会呈现周期性变化,如图所示。在步行收脚的动作中,由于重心向上单只脚触地,垂直方向加速度是呈正向增加的趋势,之后继续向前,重心下移两脚触底,加速度相反。水平加速度在收脚时减小,在迈步时增加。

  加速度传感器的分类、工作原理与内部结构

  反映到图表中,可以看到,在步行运动中,垂直和前进产生的加速度与时间大致为一个正弦曲线,而且在某点有一个峰值。其中,垂直方向的加速度变化最大,通过对轨迹的峰值进行检测计算和加速度阀值决策,即可实时计算用户运动的步数,还可依此进一步估算用户步行距离。

  加速度传感器的分类、工作原理与内部结构

  因为用户在运动中可能用手平持设备,或者将设备置于口袋中。所以,设备的放置方向不定。为此,通过计算三个加速度的矢量长度,我们可以获得一条步行运动的正弦曲线轨迹。

  第二步是峰值检测,我们记录了上次矢量长度和运动方向,通过矢量长度的变化,可以判断目前加速度的方向,并和上一次保存的加速度方向进行比较。如果是相反的,即是刚过峰值状态,则进入计步逻辑进行计步,否则舍弃。通过对峰值的次数累加,可得到用户步行的步伐。

  最后,就是去干扰。手持设备会有一些低幅度和快速的抽动状态,或是我们俗称的手抖,或者某个恶作剧用户想通过短时快速反复摇动设备来模拟人走路,这些干扰数据如果不剔除,会影响记步的准确值,对于这种干扰,我们可以通过给检测加上阀值和步频判断来过滤。

  加速度传感器的结构

  应变式传感器加速度测试原理如图1所示,它通过测试惯性力引起弹性敏感元件的变形换算出力的关系。

  加速度传感器的分类、工作原理与内部结构

  1. 压电效应及压电材料

  图2表示晶体切片在z轴和y轴方向受压力和拉力时电荷产生方向的情况。

  加速度传感器的分类、工作原理与内部结构

  2. 压电传感器的结构及特性

  压电传感器一般由两片或多片压电晶体粘合而成,由于压电晶片有电荷极性,因此接法上分成并联和串联两种(如图3所示)。

  加速度传感器的分类、工作原理与内部结构

  3. 压电传感器的应用

  压电加速度测试传感器的结构如图4 所示

  加速度传感器的分类、工作原理与内部结构

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SII精工半导体正式改名为ABLIC Inc“3...

从最初的精工半导体事业部开始,团队坚持3个基本的理念,白井正樹称之为“3S”,即Small、Smar...

发表于 2018-03-29 09:40 193次阅读
SII精工半导体正式改名为ABLIC Inc“3...

水栽法收获是普通农场10倍 移民火星不是梦

随着人类在太空中存活的时间越来越久,就会出现一个问题,那就是宇航员如何在远离蓝色星球的同时维持自己的...

发表于 2018-03-29 08:41 171次阅读
水栽法收获是普通农场10倍 移民火星不是梦

提供实时语言翻译功能的无线耳机 出国旅游不用愁了

不知道选择什么样的无线 耳机 ?或许 Mymanu Clik 会成为你的候选之一。这款全新的无线耳机...

发表于 2018-03-28 15:50 157次阅读
提供实时语言翻译功能的无线耳机 出国旅游不用愁了

物联网运用越来越广泛_攻击愈见强劲

物联网应用越来越广泛,针对物联网的攻击也日渐增加。市场研究机构 Gartner表示,以物联网为基础的...

发表于 2018-03-28 15:30 37次阅读
物联网运用越来越广泛_攻击愈见强劲

教你如何使用一个分压器测量电阻

测量现实世界现象的许多传感器都以改变电阻的形式表现其输出:热敏电阻为温度敏感型电阻,应变计随作用力而...

发表于 2018-03-28 09:18 733次阅读
教你如何使用一个分压器测量电阻

以色列开发的全球最薄的夜视眼镜用于智能手机和自动...

以色列著名研究型学府本-古里安大学(Ben-Gurion University of the Neg...

发表于 2018-03-28 04:13 53次阅读
以色列开发的全球最薄的夜视眼镜用于智能手机和自动...

亚马逊希望有一款可以识别手势的无人机

亚马逊刚刚发布了一项无人机专利,该专利可以解释手势和声音指令,理论上可以使用这种设备来传送包裹。该专...

发表于 2018-03-28 02:50 226次阅读
亚马逊希望有一款可以识别手势的无人机

NXP智能洗衣机首次实现NFC和织物纤维识别功能

NXP半导体家电应用市场全球高级销售总监梅润平强调称,在一台家电中实现如此广泛的产品组合,在半导体行...

发表于 2018-03-27 23:16 62次阅读
NXP智能洗衣机首次实现NFC和织物纤维识别功能

大陆集团专为汽车应用而设计24GHz盲点雷达SR...

大陆集团SRR3-B雷达产品专门为汽车应用而设计,如盲点检测、变道辅助、后方两侧来车警告、预防追尾、...

发表于 2018-03-27 17:36 282次阅读
大陆集团专为汽车应用而设计24GHz盲点雷达SR...

【干货分享】液位传感器七种测量方式,你都了解了吗...

液位传感器(静压液位计/液位变送器/液位传感器/水位传感器)是一种测量液位的压力传感器。 静压投入式...

发表于 2018-03-27 16:38 50次阅读
【干货分享】液位传感器七种测量方式,你都了解了吗...

【转帖】电流传感器和互感器

发表于 2018-03-27 15:43 34次阅读
【转帖】电流传感器和互感器

柔宇科技的技术实力到底如何 带你认识你不知道的柔...

柔宇科技是由IDG资本、中信资本、深圳市创新投资集团、基石资本、松禾资本、源政投资、富汇创投、Alp...

发表于 2018-03-27 15:39 731次阅读
柔宇科技的技术实力到底如何 带你认识你不知道的柔...

德州仪器RF CMOS雷达技术助推ADAS

汽车雷达已经成为ADAS(高级驾驶辅助系统)的主流传感器之一。为了在最佳的传感器性能、成本和尺寸之间...

发表于 2018-03-27 15:36 264次阅读
德州仪器RF CMOS雷达技术助推ADAS

艾迈斯半导体(ams)专注传感器2017收入同比...

随着物联网、辅助驾驶及工业4.0等概念的深化,全球的传感器市场空间再一次被扩宽,2017年全球传感器...

发表于 2018-03-27 15:24 260次阅读
艾迈斯半导体(ams)专注传感器2017收入同比...

传感器的三个分类,什么是人工智能传感器?

“IoT应用非常细分,因为这里面有很多很多类型的传感器会被使用到。包括惯性、压力、温湿度、气体传感器...

发表于 2018-03-27 15:19 395次阅读
传感器的三个分类,什么是人工智能传感器?

绿米推出Aqara人体传感器(光感):2年无需换...

作为小米生态链企业,小米插座的出品方,绿米科技大家都不会陌生。 绿米之前曾推出号称史上最强智能家居组...

发表于 2018-03-27 14:35 201次阅读
绿米推出Aqara人体传感器(光感):2年无需换...

探讨Zigbee中的轮询机制及其在火灾报警传感器...

了解 Zigbee 标准中的轮询特性有助于优化物联网 (IoT) 产品的功耗。本篇博文将进一步探讨 ...

发表于 2018-03-27 14:12 296次阅读
探讨Zigbee中的轮询机制及其在火灾报警传感器...

了解车内温度是怎么通过传感器控制的

无论是酷暑还是寒冬,利用汽车加热冷却系统,乘客始终可以享受到舒适的车内环境。在不同类别的车辆中,这些...

发表于 2018-03-27 13:09 87次阅读
了解车内温度是怎么通过传感器控制的

关于基恩士的颜色传感器的用法

发表于 2018-03-27 12:03 225次阅读
关于基恩士的颜色传感器的用法

从传感器到人工智能——盘点一些常见的传感器

温湿度传感器只是传感器其中的一种而已,只是把空气中的温湿度通过一定检测装置,测量到温湿度后,按一定的...

发表于 2018-03-27 10:59 473次阅读
从传感器到人工智能——盘点一些常见的传感器

乐心手环ZIVA plus入手体验及评价

大言不惭点说,我也算是手环老司机用户了,从小米手环1代,bong2HR,埃微i6HR,到目前正在佩带...

发表于 2018-03-26 16:42 608次阅读
乐心手环ZIVA plus入手体验及评价

光电编码器基础--脉冲量输入

增量式光电编码器输出 A、B 两相相位差为 90°的脉冲信号(即所谓的两相正交输出信号),根据 A...

发表于 2018-03-26 15:24 244次阅读
光电编码器基础--脉冲量输入

从光电技术角度看自动驾驶

激光雷达和与之竞争的传感器技术(相机、雷达和超声波)加强了对传感器融合的需要,也对认真谨慎地选择光电...

发表于 2018-03-26 15:13 386次阅读
从光电技术角度看自动驾驶

虚拟仪器在位移测试系统中的应用

发表于 2018-03-26 14:27 201次阅读
虚拟仪器在位移测试系统中的应用

无人驾驶技术主要有几种技术组成

目前无人驾驶技术的实现主要是基于激光传感技术或者是超声雷达技术等,经过十余年的研究探索,许多机构和公...

发表于 2018-03-26 13:53 352次阅读
无人驾驶技术主要有几种技术组成

坚实的技术底蕴成就物联网创新事业

从1985~1999年,堪称PC与互联网蓬勃兴起的时期,对我们而言,也是经济起飞的美好年代。在当时,...

发表于 2018-03-26 12:25 79次阅读
坚实的技术底蕴成就物联网创新事业

计步器是计步工作原理解析

计步器到底是怎么工作的呢?是怎么知道我们每天走了多少步的呢? 记步神器:雷布斯小米手环2 中国电子科...

发表于 2018-03-26 10:37 205次阅读
计步器是计步工作原理解析

回收安捷伦U8487A功率传感器

发表于 2018-03-26 10:31 70次阅读
回收安捷伦U8487A功率传感器

回收安捷伦U8488A功率传感器

发表于 2018-03-26 10:30 89次阅读
回收安捷伦U8488A功率传感器

回收安捷伦U8481A功率传感器

发表于 2018-03-26 10:26 70次阅读
回收安捷伦U8481A功率传感器

回收安捷伦U8485A功率传感器

发表于 2018-03-26 10:22 70次阅读
回收安捷伦U8485A功率传感器

回收安捷伦U2020平均功率传感器

发表于 2018-03-26 10:17 72次阅读
回收安捷伦U2020平均功率传感器

扫地机器人的工作原理及传感器的作用

随着人们生活水平的提高,健康、舒适的家居环境越来越被更多的人所关注。买房、装修成为人们茶余饭后谈论...

发表于 2018-03-26 10:16 149次阅读
扫地机器人的工作原理及传感器的作用

回收安捷伦U2022XA平均功率传感器

发表于 2018-03-26 10:10 70次阅读
回收安捷伦U2022XA平均功率传感器

回收安捷伦U2000A 功率传感器

发表于 2018-03-26 10:08 61次阅读
回收安捷伦U2000A 功率传感器

如何测试这些高分辨率传感器和系统的性能?

当然,完整的系统测试中要比这套IR LED数组更复杂;除了相当数量的设备外,还需要更多的人员投入以及...

发表于 2018-03-26 08:36 193次阅读
如何测试这些高分辨率传感器和系统的性能?

牙齿上的传感器:生物感应材料监测每日摄入的糖、盐...

传感器由三个夹层组成,里外两层各为两个方形金属环,中间层由生物感应材料构成,生物感应材料可以有效地吸...

发表于 2018-03-25 16:43 899次阅读
牙齿上的传感器:生物感应材料监测每日摄入的糖、盐...

瞄准碎片化IoT市场,看清Bosch在传感器领域...

据Bosch Sensortec MEMS产品领域的总负责人Ralf Schellin先生指出,Bo...

发表于 2018-03-25 11:55 1591次阅读
瞄准碎片化IoT市场,看清Bosch在传感器领域...

Synaptics Clear ID光学屏幕指纹...

全球领先的人机界面解决方案开发商Synaptics(NASDAQ:SYNA)今日宣布其FS9500 ...

发表于 2018-03-24 11:56 1594次阅读
Synaptics Clear ID光学屏幕指纹...

Uber撞人致死,无人驾驶还缺远红外热成像传感器

一辆 Uber 的自动驾驶汽车在亚利桑那州坦佩市的公共道路上与一名行人相撞,该行人在送往医院后不治身...

发表于 2018-03-24 11:13 461次阅读
Uber撞人致死,无人驾驶还缺远红外热成像传感器

加速度计内嵌压力传感器的单硅片复合传感器

本发明提供了一种加速度计内嵌压力传感器的单硅片复合传感器结构及方法,以解决传统复合传感器芯片结构尺寸...

发表于 2018-03-23 10:20 426次阅读
加速度计内嵌压力传感器的单硅片复合传感器

遥感卫星特殊的夜视传感器扫描夜晚的地球表面获取微...

我们把2012~2014、2015~2017年分成两组,绘制出变化检测图,其中黑白(灰色)的是没有变...

发表于 2018-03-23 09:26 379次阅读
遥感卫星特殊的夜视传感器扫描夜晚的地球表面获取微...

可穿戴、AR/VR、IoT领域如何解决用户痛点

据IDC预计,全球物联网(IoT)支出在2018达到7725亿美元,超过原先预计在2020达到的1兆...

发表于 2018-03-23 09:21 716次阅读
可穿戴、AR/VR、IoT领域如何解决用户痛点